《電子技術(shù)應(yīng)用》
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富士通半導(dǎo)體與SuVolta展示~0.4伏超低電壓工作的SRAM

2011-12-07
作者:富士通半導(dǎo)體

  富士通半導(dǎo)體有限公司和SuVolta,,Inc今日宣布,,通過(guò)將SuVolta的PowerShrink™低功耗CMOS與富士通半導(dǎo)體的低功耗工藝技術(shù)集成,,已經(jīng)成功地展示了在0.425V超低電壓下,,SRAM(靜態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ))模塊可以正常運(yùn)行,。這些技術(shù)降低能耗,,為即將出現(xiàn)的終極“生態(tài)”產(chǎn)品鋪平道路,。技術(shù)細(xì)節(jié)和結(jié)果將會(huì)在12月5日開(kāi)始在華盛頓召開(kāi)的2011年國(guó)際電子器件會(huì)議(IEDM)上發(fā)表。
  
  從移動(dòng)電子產(chǎn)品到因特網(wǎng)共享服務(wù)器,,以及網(wǎng)絡(luò)設(shè)備,,控制功耗成為增加功能的主要限制。而供應(yīng)電壓又是決定功耗的重要因素,。之前,,CMOS的電源電壓隨著器件尺寸減小而穩(wěn)定下降,在130nm技術(shù)結(jié)點(diǎn)已降至大約1.0V,。但在那之后,技術(shù)結(jié)點(diǎn)已縮小到28nm,,電源電壓卻沒(méi)有隨之進(jìn)一步降低,。電源供應(yīng)電壓降低的最大障礙是嵌入的SRAM模塊最低工作電壓。
  
  結(jié)合SuVolta的Deeply Depleted Channel™ (DDC)晶體管技術(shù) – 該公司的PowerShrink™平臺(tái)組件之一 – 與富士通半導(dǎo)體的尖端工藝,,兩家公司已經(jīng)證實(shí)通過(guò)將CMOS晶體管臨界電壓(VT)的波動(dòng)降低一半,,576Kb的SRAM可在0.4伏附近正常工作。該項(xiàng)技術(shù)與現(xiàn)有設(shè)施匹配良好,,包括現(xiàn)有的芯片系統(tǒng)(SoC)設(shè)計(jì)布局,,設(shè)計(jì)架構(gòu)比如基體偏壓控制,,以及制造工具。
  
背景
  
  遵循微縮定律,,在130nm技術(shù)結(jié)點(diǎn)CMOS電源供應(yīng)電壓逐步降低到大約1.0V,。但是,盡管工藝技術(shù)已經(jīng)由 130nm繼續(xù)縮小到28nm,,電源電壓卻還保持在1.0V左右的水平,。由于動(dòng)態(tài)功率與供應(yīng)電壓的平方成正比,能耗已經(jīng)成為CMOS技術(shù)的主要問(wèn)題,。電壓降低止步于130nm結(jié)點(diǎn)的原因是多處波動(dòng)來(lái)源,,包括隨機(jī)雜質(zhì)擾動(dòng)(RDF)。RDF是器件及工藝波動(dòng)的一種形式,,由注入雜質(zhì)濃度或晶體管通道內(nèi)摻雜原子 的擾動(dòng)引起,。RDF導(dǎo)致同一芯片上不同晶體管的臨界電壓(VT)出現(xiàn)偏差。
  
  已見(jiàn)報(bào)道的兩種特殊結(jié)構(gòu)可以成功減小RDF:ETSOI和Tri-Gate – FinFET技術(shù)的一種,。但是,,這兩種技術(shù)都非常復(fù)雜,使得他們很難與現(xiàn)有設(shè)計(jì)和制造設(shè)施匹配,。
  
SuVolta的DDC™晶體管
  
  圖1所示為SuVolta的DDC™晶體管在富士通半導(dǎo)體的低功耗CMOS工藝中的應(yīng)用,。晶體管截面電子顯微圖(TEM)顯示晶體管在平面基體硅結(jié)構(gòu)上制造而成。


圖1. DDC晶體管截面


降低SRAM最低工作電壓
  對(duì)于大多數(shù)芯片,,降低供應(yīng)電壓的限制來(lái)自于SRAM,。如圖2所示,富士通半導(dǎo)體和SuVolta展示了在低至0.425V電壓下仍然能夠正常工作的SRAM模塊,。由于SRAM是降低供應(yīng)電壓最大的挑戰(zhàn),,該項(xiàng)成果意味著DDC將使得多種基于CMOS的電路在0.4V左右運(yùn)作成為現(xiàn)實(shí)。
  
  圖2顯示了576k SRAM宏模塊在不同電壓下的良率,。良率由所有比特都通過(guò)的宏模塊數(shù)目計(jì)算而得,。


圖2. 576k SRAM良率


總結(jié)與未來(lái)計(jì)劃
  DDC晶體管的工藝流程已經(jīng)成功建立。所制造的DDC晶體管顯示VT波動(dòng)比基準(zhǔn)流程改善了50%,,并且產(chǎn)出在0.425V電壓下仍能運(yùn)作的SRAM,,充分證明了DDC晶體管有能力將供應(yīng)電壓降低到0.4V左右。
  
  富士通半導(dǎo)體將發(fā)展這項(xiàng)技術(shù)并積極回應(yīng)客戶(hù)在消費(fèi)電子產(chǎn)品,,移動(dòng)設(shè)備及其他領(lǐng)域?qū)τ诘凸?低電壓運(yùn)行的要求,。
 

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