晶圓代工龍頭臺積電位于南科的3 納米新廠于去年11 月底上梁,締造另一個先進制程里程碑,。設(shè)備供應(yīng)鏈近日透露,,臺積電3 納米新廠規(guī)劃在今年7~8 月開廠,相關(guān)供應(yīng)商須在今年中以前備妥機臺,、準備進機,,供應(yīng)鏈透露,3 納米于試產(chǎn)階段(2021 下半年)即有約一個月2 萬至3 萬片,,量產(chǎn)首年平均月產(chǎn)能約5.5 萬片,,到了2023 年以后,將達到10.5 萬片,。
根據(jù)臺積電先前表示,,3 納米預(yù)計2022 下半年量產(chǎn),當年產(chǎn)能預(yù)估將超過60 萬片12 吋晶圓,。供應(yīng)鏈透露,,目前3 納米準備離開RD 階段、進入mini-line,,一如往常,,將由蘋果搶下頭香,臺積電也火力全開大力支持,。而AMD也有望隨后跟上,,且英特爾也有合作方案在進行,。
供應(yīng)鏈亦透露,3 納米制程將依循7 納米(7 納米,、7 納米加強版,、6 納米)、5 納米(5 納米,、5 納米加強版,、4 納米)的「家族模式」,客戶在同一制程節(jié)點可沿用既有設(shè)計基礎(chǔ)架構(gòu),,達到100% 的IP 兼容,,可加速產(chǎn)品創(chuàng)新及上市速度。目前臺積電也在規(guī)劃2.5 納米(或稱3+)制程,,推估2023下半年量產(chǎn),。
業(yè)界人士表示,3 納米對臺韓晶圓代工雙雄來說是關(guān)鍵一役,,兩強戰(zhàn)術(shù)大不相同,。三星將直接采用GAA(環(huán)繞式閘極結(jié)構(gòu)),而臺積電3 納米則選擇沿用FINFET(鰭式場效應(yīng)晶體管)架構(gòu),,到了2 納米才導(dǎo)入GAA技術(shù)為基礎(chǔ)的MBCFET 架構(gòu),,他認為,,在既有架構(gòu)上求突破,,以減少制程變動,相對具備成本效益,。
他進一步指出,,3 納米雖然沿用FINFET,但技術(shù)層次,、投資金額均較過去高出許多,,挑戰(zhàn)也不小,因此臺積電在產(chǎn)能規(guī)劃也比5納米更為積極,,除反映出大客戶需求旺盛外,,也希望客戶可以在3 納米世代停留久一些,為下一代2 納米做好充足準備,。
此外管競爭對手三星在努力完善流程,,試圖追趕臺積電,但鑒于目前臺積電已經(jīng)很好的掌握了EUV并取得了良好的進展,,這種趨勢在可預(yù)見的未來不太可能改變,。(參考閱讀:同樣的EUV光刻機,為什么只有臺積電能實現(xiàn)高量產(chǎn),?獨門絕技:一萬片晶圓落塵數(shù)只有幾顆?。?/p>
業(yè)內(nèi)消息人士指出,,臺積電目前提供的5nm制程之后的大規(guī)模制程的生產(chǎn)路線圖被認為如下:(注:在5nm +和3nm之間,計劃插入4nm工藝,,作為第三代5nm工藝,,但是批量生產(chǎn)時間未知。)
5nm:2020年開始量產(chǎn)(在臺南最先進的“ Fab 18”工廠生產(chǎn))
5nm+:計劃于2021年開始批量生產(chǎn)
3nm:計劃于2022年開始批量生產(chǎn)(臺南工廠建成,,設(shè)備于2021年投入生產(chǎn),,風(fēng)險生產(chǎn)計劃開始)
3nm+:計劃于2023年開始批量生產(chǎn)
2nm:計劃于2024年開始批量生產(chǎn)(工藝開發(fā),新竹工廠建設(shè),,風(fēng)險生產(chǎn)計劃于2023年開始)
1nm:正在研發(fā)中(在新竹總部附近,,一個名為“ TSMC的貝爾實驗室”的大型研發(fā)中心正在建設(shè)中。)