基于體硅MEMS工藝的射頻微系統(tǒng)沖擊特性仿真研究*
所屬分類：技術論文
上傳者：wwei
文檔大?。?span>4394 K
標簽： 體硅MEMS 射頻微系統(tǒng) 沖擊
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文檔介紹：高過載沖擊試驗成本高、周期長,，同時失效檢測手段較少,，難以定位結構薄弱點,。針對體硅工藝MEMS（Micro-electromechanical System）射頻微系統(tǒng)，采用沖擊響應譜與瞬態(tài)動力學方法,，研究板級與試驗條件下的高沖擊載荷響應,。仿真結果表明，該射頻微系統(tǒng)能夠承受高沖擊過載,，仿真結果可提前預判結構失效點,，提高產品抗沖擊可靠性。
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