ASML近日官宣,,最新規(guī)格EUV光刻機(jī)擬明年中期發(fā)貨,。
據(jù)《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》消息,,ASML公布了EUV路線圖上的新機(jī)型TWINSCANNXE:3600D的最終規(guī)格,這是30mJ/cm2的曝光速度達(dá)到每小時(shí)曝光160片晶圓,,提高了18%的生產(chǎn)率,,并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至1.1納米,并計(jì)劃于2021年的中期開始發(fā)貨,。
在DUV光刻業(yè)務(wù)領(lǐng)域,,ASML在本季度對(duì)第一臺(tái)TWINSCAN NXT:2050i進(jìn)行了質(zhì)量認(rèn)證,并于第四季度初發(fā)貨,。NXT:2050i基于NXT平臺(tái)的新版本,,其中包括掩模版工作臺(tái),晶圓工作臺(tái),,投影物鏡和曝光激光器的技術(shù)改進(jìn),。該系統(tǒng)提供了比其前身更好的套刻精度控制,并具有更高的生產(chǎn)率,,而且,,NXT:2050i 將立即進(jìn)入批量生產(chǎn)。
ASML是全球光刻機(jī)行業(yè)龍頭,,市占率超過(guò)60%,,在DUV浸入式光刻機(jī)市場(chǎng)占據(jù)了最大的份額,并壟斷了頂級(jí)的EUV光刻機(jī)市場(chǎng),。
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