在半導體設備中,,如果說,光刻機是馬里亞納海溝,,深入最底者寥寥,,那么離子注入機則是珠峰,,能征服者甚少,。
新中國成立后,,珠峰的高度,,英國人測量過,,法國人測量過,甚至印度人都測量過,,唯獨中國人沒有測量過,,新中國的英雄們?yōu)樽C明中國實力,對珠峰進行了一次艱難的測量,。這是去年上映的電影《攀登者》,,對歷史的還原。
離子注入機這個行業(yè)面臨同樣的問題,。這個在晶圓加工中占比5%左右的關鍵設備,,卻長期被國外所統(tǒng)治,美國的應用材料(Applied Materials)和亞舍利(Axcelis)合計占據全球85%-90%的市場,,長期以來,,國內企業(yè)的市場份額一度近乎為0。
為了攀登離子注入機這座半導體設備的珠峰,,2017年,,發(fā)改委頒布的《戰(zhàn)略性新興產業(yè)重點產品和服務指導目錄》中將集成電路離子注入機納入目錄范圍;2018年,,工信部發(fā)布的《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄》,,將中束流、大束流以及高能離子注入機列入名單。這些政策的背后,,是國家力求發(fā)展國產化的離子注入機的決心,。
來源:凱世通官網
“攀登者”的成績
國內能夠擔當離子注入機領域“攀登者”角色的,當屬萬業(yè)企業(yè)旗下的凱世通,。凱世通2009年成立,,2018年被萬業(yè)企業(yè)以3.98億元收購。
凱世通早期主要從事光伏行業(yè)的離子注入設備研發(fā),。近兩年,,公司開始切入半導體領域,全力推進“高能離子注入機關鍵技術研究及樣機驗證”的研發(fā)工作,。
2019年,,凱世通的IC離子注入機,在國內12英寸晶圓廠和主流存儲器芯片廠進行產線驗證,,產品在束流強度指標上表現(xiàn)優(yōu)異,。
近期凱世通又傳來好消息。其生產的集成電路離子注入機獲得客戶批量采購,,這表明國內客戶對凱世通低能大束流離子注入機,、高能離子注入機進入全面商用化的認可,同時也是半導體設備國產替代浪潮中重要一步,。
此次的采購方為芯來科技(紹興),,采購了3臺12英寸集成電路設備,分別為低能大束流重金屬離子注入機(Sb implanter),、低能大束流超低溫離子注入機(Cold implanter)以及高能離子注入機(HE implanter),,訂單金額超過1億元人民幣。
對于凱世通來說,,這也是今年9月首臺低能大束流設備送入國內主要芯片制造工廠后的又一大商業(yè)化進展,。
在這一系列商業(yè)成就的背后,是凱世通(萬業(yè)企業(yè))對研發(fā)的大力,。據萬業(yè)企業(yè)三季度報告顯示,,公司研發(fā)離子注入機費用投入同比增長46.02%,未來將持續(xù)加大投資規(guī)模,。
今年9月,,凱世通成功進入上海市2020年度集成電路科技支撐專項立項項目名單。這是繼去年“高能離子注入機關鍵技術研究與樣機驗證”項目被正式列入該計劃之后,,再度獲得政府及業(yè)界專家肯定,。
來源:凱世通官網
起底萬業(yè)企業(yè)
凱世通的創(chuàng)始人陳炯博士,畢業(yè)于美國哥倫比亞大學應用物理博士學位,,曾是全球知名離子注入機企業(yè)AIBT的創(chuàng)始人之一,,帶領美國團隊成功開發(fā)了兩代大束流離子注入機,,打入先進28nm關鍵制程集成電路制造廠商。
陳炯博士
2009年,,當他在美國硅谷與中國“02專項調研組深入交流后,,51歲的陳炯博士,毅然決定回國發(fā)展,。與他一同并肩作戰(zhàn)的還有另外四名同事,,他們全部是世界一流的離子注入設備專家。幾人回國后,,從頭開始,,打造了一個屬于中國的高端裝備品牌——凱世通。
作為凱世通的母公司,,萬業(yè)企業(yè)依靠房地產起家,,2018年收購凱世通切入半導體產業(yè)。同時,,萬業(yè)企業(yè)還通過入股上海半導體裝備材料基金,,投資飛凱材料、精測電子,、長川科技等,,以外延并購+產業(yè)整合的方式布局半導體設備領域。
雖然如今國內泛起”造芯“熱,,很多企業(yè)跨界做半導體,,但萬業(yè)企業(yè)卻與大多數(shù)跨界造芯企業(yè)有著很大不同。
萬業(yè)企業(yè)的最大股東是上海浦東科技投資公司,,我國頂級的科技創(chuàng)投勢力之一,。主要聚焦集成電路、醫(yī)療健康,、航空航天和TMT等高科技產業(yè)領域,曾對展訊通信和銳迪科微電子發(fā)出收購要約,,成功要約收購瀾起科技,,收購韓國芯片設計公司Alphean Inc等。
萬業(yè)企業(yè)的第三大股東是大基金,。2019年一季度末,,國家集成電路產業(yè)投資基金持有萬業(yè)企業(yè)7%的股權,成為公司的大股東,。
此次凱世通的離子注入機發(fā)等多款產品商用化取得重要進展,,證明萬業(yè)企業(yè)的產品競爭力及核心技術,已滿足主流芯片制造工藝的生產需求,。
綜合來看,,萬業(yè)企業(yè)有凱世通創(chuàng)始人團隊的技術背書,,以及大股東浦東科投與大基金的加持,在未來的轉型與產業(yè)整合之路會走得更為順暢,。
未來可期
展望未來,,國產替代潮來襲,芯片制造工廠持續(xù)擴產,,以及主流制程工藝的提升,,都需要采購更多數(shù)量的半導體設備,這對于萬業(yè)企業(yè)來說是一個機會,。
旗下凱世通以其技術與產品的獨特性,,在大基金的加持下,踏著國產替代的東風,,一步步的躋身國內半導體制造企業(yè)的供應鏈,,并有機會走向國際市場,與國際巨頭同場競技,。
對于萬業(yè)企業(yè)來說,,凱世通是其布局半導體產業(yè)的一個切口,隨著凱世通的成功,,以及萬業(yè)企業(yè)自身布局越來越多元化,,其有望從一個房產公司轉型成為高科技產業(yè),以在未來獲得更具成長性的市場空間,。