中國電子科技集團有限公司17日對外公布,該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術,,已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產品國產化,,包括中束流,、大束流、高能,、特種應用及第三代半導體等離子注入機,,工藝段覆蓋至28nm,為我國芯片制造產業(yè)鏈補上重要一環(huán),,為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案,。
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