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英特爾率先完成組裝ASML新一代光刻機(jī)

2nm以下芯片必備
2024-04-19
來(lái)源:快科技
關(guān)鍵詞: 英特爾 2nm ASML 光刻機(jī)

4月19日消息,今天芯片巨頭英特爾宣布,,已率先組裝阿斯麥(ASML)的高數(shù)值孔徑(High-NA)極紫外(EUV)光刻機(jī),,并稱(chēng)這是其超越競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的重要一步,。

去年12月,,阿斯麥確認(rèn)向英特爾交付首臺(tái)高數(shù)值孔徑極紫外光刻系統(tǒng),這臺(tái)機(jī)器的售價(jià)高達(dá)3.5億歐元(約合27億元人民幣),。

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英特爾光刻主管馬克·菲利普斯表示:“我們?cè)跊Q定購(gòu)買(mǎi)這些設(shè)備時(shí)就已經(jīng)認(rèn)可了它們的價(jià)格,。如果我們不認(rèn)為這些設(shè)備物有所值,我們根本不會(huì)采購(gòu),?!?/p>

此前英特爾CEO基辛格曾表示,該設(shè)備將會(huì)被應(yīng)用于1.8nm以下的挑戰(zhàn),。

除了英特爾外,,臺(tái)積電、三星,、SK海力士和美光等也都訂購(gòu)了這款機(jī)器,,但由于該設(shè)備的運(yùn)輸和安裝可能需要長(zhǎng)達(dá)六個(gè)月的時(shí)間,因此英特爾此舉已經(jīng)領(lǐng)先了對(duì)手至少半年,。

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而英特爾決定要率先采用高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)也并非偶然,。

英特爾雖曾參與開(kāi)發(fā)極紫外光刻技術(shù),但在開(kāi)始使用阿斯麥?zhǔn)卓顦O紫外光刻機(jī)上卻晚于其競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手臺(tái)積電,,基辛格也承認(rèn),,這是一個(gè)嚴(yán)重的失誤。

菲利普斯也表示:“現(xiàn)在我們已經(jīng)有了期待已久的新一代極紫外光刻機(jī),,我們不想再犯過(guò)去的錯(cuò)誤,。”


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