今日，在新冠肺炎疫情防控阻擊戰(zhàn)取得決定性成果的關(guān)鍵階段,，我國科研領(lǐng)域傳來喜訊：在中國長(zhǎng)城科技集團(tuán)股份有限公司旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院和河南通用智能裝備有限公司科研人員奮勇攻關(guān),、共同努力下,，我國首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)于5月8日研制成功,，填補(bǔ)國內(nèi)空白，在關(guān)鍵性能參數(shù)上處于國際領(lǐng)先水平,。我國半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割技術(shù)取得實(shí)質(zhì)性重大突破,，相關(guān)裝備依賴進(jìn)口的局面即將打破。

　　該裝備是鄭州軌交院與河南通用歷時(shí)一年聯(lián)合攻關(guān)研發(fā)成功,，最終實(shí)現(xiàn)了最佳光波和切割工藝,，開啟了我國激光晶圓切割行業(yè)發(fā)展的序幕。

　　鄭州軌交院成立于2017年,，幾年來,，該院圍繞自主安全工業(yè)控制器、高端裝備制造和新一代信息技術(shù)突破開展科研創(chuàng)新,、技術(shù)攻關(guān),。尤其是被中國長(zhǎng)城旗下公司收購后，鄭州軌交院科研創(chuàng)新,、事業(yè)發(fā)展進(jìn)入新一輪加速發(fā)展期,。

　　晶圓切割是半導(dǎo)體封測(cè)工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序。中國長(zhǎng)城副總裁,、鄭州軌交院院長(zhǎng)劉振宇介紹,，與傳統(tǒng)的切割方式相比,，激光切割屬于非接觸式加工,，可以避免對(duì)晶體硅表面造成損傷，并且具有加工精度高,、加工效率高等特點(diǎn),，可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量,、效率、效益,。

　　該裝備通過采用特殊材料,、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái),，可以實(shí)現(xiàn)加工平臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)保持高穩(wěn)定性,、高精度，運(yùn)動(dòng)速度可達(dá)500mm/S,，效率遠(yuǎn)高于國外設(shè)備,。 在光學(xué)方面，根據(jù)單晶硅的光譜特性,，結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平,，采用了合適的波長(zhǎng)、總功率,、脈寬和重頻的激光器,，最終實(shí)現(xiàn)了隱形切割。

　　在影像方面,，采用不同像素尺寸,、不同感光芯片的相機(jī)，配以不同功效的鏡頭,，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識(shí)別及低倍,、中倍和高倍的水平調(diào)整。該裝備還搭載了同軸影像系統(tǒng),，可以確保切割中效果的實(shí)時(shí)確認(rèn)和優(yōu)化,，實(shí)現(xiàn)最佳切割效果。

　　高端智能裝備是國之重器,，是制造業(yè)的基石,，尤其是半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)高端智能裝備，在國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展中更是具有舉足輕重的作用,。

　　專家指出,，我國首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)研制成功，打破了國外對(duì)激光隱形切割技術(shù)的壟斷,，對(duì)進(jìn)一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義,。該裝備的成功研制也創(chuàng)立了央企,、民企共扛使命、資源互補(bǔ),、平臺(tái)共享,、集智創(chuàng)新的新模式，也是央企,、民企聯(lián)合發(fā)揮各自優(yōu)勢(shì),，通過產(chǎn)學(xué)研用相結(jié)合，解決國家重大智能裝備制造瓶頸問題成功典范,。

　　中國長(zhǎng)城董事長(zhǎng)宋黎定說：“自主安全,、核心技術(shù)始終是中國長(zhǎng)城科研創(chuàng)新的聚焦主題，也是不變的工作主題,。在國家發(fā)展的關(guān)鍵時(shí)期,，中國長(zhǎng)城的科研人員更要時(shí)刻牢記‘將核心技術(shù)掌握在自己手里’，牢記‘實(shí)踐反復(fù)告訴我們,，關(guān)鍵核心技術(shù)是要不來,、買不來、討不來的,。只有把關(guān)鍵核心技術(shù)掌握在自己手中,，才能從根本上保障國家經(jīng)濟(jì)安全、國防安全和其他安全’,，義無反顧,、義不容辭地扛起央企主責(zé)，甘做冷板凳,，誓當(dāng)主力軍,，勇攀核心技術(shù)突破高峰，加速解決‘卡脖子’的問題,，爭(zhēng)做新時(shí)代的圓夢(mèng)人,。”