5月23日消息，據(jù)報(bào)道，近日日本光刻膠巨頭JSR的首席執(zhí)行官埃里克約翰遜(Eric Johnson)在接受采訪時(shí)表示,，盡管中國(guó)在努力推動(dòng)芯片的自給自足，但中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)必要的基礎(chǔ)設(shè)施不足,，比如很難掌握基于極紫外(EUV)光刻的復(fù)雜芯片制造技術(shù)，發(fā)展先進(jìn)制程的芯片制造技術(shù)將非常困難,。

約翰遜指出,，“我認(rèn)為中國(guó)也非常想發(fā)展自己的EUV(極紫外光刻)能力和相關(guān)的生態(tài)系統(tǒng)(比如EUV光刻膠)。但坦率地說(shuō),，我認(rèn)為他們要做到這一點(diǎn)非常困難,。”

實(shí)際上,，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)CEO溫彼得也在今年1月表達(dá)過(guò)和約翰遜類似的觀點(diǎn),，認(rèn)為“中國(guó)不太可能復(fù)制出頂尖的EUV光刻機(jī)”,。但他當(dāng)時(shí)補(bǔ)充稱，永遠(yuǎn)別那么絕對(duì),，中國(guó)的物理定律和全世界是一樣的,，“他們肯定會(huì)嘗試”。

另外,，對(duì)于中國(guó)在光刻膠領(lǐng)域的追趕,，以及希望在高端光刻膠技術(shù)上的突破，約翰遜認(rèn)為,，即便中國(guó)獲得相關(guān)化學(xué)成分的確切資料,，但在純度、精度及制造上都非常困難,，且中國(guó)也沒(méi)有供應(yīng)鏈支持,。但中國(guó)當(dāng)前積極投資成熟的芯片技術(shù)，也是不容忽視的一部分,，“人們還沒(méi)充分意識(shí)到，中國(guó)有多少機(jī)會(huì)可以不依賴這些先進(jìn)制程,?！?/p>

資料顯示，JSR公司成立于1957年,，中文名為日本合成橡膠,，是全球主要的光刻膠供應(yīng)商之一。在應(yīng)用方面,，光刻膠是半導(dǎo)體,、液晶面板(LCD)、印刷電路板(PCB) 等產(chǎn)業(yè)的重要原材料,。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域,，目前光刻機(jī)曝光光源一共有六種，分別是紫外全譜(300～450nm),、 G 線(436nm),、 I 線(365nm)、深紫外(DUV,，包括 248nm 和 193nm)和極紫外(EUV),，相對(duì)應(yīng)于各曝光波長(zhǎng)的光刻膠也應(yīng)運(yùn)而生，對(duì)應(yīng)分別為,，G 線光刻膠,、I 線光刻膠、KrF光刻膠,、 ArF光刻膠,、EUV光刻膠。

目前，在全球半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域,，主要被日本合成橡膠(JSR),、東京應(yīng)化(TOK)、美國(guó)杜邦,、日本信越化學(xué),、富士電子、羅門(mén)哈斯等頭部廠商所壟斷,，其中JSR占據(jù)了28%的市場(chǎng),。

而在高端半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)上，JSR在ArF光刻膠領(lǐng)域以24%的市場(chǎng)份額位居全球第一,。在EUV光刻膠方面,，TOK和JSR有較高的份額。

從國(guó)內(nèi)的光刻膠市場(chǎng)來(lái)看,，低端的中g(shù)線/i線光刻膠自給率約為20%,，KrF光刻膠自給率不足5%，而高端的ArF光刻膠完全依賴進(jìn)口,，是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體的卡脖子技術(shù)之一,。

至于EUV光刻膠，由于美國(guó)的阻撓,，大陸目前無(wú)法進(jìn)口EUV光刻機(jī),，因此國(guó)產(chǎn)EUV光刻膠的開(kāi)發(fā)自然也無(wú)從談起。