基于DSP增益可控的光刻機(jī)測高電路的設(shè)計研究
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：aetmagazine
文檔大?。?span>491 K
標(biāo)簽： 激光三角法 線陣CCD 數(shù)字信號處理器
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文檔介紹：介紹了激光三角法高度測量技術(shù)和基于數(shù)字信號處理器DSP與線陣CCD的激光高度測量系統(tǒng)。采用比例恒流源和鏡像恒流源組合,，設(shè)計了輸出功率穩(wěn)定可調(diào)的激光二極管驅(qū)動電路和線陣CCD的驅(qū)動電路,，借助DSP定時器周期調(diào)節(jié)靈活的優(yōu)點,，方便地調(diào)節(jié)光積分時間來提高信號質(zhì)量。針對光刻工藝中不同的測量對象表面的光學(xué)特征,，自動進(jìn)行激光二極管增益控制和光積分時間調(diào)節(jié),，提高測量的適應(yīng)性和測量效率。
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