IT之家 2 月 21 日消息,,在邏輯,、存儲器、CMOS 傳感器等尖端半導(dǎo)體領(lǐng)域,,制造工藝日趨復(fù)雜,,半導(dǎo)體元器件制造廠商為了制造出高精度的半導(dǎo)體元器件,需要提高套刻的精度,,因而曝光前要測量的對準(zhǔn)測量點(diǎn)也越來越多,。
本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202302/443632.htm
如果在半導(dǎo)體光刻機(jī)中對數(shù)量眾多的測量點(diǎn)進(jìn)行對準(zhǔn)測量的話,測量本身會非常耗時(shí),,進(jìn)而就會降低半導(dǎo)體光刻機(jī)的生產(chǎn)效率,。為此,半導(dǎo)體制造領(lǐng)域引進(jìn)了晶圓測量機(jī),,將半導(dǎo)體光刻機(jī)的對準(zhǔn)測量功能分離出來,,以此來確保生產(chǎn)的高精度和效率。
2 月 21 日,,佳能推出了半導(dǎo)體制造用晶圓測量機(jī)“MS-001”,,該產(chǎn)品可以對晶片進(jìn)行高精度的對準(zhǔn)測量。
▲ MS-001
據(jù)介紹,,“MS-001”所搭載的調(diào)準(zhǔn)用示波器安裝有區(qū)域傳感器,,可以進(jìn)行多像素測量,降低測量時(shí)的噪音。另外,,“MS-001”還可以對多個(gè)種類的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行測量,。
通過采用新開發(fā)的調(diào)準(zhǔn)用示波器光源,新產(chǎn)品可提供的波長范圍比在半導(dǎo)體光刻設(shè)備中測量時(shí)大 1.5 倍,,能夠以用戶所需的任意波長進(jìn)行對準(zhǔn)測量,。因此,相較于在半導(dǎo)體光刻設(shè)備中所進(jìn)行的測量,,“MS-001”所能實(shí)現(xiàn)的對準(zhǔn)測量精度要更高,。
▲ 增加的對準(zhǔn)標(biāo)記(示意)
佳能表示,隨著新產(chǎn)品的應(yīng)用,,可以在晶片運(yùn)送至半導(dǎo)體光刻設(shè)備之前統(tǒng)一完成大部分的對準(zhǔn)測量,,減輕在半導(dǎo)體光刻設(shè)備中進(jìn)行對準(zhǔn)測量操作的工作量,,從而提高半導(dǎo)體光刻設(shè)備的生產(chǎn)效率,。
更多信息可以來這里獲取==>>電子技術(shù)應(yīng)用-AET<<