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關(guān)鍵突破,!國內(nèi)首臺300mm硅生長設備試產(chǎn)

2020-12-28
來源: 芯片大師
關(guān)鍵詞: 300mm 單晶硅

  導讀:12月28日,據(jù)科技日報報道,,由西安理工大學和西安奕斯偉設備技術(shù)有限公司共同研制的國內(nèi)首臺新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備在西安實現(xiàn)一次試產(chǎn)成功,。

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  報道指出,,本次試產(chǎn)實現(xiàn)了采用自主研發(fā)的國產(chǎn)技術(shù)裝備,拉制成功大尺寸,、高品質(zhì)集成電路級硅單晶材料的重大突破并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,。本次制成的單晶硅棒長度為2.1米,直徑達300mm,,切割出的12寸硅片可用于28nm以下先進工藝芯片制造,。

  2018年起,西安理工大學劉丁教授團隊與西安奕斯偉合作,,以開發(fā)新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備及核心工藝為目標,,針對7-20nm集成電路芯片要求開展技術(shù)攻關(guān)。

  2019年7月23日,,西安奕斯偉宣布拉出首根硅晶棒,。同年12月18日,西安奕斯偉硅材料生產(chǎn)線產(chǎn)出首批樣品,,送達客戶進行驗證后進入量產(chǎn)階段,。

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  據(jù)介紹,西安奕斯偉硅材料生產(chǎn)線主要生產(chǎn)12英寸(300毫米)集成電路用硅單晶拋光片和外延片,。項目總投資約110億元,,占地面積800余畝,于2017年四季度正式啟動,,分兩期進行建設,。項目一期滿產(chǎn)后,產(chǎn)能將達50萬片/月,。

  西安奕斯偉材料技術(shù)有限公司首席執(zhí)行官楊新元表示:“從全球格局來看,,目前位于日本、中國臺灣,、德國,、韓國等地的全球前五大廠商占據(jù)12英寸硅片市場98%以上的份額,,國內(nèi)12英寸硅片生產(chǎn)剛剛起步,是我國半導體產(chǎn)業(yè)鏈上亟待加強的一環(huán),。西安奕斯偉投建12英寸硅材料生產(chǎn)線,,寄望突破產(chǎn)業(yè)短板,為推進我國集成電路產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展及全面提升做出貢獻,,這也是我們投身這個產(chǎn)業(yè)發(fā)展的初心,。”



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