目前,,大多數(shù)的晶體管制造都采用硅信道以及基于硅氧化物的電介質(zhì),。然而,,這些晶體管通常不是缺乏透明度就是不夠靈活,,因而可能成為制造高整合的壓力傳感器數(shù)組與透明壓力傳感器時的一大阻礙,。
UNIST的研究人員開發(fā)的這種新型的數(shù)組技術(shù)十分具有發(fā)展前景,,因為它能根據(jù)偵測觸控動作產(chǎn)生電訊號,,并同顯示偵測對象的位置以及壓力的大小,,而且還較傳統(tǒng)的壓力傳感器更具有透明度以及消耗較低功耗,,這和目前針對圖形所用的觸控傳感器是不同的,。
UNIST材料科與工程研究所教授Jang-Ung Park帶領(lǐng)研究團(tuán)隊共同進(jìn)行這項研究,他們采用高度導(dǎo)電且?guī)в锌諝饨殡妼拥耐该魇?,以及能夠在可折迭基板一?cè)擷取空氣的彈性體,。
該數(shù)組能夠偵測導(dǎo)致氣隙介電質(zhì)變形的滑動,、輕觸與手指的壓力,提供一種測量壓力大小與位置的方法,。再者,,相較于被動矩陣類型,這種新型的數(shù)組所消耗的功率較少,,反應(yīng)時間也更快,。
Park表示:“利用空氣作為產(chǎn)生場效晶體管(FET)的介電層,能夠因為石墨烯信道與空氣間的接口干凈,,從而顯著提高晶體管的性能,。此外,這種空氣介電層的厚度是由所施加的壓力而決定的,,因此,,透過這種技術(shù),能夠更有效地偵測壓力的變化,?!?/p>
這種傳感器能夠同時測量小于10kPa的任何物體,例如輕敲至大于2MPa,、人體的重量等,此外,,它還能應(yīng)用于3D觸控面板或慢跑鞋,。這項研究結(jié)果已經(jīng)發(fā)表在最新一期的《自然通訊》(Nature Communications)期刊中。