相信在我把思銳智能稱之為“國產”半導體設備企業(yè)的時候,，也許有人會提出反對意見說——這家公司的技術不是源自于芬蘭倍耐克（BENEQ）嗎？為什么稱之為國產公司,？但正如該公司的副總經理陳祥龍所說，這正是核心所在,。

　　據陳祥龍所說,，從思銳智能在2018年收購BENEQ開始，公司就一直在推動雙方的合作整合,，當中包括雙方人員的互通交流,、中國的項目由中芬團隊協同研發(fā)?！罢且驗檫@樣的人員和技術的交流,，我們公司的ALD（Atomic Layer Deposition：原子層沉積）設備才能夠那么快地推進國內客戶的產線”，陳祥龍表示,。他同時也強調,，公司在技術和專利整合方面也在順利推進中。

　　正是基于以上考慮,，筆者把這家近年來崛起的ALD設備廠商稱之為本土半導體設備供應商,。

　　在“進入”中國三年之后，這家設備新星找到了更廣闊的市場空間,。

　　ALD設備領域的王者

　　據了解,，在剛發(fā)展早期，ALD是被用于生產納米結構的絕緣體（Al2O3/TiO2）和薄膜電致發(fā)光顯示器（TFEL）的硫化鋅（ZnS）發(fā)光層,。但因為其擁有優(yōu)異的保形性和均勻性、高的臺階覆蓋率,、速率可控性,、低溫沉積、薄膜純度以及絕佳覆蓋率等固有優(yōu)點,，ALD逐漸“出圈”,，從薄膜顯示器走向了半導體、電池,、光學,、生物醫(yī)學和航空航天領域等眾多領域。

　　被思銳智能收購的芬蘭BENEQ正是該領域一個資深玩家,。

　　據陳祥龍介紹,，雖然是一家本地化的高端ALD設備公司,，但思銳智能卻是一家非常國際化和全球化的企業(yè)。從整體收入結構看來,，歐洲,、美國、中國大陸或者是整個亞太地區(qū)的營收各占總收入的1/3,。公司合作的客戶也遍布全球40多個國家和地區(qū),，使用公司設備的客戶也達到400-500家。

　　從創(chuàng)新能力角度看,，思銳智能目前大概有200多人,，其中博士比例占了將近10%，碩士以上占50%,。公司現在在全球ALD布局的專利有大約300個,，其中95% 以上是發(fā)明專利，而且主要布局都在歐洲,、美國,、日本或國內，以及中國臺灣地區(qū),?！盁o論是從我們過去服務的客戶情況，還是從我們專利的情況,，以及我們團隊創(chuàng)新的能力來看,，我們都是一個有競爭力的公司?！标愊辇垙娬{,。

　　從整個行業(yè)的態(tài)勢來講，在功率化合物半導體領域,，思銳智能無論是在基材的出貨量,，還是合作客戶的質量上看，公司的表現都不俗,。在這個領域,，思銳智能也必然是世界上第一梯隊的供應商。

　　“Beneq是最早做ALD的公司之一,，公司在這個方方面面有著非常深的技術積累,。在將近40年的時間發(fā)展中，公司積累了非常豐富的工藝包,。這就讓公司在提供設備之余,，還能給客戶提供完整的鍍膜解決方案。”思銳智能半導體ALD銷售總監(jiān)高智補充說,。

　　據了解,，得益于過往的積累，現在的思銳智能提供開發(fā)服務,、ALD設備和鍍膜服務這三方面的服務：

　　在開發(fā)服務方面,，思銳智能可以提供一系列整套的研發(fā)服務解決方案，幫助客戶實現一些首批樣品批量生產,，不管是樣品,，包括薄膜材料研究，還包括和一些客戶在共同的做研究,；來到ALD設備方面,，思銳智能則能提供面向不同領域和場景的的設備；依賴于70臺ALD鍍膜設備,，思銳智能可以為客戶可提供定制化ALD薄膜的生產外包服務,，小規(guī)模試生產或完全外包生產自由選擇，為沒有初期資本投資的公司提供最佳的ALD鍍膜服務,。

　　向更多市場擴張

　　正因為思銳智能的ALD設備擁有如此巨大的優(yōu)勢和潛力,，因此在收購Beneq之后，公司進一步將ALD產品劃分為半導體和非半導體業(yè)務線,。

　　其中非半導體業(yè)務線包括抗腐蝕鍍膜器件,、保形光學鍍膜、OLED封裝,、鋰電池保護層等等,，既聚焦于研發(fā)設備，也聚焦于工業(yè)級應用,；半導體業(yè)務則重點發(fā)展其超越摩爾市場的應用,，當中包括功率器件、RF濾波器器件以及化合物半導體,、慣性流體3D MEMS和圖像傳感器,，Micro-LED以及芯片級鍍膜封裝。

　　從過去幾年的發(fā)展看來,，我們也看到思銳智能正在發(fā)力,，將ALD設備向超越摩爾市場的多個領域擴張。例如在當前火熱的激光雷達領域,，ALD就能發(fā)揮關鍵的作用?！凹す饫走_的核心器件VCSEL從上至下,，從抗反射層、表面鈍化層,，再到基底的熱吸收層,，都全部會用到ALD相關的工藝,。”高智舉例說,。

　　能走向那么多市場,，除了夯實的技術基礎外，豐富的產品線才是公司開辟疆土的“先鋒”,。

　　高智告訴記者,，在面向光電類應用，思銳智能有兩個產品,，其中一個是面向光學前端模組的（偏光學模組）思銳智能的P系列和面向光學鍍膜的C2R設備,，其中后者也就是他們所說的空間旋轉式的等離子增強型ALD。這是一款專門面向光學光電鍍膜的設備,，其鍍膜速度可以幾乎達到每小時幾微米的厚度,，可以媲美整個PVD；

　　還有一個就是面向光學后端半導體器件的Transform設備,。在這個設備中,，思銳智能為其率先引入了一個叫做“預加熱”的技術。因為有了這個模塊的加入,，能夠極大程度地縮短ALD的升溫時間,。據了解，以前ALD設備加熱需要幾個小時,，但在新技術支持下,，可以在30秒內完成一個到200度的加熱，這樣就可以進而提升其產能,。

　　同時,，不同于其他ALD設備只能在“熱法”和“等離子增強型”方案中二選一，思銳智能的產品在一個腔體里面能夠做到既可以執(zhí)行等離子增強型,，又可以做到熱法工藝,，同時還不僅只局限于單片（可以做batch 25片的工藝）。那就意味著將帶來巨大的產能提升,。

　　得益于Transform平臺的優(yōu)勢,，思銳智能還在推動ALD設備向MEMS和CMOS圖像傳感器市場擴張。特別是在CIS市場,，據思銳智能透露,，公司產品在這個領域取得了突破性進展。除了上述市場,，ALD設備還在濾波器,、Micro-OLED、Micro-LED和光電子等多個應用市場尋找發(fā)力點，他們同時還也推出了包括高K介電質,、表面鈍化,、成核層、化學阻層,、防潮層和抗反射鍍膜等ALD解決方案,。

　　在思銳智能看來，公司的ALD設備能夠繼續(xù)向更多市場進軍,。且無需花費太多心思,，這一方面得益于公司產品本身在技術上的優(yōu)勢，同時還得歸功于公司在設計產品時對兼容性的考慮,。

　　“我們設備的設計是8英寸的,，可是我們向上兼容3英寸、4英寸和6英寸,。且在兼容不同尺寸的時候,，腔體并不需要做硬件的變化，這就給我們的用戶提供了基于尺寸的多樣性,?！备咧钦f。至于在面向12英寸的應用,，按照高智的說法,，公司也會在現有的設備上做升級，這也將是一個最經濟的選擇,。

　　不會取代傳統設備

　　從上面C2R的應用可以看出,，ALD能夠打破傳統的“沉積速度非常慢的工藝”的舊印象，向多個領域的擴展也證明了ALD設備的通用性,。這就引發(fā)人們對其未來能否取代傳統工藝設備的思考,。

　　針對這個問題，陳祥龍回應道,，在半導體里,，大家一定是一個互補的存在。例如在平面光學,，可能還是以平面這種鍍膜就可以,；但如果進入到微納光學，因為擁有更復雜的光學結構,，就有消除鬼影等需求,，這時候ALD就會是個更好的選擇。

　　“因為擁有更多不同的應用,，我認為CVD,、PVD跟ALD都是共存的,，而且已經共存了好多年，我們相信在這個領域里也是一樣的,。但我們可以肯定的是，無論是在半導體還是泛半導體,、光學領域里,，隨著器件越來越輕量化、小型化,、智能化,，ALD的市場一定是越來越大?！标愊辇垙娬{,。

　　“我們一直致力于成為一家全球范圍內的高端ALD設備供應商”，陳祥龍最后說,。