基于MEMS微鏡的混合式掃描同步設(shè)計(jì)
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：aetmagazine
文檔大?。?span>716 K
標(biāo)簽： MEMS STM32微控制器 DDS
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文檔介紹：為了解決MEMS微鏡掃描角度較小的缺點(diǎn)，設(shè)計(jì)了一種MEMS微鏡與無刷電機(jī)同步掃描系統(tǒng),。該系統(tǒng)由STM32微控制器,、DDS驅(qū)動(dòng)電路、相位檢測電路組成,。通過設(shè)計(jì)光柵碼盤實(shí)現(xiàn)對(duì)無刷電機(jī)速度的測量,，由PID算法控制電機(jī)轉(zhuǎn)速使電機(jī)反饋信號(hào)與MEMS微鏡反饋信號(hào)頻率相同，并檢測兩路反饋信號(hào)的相位差,，調(diào)節(jié)DDS驅(qū)動(dòng)信號(hào)的相位實(shí)現(xiàn)相位同步,。實(shí)驗(yàn)表明，系統(tǒng)工作穩(wěn)定,，相位誤差不超過1.5%,。
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