美國(guó)于近日確立了促進(jìn)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)的法案“CHIPS and Science Act（CHIPS法案）”,，但三星電子（Samsung Electronics）、SK海力士（SK Hynix）等韓國(guó)半導(dǎo)體廠家是否接受美國(guó)政府的資金援助，還是未知數(shù),。

　　此外，日本政府為新設(shè)半導(dǎo)體工廠的企業(yè),，提供補(bǔ)助金,，這筆補(bǔ)助金被用在了臺(tái)灣TSMC的熊本工廠、鎧俠（原東芝存儲(chǔ)半導(dǎo)體）&美國(guó)西部數(shù)據(jù)（以下簡(jiǎn)稱為“WD”）的四日市工廠,。但是,，即使以上企業(yè)獲得了日本政府的資金補(bǔ)助，日本的半導(dǎo)體全球市占率也不會(huì)有所提高,。

　　另外,，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省曾發(fā)布新聞稱，在2024年之前日本和美國(guó)合作研發(fā)2納米邏輯半導(dǎo)體,，并計(jì)劃在日本量產(chǎn),。而筆者認(rèn)為，這是完全不可能的,，簡(jiǎn)直是天大的笑話,！

　　筆者將在下文中詳細(xì)分析以上問題。下文為筆者最初的感想,。

　　對(duì)于美國(guó)的“以本國(guó)利益為中心的政策”,，可能會(huì)引起其他國(guó)家半導(dǎo)體背離美國(guó)。（或許美國(guó)是為了把補(bǔ)助金僅支援給英特爾等美國(guó)本土半導(dǎo)體廠家,。）

　　同時(shí),，即使日本的“不諳世事”的“職業(yè)官僚們”確立強(qiáng)化半導(dǎo)體生產(chǎn)的方案，也不會(huì)有任何效果,。此外,，甚至日本政府還提出了“日本要在2025年開始量產(chǎn)2納米”等極具搞笑意義的方案，筆者認(rèn)為這是非?；?。真是一樁世界級(jí)的丑聞，筆者真心希望不要確立以上法案,。

　　美國(guó)試圖通過“CHIPS法案”強(qiáng)化半導(dǎo)體生產(chǎn)

　　為了強(qiáng)化美國(guó)本土的半導(dǎo)體生產(chǎn),，2022年8月9日,，美國(guó)總統(tǒng)拜登簽署“CHIPS法案”，該法案正式生效,。美國(guó)試圖通過此法案強(qiáng)化美國(guó)半導(dǎo)體生產(chǎn),。在美國(guó)設(shè)有半導(dǎo)體工廠和研發(fā)（R&D）中心的TSMC、三星電子,、SK海力士到底是不是應(yīng)該接受美國(guó)政府的援助呢,？

　　該“CHIPS法案”指出，投資共527億美元（約人民幣3636億元）用于美國(guó)的半導(dǎo)體生產(chǎn)和研究開發(fā),，明細(xì)如下,，投資約390億美元（約人民幣2691億元）用于吸引外資赴美建半導(dǎo)體工廠（其中20億美元用于支援車載、國(guó)防系統(tǒng)等方向的傳統(tǒng)型半導(dǎo)體生產(chǎn)）,，132億美元（約人民幣910億元）用于研究開發(fā)和培養(yǎng)人才,，5億美元（約人民幣35億元）用于國(guó)際信息通信技術(shù)安防和半導(dǎo)體供應(yīng)鏈。

　　可以享受以上資金補(bǔ)助的半導(dǎo)體廠家如下圖1所示,。美國(guó)英特爾（Intel）計(jì)劃分別在亞利桑那州,、俄亥俄州投資200億一一300億美元（約人民幣1380億元一一2070億元），用于建設(shè)生產(chǎn)處理器的工廠和Foundry工廠,。受到美國(guó)政府邀請(qǐng)的TSMC在美國(guó)亞利桑那州投資120億美元（約人民幣828億元）,，用于建設(shè)5納米Foundry工廠。對(duì)TSMC“緊追猛趕”的三星電子也不甘落后,，在美國(guó)德克薩斯州投資170億美元（約人民幣1173億元）,，用于建設(shè)尖端Foundry工廠。此外,，SK海力士集團(tuán)計(jì)劃投資約220億美元（約人民幣1518億元）在美國(guó)建設(shè)半導(dǎo)體研發(fā)中心和封裝測(cè)試相關(guān)工廠,。

　　圖1：有望享受美國(guó)“CHIPS法案”補(bǔ)助金的半導(dǎo)體廠家。

　?。▓D片出自：jbpress）

　　據(jù)英特爾透露,，假設(shè)美國(guó)政府共有100億美元的支援計(jì)劃，我們可以獲得30億美元的補(bǔ)助,。因此,，以上半導(dǎo)體廠家都在試圖獲得“CHIPS法案”中的補(bǔ)助金。

　　“CHIPS法案”補(bǔ)助金的利害

　　要說,，美國(guó)將527億美元（約人民幣3636億元）的補(bǔ)助金投入到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)后,，美國(guó)的半導(dǎo)體生產(chǎn)能否得到改善呢？回答這個(gè)問題之前,，先看看另外一個(gè)問題,。美國(guó)“CHIPS法案”中明確提到，“CHIPS法案”是為了削減成本,、創(chuàng)造更多就業(yè)機(jī)會(huì),、強(qiáng)化半導(dǎo)體供應(yīng)鏈,、與中國(guó)抗衡?？梢钥闯鲈摲ò笌в忻黠@的“保護(hù)性質(zhì)（Guardrail）”,。

　　依據(jù)該法案，如果TSMC,、三星電子,、SK海力士一旦享受美國(guó)“CHIPS法案”的補(bǔ)助，將無法在以下中國(guó)工廠進(jìn)行投資,，TSMC南京工廠（40納米一一16納米,，生產(chǎn)邏輯半導(dǎo)體）、三星中國(guó)西安工廠（3D NAND）,、SK海力士中國(guó)無錫工廠（DRAM）和中國(guó)大連工廠（原屬于英特爾,，3D NAND）。

　　其中,，TSMC中國(guó)南京工廠份額在TSMC集團(tuán)的占比較小,；而三星電子西安工廠生產(chǎn)的3D NAND占三星集團(tuán)的約40%,；SK海力士大連工廠生產(chǎn)的3D NAND占其30%、無錫工廠生產(chǎn)的DRAM占其50%,。

　　因此,，一旦三星電子和SK海力士一旦享受了“CHIPS法案”的“福利”，將無法對(duì)位于中國(guó)的存儲(chǔ)半導(dǎo)體工廠增加投資,，不僅無法生產(chǎn)出最先進(jìn)的存儲(chǔ)半導(dǎo)體,，連擴(kuò)產(chǎn)也無法進(jìn)行。這對(duì)存儲(chǔ)半導(dǎo)體而言,，是“致命打擊”,！

　　可能會(huì)有讀者問：“必須要接受美國(guó)的補(bǔ)助金嗎”？對(duì)于在成本極其高昂的美國(guó)建設(shè)半導(dǎo)體工廠,、研發(fā)中心的企業(yè)而言,，不接受數(shù)十億美元的補(bǔ)助，簡(jiǎn)直是一個(gè)“沉重的打擊”,！

　　此外,，美國(guó)“CHIPS法案”中還規(guī)定了其他更苛刻的條件。

　　美國(guó)試圖進(jìn)一步壓制中國(guó)

　　如今,，美國(guó)把中國(guó)大陸最大的Foundry工廠放入其EL實(shí)體清單,，禁止向其出口可生產(chǎn)10納米以下半導(dǎo)體的相關(guān)設(shè)備。因此,，荷蘭ASML的最尖端的可用于10納米以下細(xì)微化加工的EUV曝光設(shè)備無法向其出口,。不僅僅是中國(guó)大廠,，SK海力士也無法在無錫工廠將EUV設(shè)備應(yīng)用于尖端DRAM的生產(chǎn)。

　　據(jù)2022年7月6日彭博社報(bào)道,，不僅僅是EUV光刻機(jī),，美國(guó)政府正試圖對(duì)荷蘭ASML和日本尼康施加壓力，以禁止他們向中國(guó)出口ArF液浸光刻機(jī),。

　　此外,，據(jù)2022年8月1日彭博社報(bào)道，為了阻礙中國(guó)生產(chǎn)28納米半導(dǎo)體（其實(shí)是16納米/14納米以及以上代際）,，美國(guó)政府已經(jīng)向美國(guó)的設(shè)備廠家發(fā)出正式文件,，禁止他們向中國(guó)出口相關(guān)設(shè)備。從上述報(bào)道來看,，未來美國(guó)的“禁止出口范圍”很有可能波及到美國(guó)應(yīng)用材料公司和日本東京電子株式會(huì)社,。

　　因此，不論TSMC,、三星電子,、SK海力士是否接受美國(guó)政府“CHIPS法案”的資金補(bǔ)助，都將無法在中國(guó)工廠進(jìn)行投資,，同時(shí)都將陷入困境,。

　　總而言之，美國(guó)是希望對(duì)中國(guó)進(jìn)行徹頭徹尾地出口限制,。美國(guó)如此嚴(yán)格的限制很有可能引起臺(tái)灣地區(qū),、韓國(guó)的半導(dǎo)體廠家對(duì)美國(guó)失去信心。筆者認(rèn)為美國(guó)的出口限制過于嚴(yán)格,、過于考慮美國(guó)利益,！

　　日本政府頒布法案支援半導(dǎo)體工廠建設(shè)

　　人們普遍認(rèn)為日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省依據(jù)下圖2，制定了半導(dǎo)體支援政策,。下圖2在日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省“半導(dǎo)體·數(shù)字化產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略（日本政府于2021年6月4日公布）”網(wǎng)站的“半導(dǎo)體戰(zhàn)略”文件第七頁,。

　　圖2：日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省制定半導(dǎo)體支援戰(zhàn)略的依據(jù)。

　?。▓D片出自：jbpress）

　　如上圖所示,，1988年日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全球占比50.3%，2019年下滑至10%,，照此發(fā)展下去,，到2030年將會(huì)萎縮至0%。對(duì)此,，經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省倍感危機(jī),，為了防止日本半導(dǎo)體占比的低下，確立了為新建半導(dǎo)體工廠提供資金支持的法案。2021年12月20日,，日本參議院全體會(huì)議中,，執(zhí)政黨多數(shù)贊成并通過了次法案。

　　基于該法案,，日本政府于2022年6月17日決定對(duì)TSMC熊本工廠最大支援4760億日元（約人民幣280億元）,。此外，日本政府還在2022年7約26日決定對(duì)鎧俠和WD的四日市工廠給與最大929億日元（約人民幣55億元）的資金補(bǔ)助,。然而,，還沒有決定是否對(duì)鎂光的廣島工廠進(jìn)行資金援助。

　　那么,，對(duì)TSMC熊本工廠,、鎧俠和WD的四日市工廠進(jìn)行資金援助后，日本的半導(dǎo)體全球占比真的會(huì)提高嗎,？

　　圖3：日本政府針對(duì)新建半導(dǎo)體工廠,，給與資金補(bǔ)助。

　?。▓D片出自：jbpress）

　　能否通過補(bǔ)助金,，提高日本的半導(dǎo)體全球市占率？

　　TSMC熊本Foundry工廠,，28/22納米一一16/12納米邏輯半導(dǎo)體方向晶圓的約產(chǎn)能為5.5萬片,。如果委托TSMC生產(chǎn)的的芯片設(shè)計(jì)公司（Fabless）都是日本企業(yè)，那么日本的半導(dǎo)體全球市占率有望相應(yīng)地提高,。

　　但是，日本幾乎沒有Fabless企業(yè),。從SEMILINKS這一半導(dǎo)體相關(guān)網(wǎng)站來看,，日本的Fabless僅有70家左右。此外,，幾乎沒有任何關(guān)于這些企業(yè)的產(chǎn)品介紹,、產(chǎn)品信息，可以說,，在日本從事芯片設(shè)計(jì)的Fabless企業(yè)僅有以下五家企業(yè)：Thine電子株式會(huì)社（Thine Electronics,Inc.),、Mega Chips株式會(huì)社（MegaChips Corporation）、Mega Design Net株式會(huì)社（Magna Design Net, Inc.）,、Logic Research株式會(huì)社,、索喜株式會(huì)社（Socionext)。（另外,，美國(guó)和臺(tái)灣地區(qū)有數(shù)百家Fabless企業(yè),，中國(guó)大陸有近3000家。）

　　那么，究竟是什么樣的企業(yè)會(huì)委托TSMC熊本工廠生產(chǎn)邏輯半導(dǎo)體呢,？由于索尼和電裝是熊本的股東,，這兩家可能會(huì)成為其客戶。但是,，這兩家客戶的訂單應(yīng)該無法填滿月產(chǎn)5.5萬片的產(chǎn)能,。在TSMC熊本工廠月產(chǎn)5.5萬片的晶圓中，最多1萬一一2萬片是提供給日本客戶,，剩余部分應(yīng)該是提供給其他諸多海外客戶,。盡管TSMC熊本工廠的“原始資本金”來自于日本的稅收，而卻不一定優(yōu)先為日本客戶供貨,。

　　那么,，鎧俠和WD的四日市工廠又如何呢？鎧俠&WD分別投資50%的設(shè)備生產(chǎn)NAND,，生產(chǎn)的NAND也是各取50%,。鎧俠是日本企業(yè)、WD是美國(guó)企業(yè),。因此,，即使對(duì)鎧俠和WD的四日市工廠予以補(bǔ)助，對(duì)提高日本半導(dǎo)體占比的貢獻(xiàn)也僅有50%,。

　　綜上所述,，即使日本政府對(duì)TSMC熊本工廠、鎧俠和WD的四日市工廠予以資金補(bǔ)助,，也不會(huì)提高日本半導(dǎo)體全球市占率,。（即使稍有提高，也是微乎其微,。）

　　日本政府宣布量產(chǎn)“2納米”,，簡(jiǎn)直是可笑至極

　　2022年7月29日，日本經(jīng)濟(jì)新聞報(bào)道稱,，日本和美國(guó)在量產(chǎn)半導(dǎo)體方面展開合作,，日本和美國(guó)兩國(guó)政府于7月29日在美國(guó)首都華盛頓召開首次“經(jīng)濟(jì)2plus2”會(huì)議，會(huì)議中提到日本和美國(guó)共同研發(fā)2納米半導(dǎo)體,，日本在年底之前成立“新一代半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)中心（臨時(shí)名稱）”,，計(jì)劃在2025年于日本國(guó)內(nèi)量產(chǎn)2納米半導(dǎo)體。

　　至此,，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省已經(jīng)制定了多個(gè)令人無法理解的政策（所以日本的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)才一片混亂）,，“日本和美國(guó)合作研發(fā)2納米半導(dǎo)體，日本自2025年開始量產(chǎn)2納米半導(dǎo)體”一一這真是令人驚訝,、震驚,、不可思議,！簡(jiǎn)直是一條愚蠢至極的策略，日本半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)人員不禁要問：“這樣的政策真的可以實(shí)施下去嗎”,？（那么,，日本政府可能會(huì)說：“政府不插手了”，但是,，媒體在號(hào)召大家進(jìn)行評(píng)論,，所以筆者發(fā)表一下自己的見解。）

　　由于日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省似乎是在很認(rèn)真地發(fā)布了以上政策,，真讓人頭疼,！8月10日在赤坂Inter City Conference召開了“Flash Forward Japan 存儲(chǔ)半導(dǎo)體·改革·座談會(huì)”，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省商務(wù)信息政策局總務(wù)科西川和見科長(zhǎng)做了名為《Current state of the art in semiconductors in Japan》的主題演講,。（下圖4）

　　圖4：日本和美國(guó)合作研發(fā)2納米,，日本自2025年開始量產(chǎn)2納米？,？出自：西川和見（日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)?。禖urrent state of the art in semiconductors in Japan》,、“Flash Forward Japan 存儲(chǔ)半導(dǎo)體·改革·座談會(huì)”,，2022年8月10日。

　?。▓D片出自：jbpress）

　　那么,，為什么日本量產(chǎn)2納米半導(dǎo)體是可笑至極呢？（雖然很難解釋,，但筆者還是要說明一下,。）

　　2納米半導(dǎo)體難在何處？

　　所謂半導(dǎo)體的“微縮化”,，指的是每一代際縮小約70%,。如下圖4所示，日本自45納米以后就不再有進(jìn)步,。45納米以后為32納米、22納米,、16/14納米,、10納米、7納米,、5納米,、3納米、2納米,。（西川先生的資料中遺漏了32納米和10納米,，筆者進(jìn)行了補(bǔ)充。）

　　自45納米（日本可以生產(chǎn)）到2納米，共跨越了九個(gè)代際的微縮化,，這究竟有多難呢,？

　　首先，微縮化每發(fā)展一個(gè)代際,，肯定會(huì)出現(xiàn)諸多問題,，為解決這些問題，需要進(jìn)行多次試錯(cuò)實(shí)驗(yàn),。在28納米/22納米之前,，晶體管的形狀為“平面型（Planner）”，16納米以后為FinFET,，2納米以后為GAA（Gate-All-Around,，全環(huán)繞柵極晶體管），之所以有這么大的變化,，是因?yàn)椴桓淖兙w管結(jié)構(gòu),，無法實(shí)現(xiàn)人們期待的性能。此外,，隨著微縮化發(fā)展,，出現(xiàn)的問題也是各式各樣。

　　比方說,，在2015年之前以為被視為“微縮化頭號(hào)玩家（Top Runner）”美國(guó)英特爾在2016年無法順利從14納米過度到10納米,，在后來的五年里，10納米的啟動(dòng)一直不順利（如下圖5）,。去年（2021年）Patrick Gelsinger就任英特爾第八代CEO,，并將10納米命名為“Intel 7（i7）”、7納米（采用了最先進(jìn)的EUV曝光設(shè)備）改為“Intel 4（i4）”,。如今英特爾正在為實(shí)現(xiàn)i4而努力,。

　　圖5：邏輯半導(dǎo)體和Foundry廠家的技術(shù)藍(lán)圖。

　?。▓D片出自：jbpress）

　　TSMC和三星在同一時(shí)間（2019年）啟動(dòng)7納米,，后來，雖然僅僅能看到6納米,、5納米,、4納米、3納米等一系列數(shù)字的進(jìn)步,，但5納米以后的良率很難提升,，而且TSMC的3納米采用了GAA構(gòu)造，因此TSMC在3納米代際陷入絕望,，果斷進(jìn)軍2納米,。

　　即使是獨(dú)享最尖端技術(shù)的TSMC,，雖然曾經(jīng)每?jī)赡旮嬉粋€(gè)代際，但3納米并未能按計(jì)劃啟動(dòng),，耗費(fèi)了兩年半的時(shí)間,，在2022年下半年，終于迎來了量產(chǎn)關(guān)鍵期,。2納米代際晶體管采用新型GAA,，進(jìn)入量產(chǎn)可能要花費(fèi)兩年半甚至三年的時(shí)間。因此,，2納米的量產(chǎn)時(shí)間最快在2025年,、甚至2026年。

　　如果日本“自2025年開始量產(chǎn)2納米”,，那么,，很有可能早于TSMC！從當(dāng)下的45納米,，跨越九個(gè)代際,，比TSMC早量產(chǎn)2納米，這是多么異想天開的方案,！

　　不僅僅是“中學(xué)生和大學(xué)生的差距”

　　在2022年8月3日的日本經(jīng)濟(jì)新聞“Deep Insight”中,，針對(duì)2納米的難度，Common Data的中山淳史先生做了以下比喻：“Planner型是中學(xué)生,、FinFET是高中生,、GAA是大學(xué)生”。

　　而筆者認(rèn)為2納米的難度不止如此,。但是,，偶爾也會(huì)有一些天才少年，直接從中學(xué)跳級(jí)升入大學(xué),，但是,，對(duì)于半導(dǎo)體而言，直接從45納米過渡到2納米,，跨越九個(gè)代際,，是不可能的。

　　就半導(dǎo)體的微縮化發(fā)展而言,，每個(gè)代際進(jìn)步70%,，其難度呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)。20多年前,，筆者曾參與研發(fā)了4M,、16M,、64M,、256M的DRAM研發(fā)和量產(chǎn),。每一代際的研發(fā)都像“走鋼絲”一樣困難。比方說,，研發(fā)從64M過渡到256M時(shí),，由于過于困難，當(dāng)時(shí)甚至出現(xiàn)了“莫非256M是做不到的,？”這樣的想法,。半導(dǎo)體微縮化發(fā)展真的非常困難。

　　因此,，下面的比喻可以回答“站在45納米的角度來看,，2納米究竟是什么”這個(gè)問題！日本少年棒球聯(lián)盟的青少年球員一般會(huì)有以下夢(mèng)想：“未來,，成為美國(guó)職業(yè)棒球聯(lián)盟球員,，像大谷翔平一樣投打雙修！”當(dāng)然,，青少年棒球球員懷有夢(mèng)想是好事,。但是，某個(gè)青少年球員希望“在三年后,，進(jìn)入美國(guó)職業(yè)棒球聯(lián)盟,，且投打雙修！”當(dāng)然這是不現(xiàn)實(shí)的,。大家可能會(huì)對(duì)這個(gè)少年說：“先進(jìn)入甲子園,，然后以出色的成績(jī)進(jìn)入日本職業(yè)棒球團(tuán)，最后有望進(jìn)入美國(guó)職業(yè)棒球聯(lián)盟,?！?/p>

　　45納米和2納米的差距，就像青少年棒球隊(duì)員與隸屬于美國(guó)職業(yè)棒球聯(lián)盟的,、投打雙修的大谷翔平的差距一樣,。

　　如何獲得EUV？

　　最后,，最后筆者再基于事實(shí)論述為何“日本計(jì)劃從2025年開始量產(chǎn)2納米”是不現(xiàn)實(shí)的,。要量產(chǎn)2納米，其中一款必須的設(shè)備是僅荷蘭ASML可量產(chǎn)的尖端EUV曝光設(shè)備,。

　　據(jù)預(yù)測(cè),，在2025年，TSMC擁有100臺(tái)光刻機(jī),、三星有35臺(tái),、英特爾有15臺(tái)（下圖6）。但是,，這三家公司都希望有更多的EUV設(shè)備,。除了以上三家,，SK海力士、鎂光,、南亞等DRAM廠家也都希望購(gòu)買更多的EUV設(shè)備,。

　　圖6：TSMC、三星,、英特爾所擁有的EUV設(shè)備數(shù)量（預(yù)測(cè)）,。筆者根據(jù)預(yù)測(cè)值制作了此圖。

　?。▓D片出自：jbpress）

　　ASML自2016年開始出貨EUV設(shè)備（下圖7）,。2016年出貨5臺(tái)、2017年出貨10臺(tái),，2018年出貨18臺(tái),，2019年出貨26臺(tái)，2020年出貨31臺(tái),，2021年出貨42臺(tái),，今年（2022年）計(jì)劃出貨55臺(tái)（但是有消息稱，今年受到零部件供給不足的影響,，出貨量可能停滯在40臺(tái)左右,。）

　　圖7：ASML的EUV設(shè)備出貨數(shù)量（2022年為預(yù)測(cè)）。

　?。▓D片出自：jbpress）

　　2020年年中,，未交貨訂單（Open PO，即開口訂單,，收到客戶訂單,，但未能交貨）為56臺(tái)，今年（2022年）未交貨訂單達(dá)到了100臺(tái),。

　　總而言之,，如今的情況是即使向ASML訂貨，也不一定買得到,?！叭毡咀?025年開始量產(chǎn)2納米”，即意味著日本在2025年擁有EUV設(shè)備,，并熟練使用,。

　　有夢(mèng)想的棒球青少年球員即使利用魔法變身成為了大谷翔平，沒有EUV光刻機(jī),，依然無法量產(chǎn)2納米,。筆者很想問問，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省的西川科長(zhǎng)如何看待以上問題點(diǎn)。

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