蕭家順：計量技術(shù)與半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新,。半導(dǎo)體技術(shù)進入奈米等級之量測需求,，面臨相當多的挑戰(zhàn),。28奈米線寬量測重復(fù)性要求控制在0.2奈米內(nèi),，超出目前量測儀器能力,。并且產(chǎn)品蝕刻后之深度及形貌的實時量測,，亦是目前的挑戰(zhàn),。而薄膜量測已非只專注傳統(tǒng)單純二氧化硅厚度,，新材料如高介電系數(shù)或低介電系數(shù)之氧化層的標準厚度及組成特性之量測標準,，是目前業(yè)界急需投入的課題。另外,，磊晶的標準厚度及組成特性之量測標準亦是即將面對的挑戰(zhàn),。

    　產(chǎn)品缺陷偵測，在制程進入45奈米,，表面粒徑偵測能力需求在35奈米內(nèi),， 面臨量測儀器能力表面粒徑偵測能力不足的問題。

    　過去工研院量測中心在二氧化硅厚度及奈米線寬標準,，均成功建立可讓業(yè)界追溯之標準,。在未來更加挑戰(zhàn)的奈米制程控制要求，量測技術(shù)的發(fā)展將會日益嚴峻,，若業(yè)界可藉由外界的量測服務(wù)支持,，或透過合作發(fā)展的模式，將會是重要的競爭優(yōu)勢,。目前除線寬,，二氧化硅厚度、形貌角度及缺陷標準之建立,，是業(yè)界急需建立追溯之標準,。

    　量測技術(shù)的發(fā)展,，除了基礎(chǔ)的標準建立，技術(shù)咨詢的建立也是另一個課題,。制程的控制除了誤差的控制,，穩(wěn)定度的精進，量測方法的精進必須透過專業(yè)的研究發(fā)展達成,，也涵蓋了工程及統(tǒng)計技術(shù)的支持,。若能在量測中心培養(yǎng)專業(yè)的人才， 建立良好的技術(shù)咨詢,，對于業(yè)界有限的資源來說,，是很大的幫助。