《電子技術(shù)應(yīng)用》
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MEMS傳感器發(fā)展現(xiàn)狀及在自動(dòng)駕駛汽車中的應(yīng)用

2021-06-13
來源:互聯(lián)網(wǎng)

  6月10日,,在南京舉辦的世界半導(dǎo)體大會(huì)《汽車半導(dǎo)體創(chuàng)新協(xié)作論壇》上,華東光電集成器件研究所副所長(zhǎng)展明浩帶來主題為《MEMS傳感器發(fā)展現(xiàn)狀及在自動(dòng)駕駛汽車中的應(yīng)用》的報(bào)道。

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  華東光電集成器件研究所副所長(zhǎng)展明浩

  我的介紹分為四個(gè)方面:傳感器簡(jiǎn)介;MEMS傳感器發(fā)展以及現(xiàn)狀;MEMS傳感器在自動(dòng)駕駛汽車中的應(yīng)用;本單位MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)情況。

  一,、傳感器簡(jiǎn)介:分為傳感器概念、傳感器發(fā)展歷程和MEMS傳感器概念,。

  傳感器概念,。通俗講就是檢測(cè)裝置,能感受到被測(cè)量的信息,,并能將感受到的信息轉(zhuǎn)換成為電信號(hào)或其他所需形式的信息輸出,,包括轉(zhuǎn)換元件、條理電路,、敏感元件,。

  從17世紀(jì)發(fā)展溫度計(jì)開始發(fā)展經(jīng)歷了三個(gè)階段:結(jié)構(gòu)型傳感器、固體型傳感器,、MEMS傳感器,,它是兼容的MEMS技術(shù)。隨著集成電路工藝的不斷完善,,傳感器工藝技術(shù)實(shí)現(xiàn)微型化和集成化,、智能化。

  MEMS傳感器:采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器,。特點(diǎn)是體積小,、重量輕、成本低,、功耗低,、可靠性高、適于批量化,,易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn),。IC和MEMS結(jié)合新型的傳感器。右圖可以看到以前的傳感器是機(jī)械加工的方法,,現(xiàn)在用集成電路技術(shù),,光刻、刻蝕等技術(shù)發(fā)展MEMS傳感器,。

  二,、MEMS傳感器發(fā)展歷程及現(xiàn)狀

  發(fā)展里程碑,。第一個(gè)是MEMS壓力傳感器誕生—體硅各向異性化學(xué)腐蝕工藝,。1970年Waggener提出電化學(xué)自停止腐蝕技術(shù),獲得精確控制KOH腐蝕體硅的工藝,,所以體硅工藝在這一年誕生了,。IBM實(shí)驗(yàn)室的Kurt  Peterson利用電化學(xué)自停止腐蝕技術(shù)制作了硅基壓力傳感器,,1974年,壓力傳感器最早成功的MEMS商業(yè)化產(chǎn)品,。

  第二個(gè)是MEMS慣性傳感器誕生—平面犧牲層工藝,。1988年Berkley利用犧牲層工藝制作了首個(gè)靜電驅(qū)動(dòng)馬達(dá);1989年制作了平面橫向靜電驅(qū)動(dòng)器,;1992年Draper實(shí)驗(yàn)室報(bào)道了首款微機(jī)陀螺,;1993年ADI加速度計(jì)量產(chǎn)CMOS-MEMS工藝。

  第三個(gè)是光MEMS器件—平面犧牲層工藝,。1987年德州儀器發(fā)布DLP芯片問世,;1997年實(shí)現(xiàn)民用化。

  第四個(gè)是深硅刻蝕工藝—1994年,。德國BOSCH公司發(fā)明DRIE技術(shù),,便于形成高深寬比、高垂直度結(jié)構(gòu),,顛覆未來MEMS工藝技術(shù)的發(fā)展方向,。

  進(jìn)入21世紀(jì)以來MEMS技術(shù)以超高速創(chuàng)新發(fā)展誕生了很多新型傳感器。這是慣性,、光MEMS,、生物治療MEMS、射頻MEMS等等,。

  三,、MEMS五傳感器在自動(dòng)駕駛汽車中的應(yīng)用

  國家發(fā)展改革委、中央網(wǎng)信辦等11部委聯(lián)合印發(fā)的智能汽車行業(yè)發(fā)展頂層設(shè)計(jì)和國家級(jí)戰(zhàn)略,。

  MEMS傳感器在自動(dòng)駕駛領(lǐng)域中的應(yīng)用—這是中國智能車聯(lián)網(wǎng)技術(shù)路線圖,,從L1級(jí)到L4級(jí),L5級(jí),,到2025年實(shí)現(xiàn)L4,,L5級(jí)的無人駕駛。

  無人駕駛發(fā)展路線,。未來的自動(dòng)駕駛聯(lián)合自主化和網(wǎng)聯(lián)化形式,,兩種技術(shù)互為補(bǔ)充形成自動(dòng)駕駛的能力。這是無人駕駛交叉多技術(shù),、產(chǎn)業(yè)融合技術(shù),。

  感知是智能駕駛的前提。外界環(huán)境的高靈敏度感知技術(shù)是汽車自動(dòng)駕駛基礎(chǔ)關(guān)鍵技術(shù)之一,,它是通過安裝在智能網(wǎng)聯(lián)汽車和周邊的傳感器及網(wǎng)絡(luò),,實(shí)時(shí)識(shí)別。所以自動(dòng)駕駛汽車都布滿了傳感器,。

  IMU在無人駕駛中扮演重要角色,。

  慣性測(cè)量單元,。是所有定位系統(tǒng)中最關(guān)鍵的傳感器之一,測(cè)量運(yùn)動(dòng),、加速度和旋轉(zhuǎn)速度的基本物理量,,而且不受天氣和其他環(huán)境的影響,不受任何干擾,。IMU和相關(guān)數(shù)據(jù)融合也是自動(dòng)駕駛很關(guān)鍵的部分,。

  四、本單位MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)情況

  華東光電集成器件研究所是中國高端芯片聯(lián)盟成員單位,,是中國物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟副理事長(zhǎng)單位,,是國家集成電路封測(cè)產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟成員單位,也是國家發(fā)改委批復(fù)的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,。

  我們具有一條6英寸MEMS體谷SOI工藝平臺(tái),,包含硅硅鍵合、高深寬筆SOI結(jié)構(gòu)刻蝕釋放,、高深寬比TSV刻蝕與填充,,也列了一些產(chǎn)品。

  平臺(tái)情況,。我們有完整的設(shè)計(jì)平臺(tái),,里面有系統(tǒng)設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),、ASIC設(shè)計(jì)和版圖設(shè)計(jì),。

  MEMS制造平臺(tái):有SOI體硅工藝體系、TSV工藝體系,、壓軸體硅工藝體系,。一站式給用戶提供定制服務(wù)。

  這里是我們單位傳感器實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的情況,,一是MEMS氣體傳感器用在家用呼吸機(jī),、慣性傳感器用在康復(fù)醫(yī)療,同時(shí)也用在自動(dòng)駕駛汽車上,,還有MEMS紅外傳感器用在額溫槍,,壓力傳感器、超聲換能器,、實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的光微鏡是用在激光雷達(dá)上的,。

  總結(jié)

  微機(jī)電系統(tǒng)涉及物理、半導(dǎo)體,、化學(xué),、電子工程、化學(xué),、材料工程,、機(jī)械工程、醫(yī)學(xué),、信息工程及生物工程等多學(xué)科,;

  隨著新技術(shù)、新工藝的出現(xiàn),,以MEMS技術(shù)為代表的半導(dǎo)體行業(yè),,將加速進(jìn)入發(fā)展的快車道;

  MEMS技術(shù)將使傳感器應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)生顛覆性變化和更多場(chǎng)景的應(yīng)用,;

  MEMS技術(shù)在自動(dòng)駕駛等未來領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用,,促進(jìn)自動(dòng)駕駛早日走向我們的生活;

  5G,、自動(dòng)駕駛,、新型智慧城市等國家發(fā)展戰(zhàn)略促進(jìn)下,將進(jìn)一步促進(jìn)MEMS產(chǎn)業(yè)上下游產(chǎn)業(yè)鏈繁榮與發(fā)展,;

  國內(nèi)MEMS廠家正逐步走向世界舞臺(tái),,在性能、市場(chǎng)空間等方面優(yōu)勢(shì)愈發(fā)明顯,。




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