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ASML研究超級NA光刻機(jī),!2036年沖擊0.2nm工藝

2024-02-18
來源:快科技

2月17日消息,,ASML已經(jīng)向Intel交付第一臺高NA EUV極紫外光刻機(jī),,將用于2nm工藝以下芯片的制造,臺積電,、三星未來也會陸續(xù)接收,,可直達(dá)1nm工藝左右。

那么之后呢,?消息稱,,ASML正在研究下一代Hyper NA(超級NA)光刻機(jī),繼續(xù)延續(xù)摩爾定律,。

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ASML第一代Low NA EUV光刻機(jī)只有0.33 NA(孔徑數(shù)值),,臨界尺寸(CD)為13.5nm,最小金屬間距為26nm,,單次曝光下的內(nèi)連接間距約為25-30nm,,適合制造4/5nm工藝。

使用雙重曝光,,可將內(nèi)連接間距縮小到21-24nm,,就能制造3nm工藝了,比如臺積電N3B,。

第二代EUV光刻機(jī)提高到了0.55 NA,,臨界尺寸縮小到8nm,金屬間距最小約為16nm,,可制造3-1nm,,比如Intel就透露會在1.4nm節(jié)點上首次使用,。

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ASML CTO Martin van den Brink在接受采訪時確認(rèn),ASML正在調(diào)查開發(fā)Hyper NA技術(shù),,繼續(xù)推進(jìn)各項光刻指標(biāo),,其中NA數(shù)值將超過0.7,預(yù)計在2030年左右完成,。

它表示,,這種新型EUV光刻機(jī)適合制造邏輯處理器芯片,相比高NA雙重曝光成本更低,,也可用來制造DRAM內(nèi)存芯片。

ASML已披露的數(shù)據(jù)顯示,,低NA光刻機(jī)的成本至少1.83億美元,,高NA光刻機(jī)更是3.8億美元起步。

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根據(jù)微電子研究中心(IMEC)的路線圖,,2030年左右應(yīng)該能推進(jìn)到A7 0.7nm工藝,,之后還有A5 0.5nm、A3 0.3nm,、A2 0.2nm,,但那得是2036年左右的事兒了。


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