目前全球唯一能夠制造EUV光刻機(jī)的廠(chǎng)商,只有一家,,那就是荷蘭的ASML,。
但事實(shí)上,全球的光刻機(jī)廠(chǎng)商不只ASML一家,,不說(shuō)中國(guó)的光刻機(jī)廠(chǎng)商,,僅日本就有兩家,分別是尼康,、佳能,。
這兩家還是大名鼎鼎,在A(yíng)SML剛誕生時(shí),,尼康,、佳能可是大哥,ASML是小弟,,只能仰望著尼康,、佳能。
直到后來(lái),,ASML在臺(tái)積電的啟發(fā)下,,研制出了以水為介質(zhì)的浸潤(rùn)式光刻機(jī),才一路崛起,,最后把尼康,、佳能踩在了腳下。
后來(lái)ASML搞出了EUV光刻機(jī)后,,尼康,、佳能也就只搞些中、低端光刻機(jī),,不再與ASML爭(zhēng)鋒了,。
這讓很多人很奇怪,論技術(shù)實(shí)力,,資金實(shí)力,,尼康、佳能不會(huì)比ASML差,,更關(guān)鍵的是尼康,、佳能也沒(méi)有被技術(shù)封鎖,,為何就是搞不出EUV光刻機(jī)呢?
其實(shí)主要有兩個(gè)原因,,一個(gè)是事實(shí)上的技術(shù)壟斷,。
雖然尼康、佳能沒(méi)有被技術(shù)封鎖,,似乎想要買(mǎi)什么設(shè)備,、需要什么樣的技術(shù),都可以得到,,但ASML早做了大量的準(zhǔn)備,,將蔡司、Cymer,、TRUMPF這些核心技術(shù)公司,,通過(guò)合作、獨(dú)家供應(yīng),,成立科技機(jī)構(gòu)等手段,,捆綁在了一起。
尼康,、佳能其實(shí)很難拿到蔡司,、Cymer、TRUMPF公司的技術(shù)等,,這就造成了事實(shí)上的壟斷,,尼康、佳能也沒(méi)辦法,,畢竟EUV光刻機(jī),,不是一家廠(chǎng)商或者幾家廠(chǎng)商可以搞定。
另外一個(gè)是市場(chǎng)大小決定的,。
EUV光刻機(jī)看起來(lái)非常重要,,但其實(shí)際市場(chǎng)需求并不大,以ASML為例,,2021年也僅賣(mài)出42臺(tái)EUV光刻機(jī),,從EUV光刻機(jī)推出到2021年底,已經(jīng)有7年,,但一共也只賣(mài)出132臺(tái)EUV光刻機(jī)。
市場(chǎng)需求就在這里,,決定了整個(gè)EUV光刻機(jī)的利潤(rùn)也只有這么大,,一這ASML還能夠活得滋潤(rùn),但如果尼康,、佳能都搞出了EUV光刻機(jī),,三家廠(chǎng)商競(jìng)爭(zhēng),,估計(jì)大家都賺不到什么錢(qián)了。
所以對(duì)于尼康,、佳能而言,,研發(fā)出EUV光刻機(jī),也并不能帶來(lái)多少利潤(rùn),,反而承擔(dān)的風(fēng)險(xiǎn)特別大,,比如投入了巨額資金,又研發(fā)失敗怎么辦,,研發(fā)出來(lái)了,,賣(mài)不出多少臺(tái),虧本怎么辦,?
畢竟尼康,、佳能所處的環(huán)境不一樣,日本作為美國(guó)的小弟,,EUV光刻機(jī)不會(huì)被卡,,所以不像中國(guó)廠(chǎng)商,必須自研才有出路,,對(duì)于尼康,、佳能而言,則不一樣了,。
所以我們?cè)谂Φ难邪l(fā)光刻機(jī),,一定要搞出EUV光刻機(jī),但對(duì)于尼康,、佳能而言,,則沒(méi)有那么迫切,所以也沒(méi)有下定決心去研發(fā),。