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【大族技術(shù)講堂】半導(dǎo)體Low-K晶圓激光開槽工藝技術(shù)方案

2019-02-28
關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 LowK 邏輯運算

Low-K材料簡介


半導(dǎo)體制程中,,Low-K是相對于二氧化硅具有小的相對介電常數(shù)的材料(主要有SiOF,,SiOC以及幾種有機Low-K材料等),;其主要應(yīng)用在0.13um及以下工藝技術(shù)中,配合銅互連工藝技術(shù),,目的是減小電路的寄生電容(Cu是為了減小寄生電阻,,因其電阻率較Al小很多),,從而實現(xiàn)更快的開關(guān)速度和更低的散熱量,。因此,Low-K工藝是目前業(yè)界發(fā)展的重點,,特別是在邏輯運算,,存儲等領(lǐng)域。Low-K材質(zhì)在芯片中的位置是處于金屬互連層之間,。

 

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Low-K材料加工方法


Low-K材料及銅質(zhì)材料,,難以用普通的金剛石刀輪進行切割加工,原因是金剛石刀輪直接作用會導(dǎo)致Low-K材料的飛濺和外觀不良(如崩缺,,裂紋,,鈍化/金屬層掀起等現(xiàn)象)。解決此問題需先去除晶圓表面的Low-K以及銅質(zhì)金屬層,,之后再用刀輪切割襯底材料,。

現(xiàn)在市場上主流的Low-k去除技術(shù)是激光開槽技術(shù)。激光開槽技術(shù)是將短脈沖激光聚焦到晶圓表面,,脈沖激光被Low-K層和銅質(zhì)材料持續(xù)吸收,,當(dāng)吸收一定能量后,Low-K層和銅質(zhì)材料會被瞬間汽化或熔化,,從而達到材料去除的效果,。

 

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創(chuàng)新性Low-K材料激光加工工藝方案


雙細線加工 + 雙寬線開槽(Dual Narrow trenching+ Dual Wide Laser Scan):用Dual Narrow方式先在切割道內(nèi)距邊緣10μm處切兩條8~10μm左右寬度的保護槽;再使用Dual Wide方式,,根據(jù)切割道寬度,,開槽25~60μm(如下圖)。

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*常規(guī)激光切割功能選擇:雙細線間距可調(diào)范圍:0~80μm,,寬線寬度可調(diào)范圍:15~50μm(可根據(jù)實際需求定制光路),;

*4種切割功能隨意組合,高精度快速切換(如下圖),;

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*加工能力:

加工速度250~600mm/s 

開槽寬度25~60μm(可定制)

晶圓厚度50~760μm 

開槽深度≥10μm

可加工切割道寬度≥35μm 

熱影響區(qū)域≤2μm

 

Low-K激光開槽工藝優(yōu)勢

1,、激光脈沖寬度(皮秒/ps)

熱影響

皮秒激光的先天優(yōu)勢,,可將熱影響區(qū)域降至2μm以內(nèi)。

 

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激光開槽SEM圖像


終端客戶針對TI(德州儀器)的某些產(chǎn)品做過對比,,有些產(chǎn)品的PATTERN采用UV laser方案很容易爆點,,有些位置(淡綠色非金屬區(qū))會在表面形成炸點,無法開槽,。

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我司采用Green Laser方案的設(shè)備均不會出現(xiàn),。

 

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槽形


紫外納秒激光在開槽標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)重頻為40KHz的條件下,底部有1~2μm鋸齒狀的起伏,。

 

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綠光皮秒激光開槽所用重頻為400~500KHz,。光斑重疊率增大,底部均勻性提高,,而且效果一致性會更高,。

 

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激光開槽3D形貌分析,平均深度12~13μm,,呈U形

 

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激光開槽FIB圖像

2,、激光波段(綠光)

 

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Green Laser開槽時在Metal Layer不產(chǎn)生側(cè)面金屬結(jié)晶的主要原因:

1、金屬對Green Laser吸收率較UV Laser為佳,;

2,、皮秒的高頻短脈沖激光形成的冷加工方式使得Narrow beam開槽時不易側(cè)面金屬結(jié)晶。

3,、獨創(chuàng)的激光光束傳輸系統(tǒng)

平頂光(Top Hat)整形方案:通過軟件對旋轉(zhuǎn)電機角度的精確控制,,實現(xiàn)不同尺寸Top Hat的隨意切換,進而實現(xiàn)不同寬度的激光開槽作業(yè),同時亦能保證開槽底部的平整性,。


工藝效果對比

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綠光皮秒激光開槽在其它材料以及領(lǐng)域中的應(yīng)用前景


特殊規(guī)格的綠光皮秒激光器+特制的光束整形系統(tǒng)(已申請國家發(fā)明專利)不僅可以高質(zhì)量,、高效率的解決Low-k晶圓片的表面開槽問題,在其它材料以及微加工領(lǐng)域中也有著巨大的應(yīng)用潛力,。例如:利用粗線寬度的可調(diào)整性,,可以實現(xiàn)多種材料的快速、有效去除(e.g. LED晶圓片背金層,、晶圓片表面粘結(jié)膠層等),;利用細線間距和粗線寬度的可調(diào)整性,可同時實現(xiàn)雙光點單軌,、雙軌以及四軌加工,,成倍的提升激光加工效率;也可利用皮秒級綠光激光器的加工特性,,對玻璃,、陶瓷以及各種金屬材料進行高效、高質(zhì)量的激光加工作業(yè)。

靈活可調(diào),、穩(wěn)定高效是我們基于low-k激光開槽工藝技術(shù)方案的出發(fā)點和落腳點,,這點亦得到了客戶的極大認可。我們將秉承著創(chuàng)新的理念,,帶著我們的方案為中國半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域貢獻出屬于自己的一份力量,。


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