英特爾官網(wǎng)披露Intel 3 工藝節(jié)點(diǎn)技術(shù)細(xì)節(jié)
2024-06-20
來源:IT之家
6 月 19 日消息,作為 2024 IEEE VLSI 研討會活動的一部分,,英特爾近日在官網(wǎng)介紹了 Intel 3 工藝節(jié)點(diǎn)的技術(shù)細(xì)節(jié),。
Intel 3 是英特爾最后一代 FinFET 晶體管工藝,,相較 Intel 4 增加了使用 EUV 的步驟,,也將是一個長期提供代工服務(wù)的節(jié)點(diǎn)家族,包含基礎(chǔ) Intel 3 和三個變體節(jié)點(diǎn),。
其中 Intel 3-E 原生支持 1.2V 高電壓,,適合模擬模塊的制造;而未來的 Intel 3-PT 進(jìn)一步提升了整體性能,,并支持更精細(xì)的 9μm 間距 TSV 和混合鍵合,。
英特爾宣稱,,作為其“終極 FinFET 工藝”,Intel 3-PT 將在未來多年成為主流選擇,,與埃米級工藝節(jié)點(diǎn)一同被內(nèi)外部代工客戶使用,。
相較于僅包含 240nm 高性能庫(注:HP 庫)的 Intel 4 工藝,Intel 3 引入了 210nm 的高密度(HD)庫,,在晶體管性能取向上提供更多可能,。
英特爾表示,其基礎(chǔ) Intel 3 工藝在采用高密度庫的情況下,,可相較 Intel 4 工藝至多可提升 18% 頻率,。
此外英特爾還宣稱基礎(chǔ)版 Intel 3 工藝密度也增加了 10%,實(shí)現(xiàn)了“全節(jié)點(diǎn)”級別的提升,。
而在晶體管上的金屬布線層部分,,Intel 3 在 Intel 4 的 14+2 層外還提供了 12+2 和 19+2 兩種新選項(xiàng),分別面向低成本和高性能用途,。
具體到每個金屬層而言,,英特爾在 Intel 3 的 M0 和 M1 等關(guān)鍵層上保持了與 Intel 4 相同的間距,主要是將 M2 和 M4 的間距從 45nm 降低至 42nm,。