10月14日，ASML公布第三季度財報,，凈銷售額高達(dá)39.58億歐元,，同比增長32.6%,，毛利率為47.5％。

　　據(jù)該公司首席執(zhí)行官Peter Wennink 介紹,，ASML在第三季度一共交付了 10 臺 EUV 系統(tǒng),，并在本季度實現(xiàn)了 14 臺系統(tǒng)的銷售收入。而在第三季度的新增訂單達(dá)到 29 億歐元,，其中 5.95 億歐元來自 4 臺 EUV 設(shè)備,。從這個說明我們可以看到，ASML EUV光刻機(jī)的售價約為1.48億歐元,，折合人民幣11.74億元,。

　　即將出貨全新EUV光刻機(jī)

　　ASML還披露他們?nèi)碌臉O紫外光刻機(jī)將在明年年中開始出貨的，型號為TWINSCAN NXE:3600D,。

　　在財報中,，阿斯麥表示他們已經(jīng)敲定了TWINSCAN NXE:3600D的規(guī)格，具體來說,，30mJ/c㎡ 的曝光速度達(dá)到每小時曝光160片晶圓,，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至1.1nm,。

　　值得注意的是,，在2019年的年報中，阿斯麥就曾披露他們在研發(fā)新一代的極紫外光刻機(jī),，但當(dāng)時他們是計劃在2022年年初開始出貨,，2024或者2025年大規(guī)模生產(chǎn)。三季度財報中披露在明年年中開始出貨,，也就意味著出貨時間較原計劃提前了半年,。

　　極紫外光刻機(jī)是7nm和5nm芯片制程工藝所必不可少的設(shè)備，目前全球只有阿斯麥能供應(yīng),。臺積電,、三星這兩大芯片代工商的制程工藝都已提升到了7nm和5nm，他們所需要的極紫外光刻機(jī)也全部仰仗于阿斯麥,，全新的TWINSCAN NXE:3600D的首臺,，預(yù)計也會交由這兩家代工商中的一家。

　　3600D定于2021年中旬出貨交付,，客戶還需要一定時間等待,，價格應(yīng)該不會低于現(xiàn)款老型號的1.2億美元。

　　目前,，ASML已經(jīng)投產(chǎn)的最先進(jìn)光刻機(jī)是3400C,，但主力出貨型號是3400B,。參數(shù)方面，3400B的套刻精度為2nm,、曝光速度20mJ/c㎡ ,，每小時可曝光125片晶圓。

　　另外,，ASML透露,，3400B在三季度也完成了軟件升級。全新的DUV光刻機(jī)TWINSCAN NXT:2050i已經(jīng)在三季度結(jié)束驗證,，四季度早期開始正式出貨,。

　　據(jù)悉，在截止9月30日的單季度,，ASML共獲得60臺光刻機(jī)收入,，出貨了10臺EUV光刻機(jī)。

　　DUV光刻機(jī)無需出口許可證

　　ASML CFO Roger Dassen在財報會議的視頻采訪中談到了與中芯國際等中國客戶的業(yè)務(wù)情況,。

　　Roger Dassen指出,，在中國業(yè)務(wù)方面，去年中國本土客戶為ASML創(chuàng)造了約8億歐元的銷售額,，今年將會更多,，預(yù)計超過10億歐元。

　　關(guān)于美國有可能對中芯國際采取限制措施,，Roger Dassen表示,，ASML今年客戶以邏輯工藝領(lǐng)域為主，中芯國際則是ASML的主要邏輯工藝領(lǐng)域客戶,?！拔覀儾粫μ囟ǖ目蛻羟闆r進(jìn)行推測或評論，但總的來說,，我們會在法律和法規(guī)要求的范圍內(nèi)盡最大的能力繼續(xù)為客戶提供服務(wù),，”Roger Dassen如是說。

　　Roger Dassen進(jìn)一步指出,，ASML了解美國當(dāng)局目前的規(guī)章制度及其解釋,，當(dāng)然也知道這些與特定的中國客戶密切相關(guān)，但如果廣泛的來理解其規(guī)章制度對ASML的總體含義（對于特定的中國客戶）,，則意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國客戶提供DUV光刻系統(tǒng),，且無需出口許可證。不過,，如果涉及直接從美國運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng),，ASML則需要為此申請出口許可證,。