MEMS模塊簡易教程
所屬分類：教程|講義
上傳者：serena
文檔大?。?span>2912 K
標(biāo)簽： MEMS
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文檔介紹：COMSOL Multiphysics是全球第一款真正的多物理場耦合分析軟件，本教程講解了基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及應(yīng)用,。
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