具備最佳性能，新一代 CMP 研磨液代表陶氏最先進(jìn)的層間介電層研磨液

　　臺(tái)灣新竹 – 2016 年 7 月 26 日 – 陶氏電子材料是陶氏化學(xué)公司（紐約證交所代號(hào)：DOW）的一個(gè)事業(yè)部,，本日推出 OPTIPLANE?  化學(xué)機(jī)械研磨液 (CMP) 平臺(tái),。OPTIPLANE 研磨液系列的開(kāi)發(fā)是為了滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)先進(jìn)半導(dǎo)體研磨液的需求：能以有競(jìng)爭(zhēng)力的成本，符合減少缺陷的要求和更嚴(yán)格的規(guī)格,，適合用來(lái)製造新一代先進(jìn)半導(dǎo)體裝置,。

　　全球 CMP 消耗品市場(chǎng)持續(xù)成長(zhǎng)，部分的成長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)力來(lái)自新的 3D 邏輯,、NAND 快閃記憶體和封裝應(yīng)用,，這些均要求大幅提高的平坦化效果和最低程度的缺陷率，以符合無(wú)數(shù)先進(jìn)電子裝置的性能需求,。

　　「生產(chǎn)先進(jìn)半導(dǎo)體晶圓的邏輯和記憶體晶片公司面臨越來(lái)越多的挑戰(zhàn),，要能滿(mǎn)足不斷改變的需求，增強(qiáng)性能, 降低成本和同時(shí)提高最大產(chǎn)量,。CMP 因此成為半導(dǎo)體製造過(guò)程中的關(guān)鍵因素,，而且 CMP 的使用正持續(xù)增加?！固帐想娮硬牧?CMP 科技部全球研磨液業(yè)務(wù)總監(jiān) - Adam Manzonie 表示,?！肝覀円验_(kāi)發(fā)出 OPTIPLANE?  研磨液平臺(tái)，以回應(yīng)我們客戶(hù)對(duì) CMP 研磨液的需求：多功能,、具成本效益,，并且能因應(yīng)與日俱增的要求?！?/p>

　　透過(guò)先進(jìn)的化學(xué)程序和最佳化粒子濃度,，OPTIPLANE CMP 研磨液能提供多種可調(diào)整研磨率的配方,，亦可調(diào)整選擇能力,，以符合客戶(hù)專(zhuān)屬的獨(dú)特規(guī)格,。可稀釋的 OPTIPLANE CMP 研磨液平臺(tái)不但能實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的平坦化效率和低缺陷率,，也能提高產(chǎn)量和降低持有成本 (CoO),。

　　「身為 CMP 技術(shù)龍頭，陶氏相當(dāng)了解 CMP 研磨墊和研磨液間材料的相互作用,?！固帐想娮硬牧?CMP科技部全球研發(fā)總監(jiān) - Marty DeGroot 表示?！高@樣的理解讓我們能運(yùn)用我們的研發(fā)能力,，開(kāi)發(fā)出能對(duì)應(yīng)研磨墊性能、并依照每一位客戶(hù)的需求提供具有獨(dú)特性能效益的研磨液配方,?！?/p>

　　即將推出的第一種配方為 OPTIPLANE?  2118 CMP 研磨液，這是新一代的層間介電層(ILD) 研磨液,，亦可用于不同的前段 (FEOL) 研磨應(yīng)用,。OPTIPLANE 2118 CMP 研磨液現(xiàn)有樣品可供索取。如需索取樣品或深入了解 OPTIPLANE 平臺(tái),，請(qǐng)聯(lián)絡(luò)您的客戶(hù)代表,。