隨著晶體管按比例縮小,，它們需要更薄的溝道來(lái)實(shí)現(xiàn)足夠的溝道控制,。然而，在硅中,，表面粗糙度散射會(huì)降低遷移率,，從而將最終溝道厚度限制在 3 納米左右。

　　二維過(guò)渡金屬二硫族化物 （TMD：Two-dimensional transition metal dichalcogenides）,，例如 MoS2和 WSe2,，在一定程度上具有吸引力，因?yàn)樗鼈儽苊饬诉@種限制,。由于沒(méi)有平面外懸空鍵和原子光滑的界面（With no out-of-plane dangling bonds and atomically smooth interfaces）,，TMD 即使在亞埃厚度下也能避免散射引起的遷移率下降。

　　盡管如此,，TMD 仍代表著硅甚至硅鍺現(xiàn)狀的根本改變,。材料生長(zhǎng)、觸點(diǎn)形成和器件制造都不同于相應(yīng)的硅工藝,。目前,，基礎(chǔ)材料研究和器件開(kāi)發(fā)并行進(jìn)行。在實(shí)驗(yàn)室設(shè)備中獲得良好結(jié)果的材料和工藝可能不適合批量生產(chǎn),。

　　例如,，迄今為止大多數(shù) TMD 設(shè)備演示都依賴(lài)于層轉(zhuǎn)移（layer transfer ）技術(shù)。這種方法從一個(gè)獨(dú)立的薄膜開(kāi)始,，它可以生長(zhǎng)在藍(lán)寶石等兼容基板上,，也可以從大塊材料上剝離下來(lái)。可以使用幾種方法中的任何一種將膜轉(zhuǎn)移到可能已經(jīng)包括底柵結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)備好的目標(biāo)襯底,。

　　層轉(zhuǎn)移帶來(lái)了明顯的成本和產(chǎn)量挑戰(zhàn),。在 12 月的 IEEE 國(guó)際電子器件會(huì)議 （IEDM） 上展示的工作中，英特爾的 CJ Dorow 及其同事表明,，單柵極 MoS2器件的性能因轉(zhuǎn)移過(guò)程而下降,。他們?cè)谠礃O和漏極區(qū)域觀察到 TMD 分層。去掉的低 k 電介質(zhì)層也在 TMD/氧化物界面留下殘留物,。半導(dǎo)體晶圓廠更喜歡更“類(lèi)硅”工藝的靈活性和成本效益,，TMD 直接沉積在目標(biāo)基板上。

　　一般而言,，TMD 生長(zhǎng)需要在薄膜質(zhì)量和最小化溝道厚度的需求之間進(jìn)行權(quán)衡,。原子級(jí)沉積 （ALD） 電介質(zhì)和通過(guò)化學(xué)氣相沉積 （CVD） 生長(zhǎng)的 TMD 都容易出現(xiàn)針孔和其他缺陷。盡管如此,，在 12 月的 IEEE IEDM 上發(fā)表的幾篇論文表明,，該行業(yè)正在朝著直接沉積 TMD 的方向取得進(jìn)展。例如,，北京大學(xué)的 Xinhang Shi 及其同事使用低壓 CVD直接在 SiO2上生長(zhǎng) WSe2雙層,。非常高的溫度過(guò)程 （890°C） 使器件具有425 μA/μm 的創(chuàng)紀(jì)錄高 Ids。薄膜特性與氧化物厚度無(wú)關(guān),?；蛘撸_(tái)積電的 Yun-Yan Chung 及其同事使用鎢墊作為 WS2生長(zhǎng)的種子層,，構(gòu)建具有兩個(gè)和三個(gè)堆疊溝道的設(shè)備

　　圖 1：完全被柵極堆疊包圍的單層 MoS2 納米片的 TEM 橫截面,。較小的圖像顯示 EDX 元素映射。

　　用于摻雜和閾值電壓控制的電介質(zhì)

　　完整的 CMOS 工藝不僅僅是簡(jiǎn)單地沉積溝道材料,。該過(guò)程還必須促進(jìn)空穴和電子傳導(dǎo),。在 TMD 中，摻雜,、電介質(zhì)沉積和 Vth Tuning彼此密不可分,。由于目前不可能對(duì)半導(dǎo)體本身進(jìn)行摻雜，因此器件依靠覆蓋層來(lái)調(diào)節(jié)傳導(dǎo)并提供 nFET 或 pFET 行為,。即使確定了合適的材料,，TMD 表面的二維特征也會(huì)使覆蓋層沉積復(fù)雜化。除了晶界和其他缺陷外,，沉積氧化物的潛在成核位置非常少,。

　　WSe2是一種雙極性材料，這意味著費(fèi)米能級(jí)在施加電場(chǎng)的情況下在價(jià)帶和導(dǎo)帶之間移動(dòng),。因此,，相同的材料可以傳導(dǎo)電子或空穴

　　臺(tái)積電的幾個(gè)不同小組一直在從不同角度研究WSe2傳導(dǎo)和摻雜,。一組使用氧等離子體將WSe2半導(dǎo)體單層轉(zhuǎn)化為Ox。該過(guò)程是自限性的,，不影響底層的WSe2材料,，最終的摻雜水平取決于起始材料中的層間耦合。較厚的起始材料具有較高的價(jià)帶邊緣,，從而在轉(zhuǎn)化為氧化物后導(dǎo)致更高的摻雜,。在 Ang-Sheng Chou 介紹的工作中，另一個(gè) TSMC 小組將 MoO x蓋層用于 pFET 器件和 SiON x對(duì)于 nFET 器件,。連同下面討論的新穎接觸技術(shù),，這些覆蓋層提供了一些迄今為止最好的 TMD 晶體管結(jié)果。

　　在普渡大學(xué),，研究人員使用六方氮化硼 （hBN：hexagonal boron nitride） 作為界面層以促進(jìn)電介質(zhì)沉積,。他們的工作強(qiáng)調(diào)了“缺陷”（defects）和“陷阱”（traps）之間的區(qū)別。正如他們所解釋的那樣,，缺陷既可能發(fā)生在電介質(zhì)體內(nèi)部,，也可能發(fā)生在電介質(zhì)——半導(dǎo)體界面處。然而,，只有當(dāng)費(fèi)米能級(jí)穿過(guò)缺陷能帶時(shí),，缺陷才會(huì)變成陷阱。在 hBN 中封裝單層 MoS2降低了亞閾值擺動(dòng)并增加了V th,，這意味著界面陷阱被消除或停用,。hBN 層似乎可以阻擋 TMD 薄膜上的吸收物,，這是電荷陷阱的潛在來(lái)源,。

　　不幸的是，hBN 本身并不是一種合適的電介質(zhì),。它也是一種類(lèi)石墨材料,，具有弱的面外鍵合，使得直接在 hBN 上生長(zhǎng)電介質(zhì)具有挑戰(zhàn)性,。Purdue 小組使用鉭種子層進(jìn)行電介質(zhì)沉積,。相對(duì)于更常見(jiàn)的鋁種子，他們發(fā)現(xiàn)亞閾值擺幅退化較少,，V th偏移也減少,。

　　圖 2：通過(guò)系統(tǒng)地分析關(guān)鍵工藝參數(shù)，TSMC 的研究人員將鉿基電介質(zhì)與CVD生長(zhǎng)的 MoS2集成在一起,，構(gòu)建了EOT ~1nm和近乎理想的亞閾值擺動(dòng)的頂柵 nFET,。這項(xiàng)工作特別值得注意，因?yàn)樵?TMD 上沉積無(wú)針孔電介質(zhì)是出了名的困難,。

　　堆疊溝道和接觸

　　由于需要堆疊溝道,，實(shí)際設(shè)備可能會(huì)看到更復(fù)雜的工藝,。單個(gè) TMD 單層不能承載與硅納米片一樣多的電流，因此設(shè)備將需要多個(gè)堆疊的 TMD 片,。與堆疊的硅納米片一樣,，最小化片之間的間距可以減少寄生電容。

　　圖3：二維MoS2堆疊納米帶結(jié)構(gòu),。

　　由于 TMD 層非常薄,，Yun-Yan Chung 的團(tuán)隊(duì)指出機(jī)械穩(wěn)定性也是一個(gè)問(wèn)題。他們使用犧牲電介質(zhì)來(lái)提高剛度并防止制造過(guò)程中下垂,。內(nèi)部墊片和金屬觸點(diǎn)有助于將溝道固定在成品設(shè)備中,。

　　自從這些器件被提出以來(lái)，TMD 晶體管構(gòu)造的最后一步,，即與電路的其余部分接觸,，就受到了廣泛的研究關(guān)注。盡管如此,，接觸電阻和間隔電阻仍占二維晶體管總器件電阻的 80%,，比硅接觸電阻和間隔電阻的貢獻(xiàn)要大得多。最近使用鉍和銻等半金屬的研究為 nFET 提供了良好的結(jié)果,，但 pFET 觸點(diǎn)仍然是一個(gè)未解決的問(wèn)題,。

　　正如 Ang-Sheng Chou 的團(tuán)隊(duì)所解釋的那樣，大多數(shù)提議的接觸都有一個(gè)不幸的空穴傳導(dǎo)能帶排列,。他們的工作利用了 WSe2的雙極性特性,，將單一的銻/鉑堆棧用于 nFET 和 pFET 器件。銻（Sb,，功函數(shù) 4.4 eV）提供緩沖層,，最大限度地減少對(duì)底層半導(dǎo)體的損壞。鉑（Pt,，功函數(shù) 5.6 eV）調(diào)節(jié)功函數(shù),。兩種材料的比例可調(diào)，以實(shí)現(xiàn) nFET 和 pFET 所需的功函數(shù),。最后,，他們報(bào)告了電子和空穴的低勢(shì)壘高度、低接觸電阻和約 150 μA/μm 的導(dǎo)通電流,。

　　二維半導(dǎo)體的下一步是什么,？

　　與結(jié)果本身相比，來(lái)自英特爾和臺(tái)積電等公司的大量報(bào)告表明,，基于 TMD 的晶體管是接替硅的重要候選者,。雖然在過(guò)去幾年中，該行業(yè)已經(jīng)開(kāi)始闡明此類(lèi)設(shè)備的潛在設(shè)計(jì)——MoS 2或 WSe 2溝道,，具有半金屬接觸——穩(wěn)健的,、可制造的制造工藝尚未出現(xiàn),。

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