泛林集團(tuán),、Entegris 和 Gelest 攜手推進(jìn) EUV 干膜光刻膠技術(shù) 生態(tài)系統(tǒng)
2022-07-15
來(lái)源:泛林集團(tuán)
北京時(shí)間2022年7月15日——泛林集團(tuán) (NASDAQ: LRCX),、Entegris,, Inc. (NASDAQ: ENTG) 和三菱化學(xué)集團(tuán)旗下公司 Gelest,, Inc,, 于近日宣布了一項(xiàng)戰(zhàn)略合作,,將為全球半導(dǎo)體制造商提供可靠的前體化學(xué)品,,用于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的、泛林突破性的極紫外 (EUV)干膜光刻膠創(chuàng)新技術(shù),。三方將合作對(duì)未來(lái)幾代邏輯和 DRAM 器件生產(chǎn)所使用的 EUV 干膜光刻膠技術(shù)進(jìn)行研發(fā),,這將有助于從機(jī)器學(xué)習(xí)和人工智能到移動(dòng)設(shè)備所有這些技術(shù)的實(shí)現(xiàn)。
強(qiáng)大的工藝化學(xué)品供應(yīng)鏈對(duì)于 EUV 干膜光刻膠技術(shù)運(yùn)用到量產(chǎn)至關(guān)重要,。這一新的長(zhǎng)期合作將進(jìn)一步擴(kuò)大干膜光刻膠技術(shù)不斷發(fā)展的生態(tài)系統(tǒng),,由半導(dǎo)體材料領(lǐng)先者提供雙源供應(yīng),保障全球所有市場(chǎng)的持續(xù)供應(yīng),。
此外,,泛林、Entegris 和 Gelest 還將攜手合作,,加快開發(fā)未來(lái)用于高數(shù)值孔徑(高 NA)EUV 圖形化的高性價(jià)比 EUV 干膜光刻膠解決方案,。高 NA EUV 被廣泛認(rèn)為是未來(lái)幾十年半導(dǎo)體器件持續(xù)微縮和發(fā)展所需要的圖形化技術(shù),。干膜光刻膠能實(shí)現(xiàn)高抗刻蝕性及沉積和顯影所需的可調(diào)厚度比例,以支持高 NA EUV 降低焦深的要求,。
泛林集團(tuán)執(zhí)行副總裁兼首席技術(shù)官 Rick Gottscho 表示:“干膜光刻膠技術(shù)結(jié)合 EUV 為將來(lái) DRAM 和邏輯的發(fā)展掃清了最大障礙,。此次合作將泛林在干膜光刻膠技術(shù)領(lǐng)域的專業(yè)知識(shí)、尖端解決方案與材料科學(xué)能力和來(lái)自兩個(gè)前體化學(xué)品行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者帶來(lái)的值得信賴的供應(yīng)渠道結(jié)合在一起,。這一干膜光刻膠生態(tài)系統(tǒng)的重要擴(kuò)展為該技術(shù)的創(chuàng)新和量產(chǎn)鋪平了道路,。”
干膜光刻膠最初由泛林與 ASML 和 IMEC合作開發(fā),,提升了 EUV 光刻的分辨率,、生產(chǎn)率和良率,從而解決了與下一代 DRAM 和邏輯技術(shù)相關(guān)的關(guān)鍵挑戰(zhàn),。該技術(shù)提供出色的劑量-尺寸比和劑量-缺陷率性能,,從而提高了 EUV 掃描儀的生產(chǎn)率并降低持有成本。此外,,與傳統(tǒng)抗蝕劑工藝相比,,泛林的干膜光刻膠工藝消耗的能源更少,原材料消耗量比之前要少五到十倍,,從而提供了關(guān)鍵的可持續(xù)發(fā)展優(yōu)勢(shì)。
Entegris首席執(zhí)行官 Bertrand Loy 表示:“泛林的干膜光刻膠技術(shù)反映了材料層面的關(guān)鍵創(chuàng)新,,并且提供多項(xiàng)優(yōu)勢(shì),,包括分辨率更佳、成本效益更高以及具吸引力的可持續(xù)發(fā)展效益,。我們很自豪能夠參與這項(xiàng)創(chuàng)新合作,,以加速干膜光刻膠技術(shù)的采用,并在客戶運(yùn)用這項(xiàng)重要技術(shù)創(chuàng)造下一代半導(dǎo)體之際,,成為他們值得信賴的工藝材料供應(yīng)商,。”
三菱化學(xué)集團(tuán)旗下 Gelest 總裁 Jonathan Goff 表示:“我們與泛林和 Entegris 合作開發(fā) EUV 光刻所使用的干膜光刻膠,,這表明我們致力于支持芯片制造商在材料科學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新,。近年來(lái),我們已經(jīng)看到 EUV 展現(xiàn)出了非凡的價(jià)值,,我們很高興成為不斷發(fā)展的生態(tài)系統(tǒng)的一部分,,以擴(kuò)大其潛力?!?/p>
關(guān)于泛林集團(tuán)
泛林集團(tuán) (NASDAQ: LRCX) 是全球半導(dǎo)體創(chuàng)新晶圓制造設(shè)備及服務(wù)的主要供應(yīng)商,。泛林集團(tuán)的設(shè)備和服務(wù)助力客戶構(gòu)建體積更小、性能更出色的器件,。事實(shí)上,,當(dāng)今幾乎每一塊先進(jìn)芯片的制造都使用了泛林集團(tuán)的技術(shù),。我們出色的系統(tǒng)工程、技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力,、以及基于強(qiáng)大的價(jià)值觀的企業(yè)文化,,都與對(duì)客戶的堅(jiān)定承諾緊密結(jié)合。泛林集團(tuán)是一家 FORTUNE 500?(美國(guó)《財(cái)富》500 強(qiáng))公司,,總部位于美國(guó)加利福尼亞州弗里蒙特市,,業(yè)務(wù)遍及世界各地。欲了解更多詳情,,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.lamresearch.com,。
關(guān)于Entegris
Entegris 是全球半導(dǎo)體市場(chǎng)電子材料領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者。Entegris 擁有約 8,,800 名員工,,業(yè)務(wù)遍布全球,除了為生命科學(xué)和其他先進(jìn)的制造環(huán)境提供解決方案外,,還為半導(dǎo)體客戶提供業(yè)界最全面,、創(chuàng)新的端到端產(chǎn)品組合。Entegris 的解決方案可幫助客戶提升生產(chǎn)力,、產(chǎn)品性能以及良率,,從而實(shí)現(xiàn)改變世界的科技。它在美國(guó),、加拿大,、中國(guó)、法國(guó),、德國(guó),、以色列、日本,、馬來(lái)西亞,、新加坡、韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣設(shè)有制造基地,、客戶服務(wù)和/或研究機(jī)構(gòu),。欲了解更多 Entegris 的信息,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.entegris.com,。
關(guān)于Gelest
Gelest 是專業(yè)硅酮,、有機(jī)硅烷、金屬有機(jī)化合物和丙烯酸酯單體的創(chuàng)新者,、制造商和全球供應(yīng)商,,總部位于美國(guó),服務(wù)于醫(yī)療設(shè)備,、生命科學(xué),、涂料和粘合劑,、微電子和個(gè)人護(hù)理等先進(jìn)技術(shù)終端市場(chǎng)。作為世界上最大和最成功的化學(xué)公司之一三菱化學(xué)集團(tuán)旗下一員,,Gelest 可以利用集團(tuán)的專業(yè)知識(shí),、研發(fā)支持和資源,開發(fā)尖端的化學(xué)技術(shù),、產(chǎn)品和服務(wù)來(lái)應(yīng)對(duì)社會(huì)最復(fù)雜的材料科學(xué)挑戰(zhàn),,從而助力客戶取得成功。