在集成電路,、平面顯示器件和太陽(yáng)能等電子工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,，從芯片生產(chǎn)到最后器件的封裝，幾乎每一步,、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開(kāi)電子氣體,，因此電子氣體堪稱電子制造的“血液”,。電子氣體成本僅占 IC 材料總成本的 5%-6%,，但是即使只是某一種特定雜質(zhì)超標(biāo),，都可能導(dǎo)致產(chǎn)品嚴(yán)重缺陷，甚至因?yàn)椴缓细駳怏w的擴(kuò)散,，導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)線被污染或報(bào)廢,。因此，電子氣體的品質(zhì)很大程度上決定了半導(dǎo)體器件性能的好壞,，電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級(jí),，都會(huì)極大地推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍。
影響電子氣體純度及品質(zhì)的主要因素包括：氣體的生產(chǎn)和充裝,、氣體混配和雜質(zhì)監(jiān)控,，以及氣體的運(yùn)輸和儲(chǔ)存三方面。
氣體的生產(chǎn)和充裝
電子氣體生產(chǎn)的瓶頸很多,，從原材料純度開(kāi)始,，到合成工藝、對(duì)溫度和壓力的控制,，再到提純方法和分析方法，以及產(chǎn)品充裝過(guò)程中對(duì)雜質(zhì)的控制，每個(gè)環(huán)節(jié)都會(huì)影響整個(gè)產(chǎn)品的質(zhì)量,。
目前,，受制于國(guó)內(nèi)生產(chǎn)技術(shù)的限制，大量5N/6N的高純氣體,、稀有氣體及混合氣體需要依賴于進(jìn)口,，一定程度上增加了運(yùn)輸成本、供貨周期及產(chǎn)品污染的風(fēng)險(xiǎn),?？諝猱a(chǎn)品公司的無(wú)錫電子級(jí)高純氣體工廠，大部分原料均來(lái)自于公司自有的空分設(shè)備,，品質(zhì)更可控,。
同時(shí)，無(wú)錫電子級(jí)高純氣體工廠配備了先進(jìn)的充裝設(shè)備,，確保大批量,、精準(zhǔn)的氣體充裝。
艾必利?6N純氣充裝
空氣產(chǎn)品公司無(wú)錫電子級(jí)高純氣體工廠采用壓力法和重量法并用的充裝模式,，配備先進(jìn)的SPIDER充裝臺(tái),，可實(shí)現(xiàn)大批量充裝，且此種模式混配比穩(wěn)定,，沒(méi)有首末只充裝偏差,，混配精度可控制在0.01%的范圍：如1.2%He/N2，混配精度可以控制在1.19-1.21%之內(nèi),。
艾必利稀有氣體充裝
空氣產(chǎn)品公司可提供從0.4升,、1升到40升、47升及49升等規(guī)格,，重量精確到0.001KG,。精準(zhǔn)的管路設(shè)計(jì)可減少充裝損失量，使氣體重量更精準(zhǔn),、更穩(wěn)定,。
艾必利準(zhǔn)分子激光混合氣
無(wú)錫電子級(jí)高純氣體工廠采用自動(dòng)充裝柜，每柜均配有5克或50克感量的梅特勒地秤,。每柜一支鋼瓶充裝設(shè)計(jì),，確保精準(zhǔn)充裝。同時(shí)混配范圍從200PPM 到%,，范圍更寬,。每支混配，可快速反應(yīng)客戶不同混配比需求,，并做到最小偏差控制,。
氣體混配和雜質(zhì)監(jiān)控
對(duì)于混合氣而言,，配比的精度是核心參數(shù)，隨著產(chǎn)品組分的增加,、配制精度的上升,，客戶常要求氣體供應(yīng)商能夠?qū)Χ喾NPPM乃至PPB級(jí)濃度的氣體組分進(jìn)行精細(xì)操作，其配制過(guò)程的難度與復(fù)雜程度也顯著增大,。此外,，對(duì)氣體分析檢測(cè)和雜質(zhì)監(jiān)控也提出了更高的技術(shù)要求。
憑借空氣產(chǎn)品公司全球混配比數(shù)據(jù)庫(kù),，空氣產(chǎn)品公司的氣體混配專家利用30多年的豐富經(jīng)驗(yàn),，為客戶實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)配比。通過(guò)量化充裝管路硬鏈接的系統(tǒng)偏差,，做到精準(zhǔn),、穩(wěn)定的定量充裝，從而縮小產(chǎn)品混配比偏差,，不斷提升數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)SPC管控CPK 值,。
空氣產(chǎn)品公司采用PPT級(jí)別的高端雜質(zhì)分析系統(tǒng)，對(duì)6N氣體進(jìn)行100PPB級(jí)別的分析,，并提供精準(zhǔn)的分析數(shù)據(jù),。空氣產(chǎn)品公司的艾必利電子級(jí)高純氣體的水,、氧等關(guān)鍵雜質(zhì)含量甚至可低到10PPB,。
氣體的運(yùn)輸和儲(chǔ)存
電子氣體在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過(guò)程中要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、以及相應(yīng)的氣體輸送管線,、閥門(mén)和接口,，確保避免二次污染。
空氣產(chǎn)品公司的6N/5N5/5N的產(chǎn)品包裝配置DISS/CGA閥門(mén)及鋼瓶?jī)?nèi)壁拋光處理技術(shù),，同時(shí)嚴(yán)格監(jiān)管氣體的品質(zhì)有效期,。對(duì)于水含量達(dá)到100PPB甚至10PPB的6N超高純氣體而言，包裝對(duì)品質(zhì)的影響至關(guān)重要,。
同時(shí),，除了在無(wú)錫的電子級(jí)高純氣體工廠外，空氣產(chǎn)品公司在中國(guó)臺(tái)灣和韓國(guó)也設(shè)有特氣充裝工廠,，資源共享,，以提升運(yùn)輸效率和供貨穩(wěn)定性。
多元化的電子級(jí)高純氣體產(chǎn)品
滿足不同純度需求
艾必利電子級(jí)高純氣體,，為電子制造提供純凈血液
由空氣產(chǎn)品公司無(wú)錫電子級(jí)高純氣體工廠生產(chǎn)和供應(yīng)的艾必利電子級(jí)高純氣體涵蓋了純氣,、稀有氣體和準(zhǔn)分子激光混合氣等。我們對(duì)自有原料的純度嚴(yán)格把關(guān),，配合先進(jìn)的充裝和混配系統(tǒng),，精確控制和檢測(cè)雜質(zhì)含量,，為電子生產(chǎn)的各個(gè)工藝環(huán)節(jié)提供純凈的“血液”，推動(dòng)電子器件質(zhì)量提升,。
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