隨著技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展,，制程的步驟越來越多,，工藝也更加復(fù)雜化,。如采用多重圖形技術(shù)的制程則為達(dá)到1000多道,，而工藝窗口的挑戰(zhàn)則要求幾乎是“零缺陷”,，這就對工藝控制水平提出了更高的要求,。制造過程中任何細(xì)小的錯(cuò)誤都將導(dǎo)致重新流片,，而其代價(jià)將會很大,，因此在制造過程中,，檢測和量測變得越來越重要，越早發(fā)現(xiàn)問題所在,，可挽回的損失越大,。全球領(lǐng)先的工藝控制及良率管理解決方案的設(shè)備供應(yīng)商KLA-Tencor其產(chǎn)品線涵蓋了半導(dǎo)體制程的各個(gè)環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點(diǎn)，包括晶圓表面缺陷,、光罩,、薄膜等，也同時(shí)提供數(shù)據(jù)的分析和儲存,。在其它領(lǐng)域,，如高亮度LED、MEMS,、功率器件等,，KLA-Tencor也為客戶提供了大量的先進(jìn)技術(shù)和機(jī)臺,。 
KLA-Tencor客戶互動副總Mark Shirey表示 “更先進(jìn)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)意味著更大的研發(fā)投入，而隨著成本的增加良率的提升就顯得尤為重要,，良率與成本需要達(dá)到平衡,。同時(shí)要盡量縮短從研發(fā)到上線，再到最終產(chǎn)品的周期,。 KLA-Tencor一直致力于幫助客戶加快產(chǎn)品開發(fā)周期,，從而降低成本。KLA-Tencor也與客戶通過緊密合作,，當(dāng)客戶在生產(chǎn)和研發(fā)過程中遇到新的挑戰(zhàn)時(shí),，KLA-Tencor的工程師都會在第一時(shí)間了解到客戶的需求，并借助自身強(qiáng)大的技術(shù)能力幫助客戶解決難題,，最終實(shí)現(xiàn)和客戶共同進(jìn)步”
對于先進(jìn)制程,，如7nm和5nm等設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)，芯片制造商想要找到產(chǎn)品上的疊對誤差,、線寬尺寸不均勻和易失效點(diǎn)（Hotspots）的明確起因?qū)⒆兊迷絹碓嚼щy,。KLA-Tencor最近就推出了5款圖案成型控制系統(tǒng)，主要針對7nm以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)設(shè)計(jì),，以幫助芯片制造商實(shí)現(xiàn)多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴(yán)格工藝寬容度,。這五款產(chǎn)品分別為ATL疊對良測系統(tǒng)和SpectraFilm? F1薄膜量測系統(tǒng)，他們可以針對FinFET,、DRAM,、3D NAND和其他復(fù)雜器件結(jié)構(gòu)的制造提供工藝表征分析和偏移監(jiān)控。Teron? 640e光罩檢測產(chǎn)品系列和LMS IPRO7光罩疊對位準(zhǔn)量測系統(tǒng)可以協(xié)助掩模廠開發(fā)和認(rèn)證EUV和先進(jìn)的光學(xué)光罩,。5D Analyzer? X1先進(jìn)數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)提供開放架構(gòu)的基礎(chǔ),，以支持晶圓廠量身定制分析和實(shí)時(shí)工藝控制的應(yīng)用。Mark Shirey表示：“這五款系統(tǒng)將為我們的客戶提供KLA-Tencor最尖端的技術(shù),，幫助他們降低由每個(gè)晶圓,、光罩和工藝步驟所導(dǎo)致的圖案成型誤差，從制程的源頭進(jìn)行控制,，及早發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤,，避免造成更大的損失?！?
KLA-Tencor的產(chǎn)品線涵蓋了半導(dǎo)體制程的各個(gè)環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點(diǎn),。
此外，隨著近幾年中國政府對發(fā)展半導(dǎo)體行業(yè)的大力投資,，中國的半導(dǎo)體行業(yè)呈現(xiàn)欣欣向榮的局面,。很多國際廠商也逐漸意識到中國市場的重要性，紛紛投資中國市場。KLA-Tencor也不外如是,，也不斷加大在中國的投資,。目前，KLA-Tencor在中國已經(jīng)設(shè)立了10處辦公室,，近期又?jǐn)U展了其位于北京的辦公室,，希望能快速、及時(shí)地支持本地客戶的需求 ,。而且,，KLA-Tencor近期還上線了其中文網(wǎng)站（www.kla-tencor.cn）,該網(wǎng)站將同步KLA-Tencor的美國網(wǎng)站，定期更新各類最新的功能以及技術(shù)信息,，以更好服務(wù)中國的客戶,。KLA-Tencor 中國區(qū)總裁張智安表示“隨著中國半導(dǎo)體市場的加速發(fā)展，它的地位也變得舉足輕重,，將來會是兵家必爭之地,。中國有很多對于我們很重要的客戶， 我們希望能與他們保持密切的合作關(guān)系,，為他們提供所需的技術(shù)支持和服務(wù),。今后，我們會持續(xù)投入中國市場,。全力支持中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展,。我們相信未來的中國市場會有很好的發(fā)展前景，中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在向好的方向發(fā)展”