10月9日,,中微半導體設備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”)關于向特定對象發(fā)行A股股票申請獲得上海證券交易所受理,。
01
募資100億,,擴充泛半導體產(chǎn)業(yè)鏈
根據(jù)募集說明書(申報稿)顯示,,中微公司此次向特定對象發(fā)行A股股票總金額不超過100億元(含本數(shù)),,扣除發(fā)行費用后的凈額將用于中微產(chǎn)業(yè)化基地建設項目,、中微臨港總部和研發(fā)中心項目,、以及作為科技儲備資金。
▲ 來源:中微公司公告截圖
其中,,中微產(chǎn)業(yè)化基地建設項目總投資31.77億元,,計劃在上海臨港新片區(qū)以及南昌市高新區(qū)新建生產(chǎn)基地,進一步擴充公司現(xiàn)有集成電路設備及泛半導體設備產(chǎn)品線產(chǎn)能,、開發(fā)公司新產(chǎn)品線,、與主流半導體設備廠商合作,為公司未來高速穩(wěn)健發(fā)展打下堅實基礎,。
項目建成并達產(chǎn)后,,主要用于生產(chǎn)集成電路設備、泛半導體領域生產(chǎn)及檢測設備,,以及部分零部件等,。其中,臨港產(chǎn)業(yè)化基地將主要承擔公司產(chǎn)品的產(chǎn)能擴充及新產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)工作,;南昌產(chǎn)業(yè)化基地主要承擔較為成熟產(chǎn)品的大規(guī)模量產(chǎn)及部分產(chǎn)品的研發(fā)升級工作,。
中微臨港總部和研發(fā)中心項目總投資37.56億元,將在上海臨港新片區(qū)建立中微臨港總部和研發(fā)中心,,搭建從產(chǎn)品技術研發(fā),、樣品制造與模擬測試到大規(guī)模工業(yè)投產(chǎn)的全周期研發(fā)平臺。同時,,本項目將根據(jù)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢及市場需求,,開展高端半導體、泛半導體領域相關產(chǎn)品與設備制造的研發(fā)工作,。
該項目建成后,,將成為中微公司臨港總部和研發(fā)中心,集辦公,、研發(fā),、試驗、服務等功能于一體,,從硬件設施層面滿足公司集成電路設備,、泛半導體設備,、關鍵零部件等的研發(fā)需求。
該項目的研發(fā)投入將用于新產(chǎn)品的研發(fā)工作,,除等離子體刻蝕設備,、薄膜沉積設備等優(yōu)勢產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化外,還將開展前瞻性技術研究,、推動集成電路生產(chǎn)設備及零部件國產(chǎn)化,、推進泛半導體設備產(chǎn)品的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等。
中微公司表示,,本次募集資金投資項目緊緊圍繞公司主營業(yè)務展開,,是公司現(xiàn)有業(yè)務的提升和擴充,為公司實現(xiàn)中長期戰(zhàn)略發(fā)展目標奠定堅實的基礎,,通過募集資金投資項目的實施,,公司產(chǎn)品線將擴充泛半導體產(chǎn)業(yè)鏈、實現(xiàn)多產(chǎn)品布局,。
不過,,本次發(fā)行尚待上交所審核通過和證監(jiān)會注冊批復。
02
多維度擴展業(yè)務布局
資料顯示,,中微公司從事半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,,主要為集成電路,、LED芯片、MEMS等半導體產(chǎn)品的制造企業(yè)提供等離子體刻蝕設備,、MOCVD設備及其他設備,,目前的產(chǎn)品主要包括CCP刻蝕設備、ICP刻蝕設備,、以及MOCVD設備,。多年來,通過核心技術的創(chuàng)新,,中微公司的產(chǎn)品已達到國際先進和國內(nèi)領先水平,。
刻蝕設備技術方面,在邏輯集成電路制造環(huán)節(jié),,中微公司開發(fā)的高端等離子體刻蝕設備已運用在國際知名客戶65納米到5納米的芯片生產(chǎn)線上,,目前正在配合客戶需求,開發(fā)新一代刻蝕設備和包括更先進大馬士革在內(nèi)的刻蝕工藝,,能夠涵蓋5納米以下刻蝕需求和更多不同關鍵應用的設備,;
在3D NAND芯片制造環(huán)節(jié),中微公司的電容性等離子體刻蝕設備可應用于64層的量產(chǎn),,同時公司根據(jù)存儲器廠商的需求正在開發(fā)新一代能夠涵蓋128層關鍵刻蝕應用以及相對應的極高深寬比的刻蝕設備和工藝,。
此外,,根據(jù)客戶的技術發(fā)展需求,中微公司正在進行下一代產(chǎn)品的技術研發(fā),,以滿足7納米以下的邏輯芯片,、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3D NAND芯片等產(chǎn)品的ICP刻蝕需求,并進行高產(chǎn)出的ICP刻蝕設備的研發(fā),。
MOCVD設備技術方面,,該公司的Prismo D-Blue、Prismo A7能分別實現(xiàn)單腔14片4英寸和單腔34片4英寸外延片加工能力,,其中Prismo A7設備已在全球氮化鎵基LED MOCVD市場中占據(jù)領先地位,。
同時,公司研發(fā)出用于制造深紫外光LED的MOCVD設備,,已在行業(yè)領先客戶端成功驗證,,并獲得多家行主流企業(yè)與科研院所的訂單。此外,,Mini LED生產(chǎn)的MOCVD設備的研發(fā)工作正在有序進行中,;制造Micro LED、功率器件等應用的MOCVD設備亦正在開發(fā)中,。
對于未來發(fā)展戰(zhàn)略,,中微公司表示,公司已形成三個維度擴展未來公司業(yè)務的布局規(guī)劃:深耕集成電路關鍵設備領域,、擴展在泛半導體關鍵設備領域應用并探索其他新興領域的機會,。
具體而言,中微公司正考慮擴大在刻蝕設備領域的競爭優(yōu)勢,,延伸到薄膜,、檢測等其他關鍵設備領域;計劃擴展在泛半導體領域設備的應用,,布局顯示,、MEMS、功率器件,、太陽能領域的關鍵設備,;擬探索其他新興領域的機會,考慮從設備制造向器件大規(guī)模生產(chǎn)的機會,,以及探索更多集成電路及泛半導體設備生產(chǎn)線相關環(huán)保設備及醫(yī)療健康智能設備等領域的市場機會,。