近年來,,隨著功率半導(dǎo)體器件、工業(yè)半導(dǎo)體,、汽車電力電子等領(lǐng)域的空前發(fā)展,,第三代半導(dǎo)體材料越發(fā)凸顯其重要性與優(yōu)越性,。目前發(fā)達國家都將第三代半導(dǎo)體材料及相關(guān)器件等的發(fā)展列為半導(dǎo)體重要新興技術(shù)領(lǐng)域。那么,,什么是第三代半導(dǎo)體材料,?
三代半導(dǎo)體材料的發(fā)展變遷
第一代半導(dǎo)體材料主要是指Si、Ge元素半導(dǎo)體,,它們是半導(dǎo)體分立器件,、集成電路和太陽能電池的基礎(chǔ)材料。由于地球富含Si元素,,所以目前大多數(shù)的半導(dǎo)體器件,、集成電路等都是在Si襯底上加工形成的。經(jīng)過幾十年的發(fā)展,,硅材料的制備與工藝日臻完美,,Si基器件的設(shè)計和開發(fā)也經(jīng)過了多次迭代和優(yōu)化,,正在逐漸接近硅材料的極限,Si基器件性能提高的潛力愈來愈小,。
第二代半導(dǎo)體材料是指化合物半導(dǎo)體材料,,如GaAs、lnP,、lnSb等,,及三元化合物半導(dǎo)體材料,如GaAsAl,、GaAsP等,,還有一些固溶體半導(dǎo)體材料,如Ge-Si,、GaAs-GaP等,;玻璃半導(dǎo)體(又稱非晶態(tài)半導(dǎo)體)材料,如非晶硅,、玻璃態(tài)氧化物半導(dǎo)體等,;有機半導(dǎo)體材料,如酞菁,、酞菁銅,、聚丙烯腈等。
第三代半導(dǎo)體材料主要是以SiC,、GaN,、ZnO、金剛石,、AlN為代表的寬禁帶(禁帶寬度2.3eVg<5.0eV,,通常禁帶寬度大于5.0eV的材料定義為絕緣材料)的半導(dǎo)體材料。目前較為成熟的是SiC和GaN半導(dǎo)體材料,,其中SiC技術(shù)最為成熟,,而ZnO、金剛石和AlN等寬禁帶半導(dǎo)體材料的研究尚屬于起步階段,。
如果說第一代半導(dǎo)體材料奠定了微電子產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),,第二代半導(dǎo)體材料奠定了信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),那么第三代半導(dǎo)體材料將是提升新一代信息技術(shù)核心競爭力的重要支撐,。與前兩半導(dǎo)體材料相比,,第三代半導(dǎo)體材料具有更寬的禁帶寬度、更高的擊穿電場,、更高的熱導(dǎo)率,、更大的電子飽和速度以及更高的抗輻射能力,滿足現(xiàn)代電子技術(shù)對半導(dǎo)體材料提出的高溫、高功率,、高壓,、高頻以及抗輻射等新要求,更適合制作高溫,、高頻,、抗輻射及大功率器件,。
全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭的焦點
由于第三代半導(dǎo)體材料可以被廣泛應(yīng)用在各個領(lǐng)域,,且具備眾多的優(yōu)良性能,可突破第一,、二代半導(dǎo)體材料的發(fā)展瓶頸,,故被市場看好的同時,隨著技術(shù)的發(fā)展有望全面取代第一,、二代半導(dǎo)體材料,。
目前第三代半導(dǎo)體材料已經(jīng)成為發(fā)達國家戰(zhàn)略部署重點。美國,、日本,、歐盟等國家和地區(qū)均將其置于重要的戰(zhàn)略位置,對其投入巨資進行支持,。2013年日本政府將SiC納入“首相戰(zhàn)略”,,認為未來50%的節(jié)能要通過它來實現(xiàn);2014年1月,,美國宣布設(shè)立國家下一代電力電子制造業(yè)創(chuàng)新學(xué)院,,5年內(nèi)將至少投入1.4億美元,對寬帶隙半導(dǎo)體技術(shù)進行研究,,加速其商業(yè)化應(yīng)用,;2016年10月,美國成立半導(dǎo)體工作組,,專注于加強美國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),;2015年英國政府和威爾士政府為卡迪夫大學(xué)投資超過2 900萬英鎊,用于建設(shè)新的化合物半導(dǎo)體研究所(ICS),,該研究所不僅是下一代化合物半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心的重要組成部分,,也是建設(shè)歐洲第5個半導(dǎo)體集群戰(zhàn)略的關(guān)鍵組成部分。
跨國企業(yè)也積極布局發(fā)展第三代半導(dǎo)體材料,。第三代半導(dǎo)體材料吸引了大批國際巨頭公司,。美國的科銳公司、道康寧,、II-VI公司,、國際整流器公司、射頻微系統(tǒng)公司,、飛思卡爾半導(dǎo)體公司,,德國的SiCrystal公司和Azzurro公司,,英國的普萊思公司,日本的富士通公司和松下公司,,加拿大的氮化鎵系統(tǒng)公司等,,紛紛開展第三代半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)化及應(yīng)用技術(shù)研發(fā)工作,以期在未來半導(dǎo)體市場競爭中繼續(xù)保持有利地位,。
我國緊抓第三代半導(dǎo)體材料彎道超車的機會
雖然我國開展SiC,、GaN材料和器件方面的研究工作比較晚,與國外相比水平較低,。但我國也在積極推進,,國家和各地方政府陸續(xù)推出政策和產(chǎn)業(yè)扶持基金發(fā)展第三代半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè),地方政策也大量出臺,。一方面,,多地均將第三代半導(dǎo)體寫入“十三五”相關(guān)規(guī)劃,另一方面,,不少地方政府有針對性對當?shù)鼐哂幸欢▋?yōu)勢的SiC和GaN材料企業(yè)進行扶持,。2013 年科技部在“863”計劃新材料技術(shù)領(lǐng)域項目征集指南中明確將第三代半導(dǎo)體材料及其應(yīng)用列為重要內(nèi)容。2015 年和 2016 年國家02 專項也對第三代半導(dǎo)體功率器件的研制和應(yīng)用進行立項,。2016年,,福建、廣東,、江蘇,、北京、青海等27個地區(qū)出臺第三代半導(dǎo)體相關(guān)政策(不包括LED)近30條,。
隨著國家對第三代半導(dǎo)體材料的重視,,我國第3代半導(dǎo)體材料在研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化方面取得很大成就。英諾賽科,、英諾賽科,、世界先進、世紀金光半導(dǎo)體,、中車時代電氣等多家中國企業(yè)布局第三代半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線,,積極進行相關(guān)的研發(fā)與生產(chǎn)。2018年6月,,中國電科二所SiC單晶粉和設(shè)備生產(chǎn)實現(xiàn)新突破,,實現(xiàn)自主研發(fā)生產(chǎn);同月,,廣東省“寬禁帶半導(dǎo)體材料,、功率器件及應(yīng)用技術(shù)創(chuàng)新中心”成立,英諾賽科投資60億元的寬禁帶半導(dǎo)體項目落戶蘇州吳江;2018年7月,,世界先進積極擴增8英寸GaN產(chǎn)能,,預(yù)計明年中實現(xiàn)量產(chǎn),是全球首座8英寸GaN代工廠,,國內(nèi)首個《第三代半導(dǎo)體電力電子技術(shù)路線圖》正式發(fā)布,;2018年8月,深圳加碼第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)布局,,起草了《深圳市坪山區(qū)人民政府關(guān)于促進集成電路第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干措施(征求意見稿)》,,將依托5G試點建設(shè)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚區(qū);2018年9月,,“十二五”期間,,863計劃重點支持的“第三代半導(dǎo)體器件制備及評價技術(shù)”項目進行驗收;同月,,國內(nèi)首條碳化硅智能功率模塊(SiC IPM)生產(chǎn)線在廈門芯光潤澤科技有限公司正式投產(chǎn)……
只有加快第三代半導(dǎo)體材料應(yīng)用開發(fā),我們才有望不再重蹈第一代,、第二代半導(dǎo)體發(fā)展受制于人,、下游應(yīng)用領(lǐng)域高度依賴進口的被動局面。