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國(guó)內(nèi)首條光子芯片中試線在無錫啟用

覆蓋從光刻到封裝全閉環(huán)工藝
2024-09-27
來源:IT之家

9 月 26 日消息,,據(jù)上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院消息,,9 月 25 日,在 2024 集成電路(無錫)創(chuàng)新發(fā)展大會(huì)上,上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院建設(shè)的國(guó)內(nèi)首條光子芯片中試線正式啟用。

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上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院介紹稱,,光子芯片是新一代信息技術(shù)的核心,能滿足新一輪科技革命中人工智能物聯(lián)網(wǎng),、云計(jì)算、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域?qū)鬏?、?jì)算,、存儲(chǔ)、顯示的技術(shù)需求,。然而一直以來,,國(guó)內(nèi)光子芯片行業(yè)面臨中試平臺(tái)缺位、工藝技術(shù)壁壘高,、良品率驗(yàn)證低,、產(chǎn)能轉(zhuǎn)化不足、國(guó)外平臺(tái)流片周期長(zhǎng)等共性困境,,嚴(yán)重制約了創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化落地的 " 黃金期 ",。為此,上海交大無錫光子芯片研究院率先在無錫布局國(guó)內(nèi)首條高端光子芯片中試線,。

中試平臺(tái)總面積 17000 平方米,,集科研、生產(chǎn),、服務(wù)于一體,,配備超 100 臺(tái) " 國(guó)際頂級(jí) CMOS 工藝設(shè)備 ",覆蓋了薄膜鈮酸鋰光子芯片從光刻,、薄膜沉積,、刻蝕、濕法,、切割,、量測(cè)到封裝的全閉環(huán)工藝。

該平臺(tái)還兼顧硅,、氮化硅等其他材料體系,,搭建 N 個(gè)特色工藝平臺(tái),結(jié)合 " 研發(fā)中試 + 技術(shù)服務(wù) " 運(yùn)營(yíng)模式,,不僅可為高校,、科研院所、創(chuàng)新企業(yè)提供全流程技術(shù)服務(wù),,還可以為光子產(chǎn)業(yè)孵化項(xiàng)目,。

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查詢公開資料獲悉,上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院(CHIPX)于 2021 年 12 月份在無錫市與上海交通大學(xué)深化全面合作的框架下正式成立,,研究院由無錫市濱湖區(qū)人民政府,、上海交通大學(xué),、蠡園經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)三方共同參與建設(shè)。

2021 年,,江蘇省無錫市濱湖區(qū)引進(jìn)上海交通大學(xué)金賢敏團(tuán)隊(duì),,成立上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院;2022 年 12 月中試線正式開工,,2023 年 10 月載體封頂,2024 年 1 月首批設(shè)備入場(chǎng),,經(jīng)過設(shè)備調(diào)試,,直至 9 月正式啟用。

上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院透露,,下階段,,研究院將基于 6/8 寸薄膜鈮酸鋰晶圓,以薄膜鈮酸鋰調(diào)制器為核心,,攻克薄膜鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)業(yè)化面臨的工程技術(shù)難題,,開發(fā)晶圓級(jí)芯片量產(chǎn)工藝,實(shí)現(xiàn)薄膜鈮酸鋰光子芯片規(guī)模量產(chǎn),,滿足人工智能發(fā)展等大算力需求,。


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