為了推動微波功率合成技術(shù)的發(fā)展，需要開展多路同步輸出的脈沖功率源開關(guān)關(guān)鍵技術(shù)研究,，以實現(xiàn)電子束精確同步(同步抖動≤10 ns),，源輸出波形一致性好，滿足負載工作要求,。在氣體開關(guān)的各種觸發(fā)方式中,，激光觸發(fā)開關(guān)是減少開關(guān)延遲時間和時間抖動的一種比較理想的開關(guān),。氣體介質(zhì)的激光開關(guān)，時延可達到1 ns～2 ns,，其時間抖動可達到亞納秒量級[1],。因此，單路脈沖功率源主開關(guān)采用吹氣式激光觸發(fā)氣體火花開關(guān),，要求其開關(guān)抖動≤5 ns,，重復(fù)頻率為50 Hz。
    在兩路脈沖功率源的同步輸出實驗中,，觸發(fā)控制系統(tǒng)是保證源正確有效合成的關(guān)鍵,。控制系統(tǒng)一方面產(chǎn)生兩臺源正常運行的工作時序,，同時通過同步考慮的設(shè)計,，控制激光觸發(fā)開關(guān)產(chǎn)生觸發(fā)信號，達到一定的功率合成效率,。由于功率MOSFET具有單極型,、電壓驅(qū)動、開關(guān)速度快,、輸入阻抗高,、熱穩(wěn)定性好及所需驅(qū)動功率小而且驅(qū)動電路簡單的特點，所以采用MOSFET來設(shè)計激光觸發(fā)器的外觸發(fā)控制系統(tǒng),。
1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及工作原理
    圖1為激光觸發(fā)脈沖功率源同步控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖,，單臺源均采用德國InnoLas公司的SpitLight 1200激光器，將觸發(fā)信號分成多路,，分別控制單元開關(guān)導(dǎo)通,。激光觸發(fā)系統(tǒng)工作原理為：兩路脈沖功率源的儲能單元充電到設(shè)定值，控制系統(tǒng)根據(jù)目標(biāo)位置設(shè)定兩臺源的觸發(fā)時間間隔,，分別發(fā)指令到兩臺源的激光觸發(fā)系統(tǒng),，觸發(fā)系統(tǒng)產(chǎn)生激光注入主開關(guān)，控制兩組主開關(guān)各自擊穿,，初級能源系統(tǒng)儲存的電能通過開關(guān)向負載饋送,。

    激光器對外觸發(fā)系統(tǒng)的設(shè)計參數(shù)要求如下：
    (1)產(chǎn)生閃燈觸發(fā)信號。脈沖幅值5 V～15 V,，脈寬
≥100 μs,，工作頻率50 Hz，負載50 Ω,；
    (2)產(chǎn)生普克爾盒觸發(fā)信號,。脈沖幅值5 V～15 V，脈寬≥100 ?滋s,，脈沖上升沿≤5 ns,，負載50 Ω,，工作頻率50/N(N=1，2,，…,，50)。該信號與閃燈信號之間延時可調(diào),；
    (3)外觸發(fā)電路,、激光器和脈沖功率源之間采取隔離和屏蔽等抗干擾保護措施，確保觸發(fā)系統(tǒng)在功率源高壓大電流強輻射的惡劣環(huán)境中正常工作,。
2 理論設(shè)計與分析
    激光器外觸發(fā)系統(tǒng)由控制信號產(chǎn)生和控制信號觸發(fā)2部分組成,，二者之間通過普通多模光纖(工作波長為820 nm)進行連接。其中,，控制系統(tǒng)工作參數(shù)設(shè)置(如工作頻率和工作次數(shù)等),、控制信號產(chǎn)生、輸出信號隔離及轉(zhuǎn)換(電/光)等功能在控制信號產(chǎn)生單元內(nèi)實現(xiàn),，它位于操作者所在的工作區(qū),；放置于脈沖功率源激光器側(cè)的是控制信號觸發(fā)單元，完成通過光纖傳輸而來的輸入信號轉(zhuǎn)換(光/電),、放大,、快上升沿信號形成以及隔離觸發(fā)輸出等功能。
2.1 控制信號產(chǎn)生單元設(shè)計
    控制信號產(chǎn)生單元分為2部分：
    (1)脈沖觸發(fā)信號發(fā)生器,。用于產(chǎn)生控制功率MOSFET器件,、功率晶體管工作的脈沖觸發(fā)信號,，具有輸出脈沖的個數(shù),、脈寬及頻率可調(diào)的能力，輸出為TTL電平,。采用工業(yè)PC,，內(nèi)置NI定時/計數(shù)卡PCI-6602，利用LabVIEW開發(fā)系統(tǒng)編制計算機人機界面,，設(shè)置工作參數(shù),，編程產(chǎn)生激光器外觸發(fā)工作所需的控制信號。其中PCI-6602提供8路32 bit源頻率80 MHz的定時/計數(shù)通道,，輸出脈沖信號上升沿實驗測試在10 ns左右,；
    (2)光纖隔離電路。用于隔離TTL電平的觸發(fā)信號和功率MOSFET的輸出電壓,，具有響應(yīng)快,、不失真的特點。光纖發(fā)送器件選用HFBR-1414,，其帶寬可達5 MHz,，滿足脈寬為數(shù)百?滋s的觸發(fā)脈沖信號傳輸要求,。
2.2 控制信號觸發(fā)單元設(shè)計
    控制信號產(chǎn)生單元分為4部分：
    (1)光/電轉(zhuǎn)換電路。采用HFBR-2412光纖接收器件,，將通過多模光纖傳輸至控制信號觸發(fā)單元的光信號轉(zhuǎn)換為TTL電信號,。
    (2)功率MOSFET驅(qū)動/功率晶體管驅(qū)動電路，前者用于將低電平的TTL信號提升到可以用來驅(qū)動功率MOSFET器件的電平,，以產(chǎn)生脈沖上升沿≤5 ns的激光器普克爾盒觸發(fā)信號,。后者用來產(chǎn)生閃燈觸發(fā)信號。
    (3)功率MOSFET器件,。MOSFET（金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)管)是一種電壓控制型的器件,，由于MOSFET是正溫度系數(shù)，所以可避免溫度持續(xù)上升而使器件損壞,。同時由于它的導(dǎo)通電阻在理論上沒有上限值,，因此導(dǎo)通時的能量損失可以非常小。其優(yōu)點是：具有非?？斓膶?dǎo)通和關(guān)斷能力(ns量級),；非常低的觸發(fā)能量；能工作在高重復(fù)頻率下(MHz量級),；使用壽命長(平均109次),；高效率、脈寬可以調(diào)節(jié)(輸出由輸入觸發(fā)信號決定),。經(jīng)選擇采用IR公司的功率MOSFET器件——IRLML2803,，它的漏源極擊穿電壓VDSS為30 V，直流電流ID為1.2 A,，脈沖下最大輸出電流為7.3 A,，導(dǎo)通延時時間Td(on)為3.9 ns，關(guān)斷時間Toff為9 ns,。
    (4)電源部分,。采用鋰電池組提供給光纖隔離電路和功率MOSFET驅(qū)動電路所使用的低壓電源。它配裝有專用保護板,，具有過充,、過放、過壓,、欠壓,、過流短路及反接保護功能，進一步保證電池組控制部分的安全工作,。這樣有效地消除了觸發(fā)單元與前級控制信號產(chǎn)生單元及后級功率源高壓工作回路因電源共地而可能產(chǎn)生的高壓擊穿等危險因素,。
    如圖2所示，變換后的TTL電平經(jīng)整形、功率MOSFET/功率晶體管驅(qū)動,、脈沖變壓器隔離輸出至激光器,。為了保證觸發(fā)單元的正常工作，在其輸出至激光器之前需加入高耐壓(5 kV)脈沖變壓器進行電氣隔離,。

2.3 功率MOSFET器件及其驅(qū)動電路選擇
    圖3為功率MOSFET器件的工作原理電路示意圖,。圖3(a)中，RG和CGS是影響MOSFET導(dǎo)通延時的主要參數(shù),；漏柵極電容CGD是造成開關(guān)動作過程中柵極電壓受干擾的主要參數(shù),；漏源極電容CDS是影響關(guān)斷時間的主要參數(shù)。MOSFET器件轉(zhuǎn)換過程有2個：導(dǎo)通轉(zhuǎn)換和關(guān)斷轉(zhuǎn)換,。導(dǎo)通轉(zhuǎn)換過程的漏源電壓VDS,、漏極電流iD、柵源電壓VGS和與柵極電流iG隨時間t的變化關(guān)系如圖3(b)所示,。導(dǎo)通轉(zhuǎn)換過程分成4個階段,，各個階段分別是：

    (1)t₀～t₁階段：柵極驅(qū)動電流iG對CDS和CGS充電，使CGS上的電壓從0上升到MOSFET導(dǎo)通閾值V_GS(th),。
    (2)t₁～t₂階段：柵源電壓V_GS繼續(xù)以指數(shù)規(guī)律上升,，超過MOSFET導(dǎo)通闡值VGS(th)達到Va，在V_GS超過V_GS(th)后,，漏極電流開始增長,，并達到最終的輸出電流Io。在這一過程中,，由于電壓與電流重疊,，MOSFET功耗最大。
    (3)t₂～t₃階段：從t₂時刻開始,，MOSFET漏源電壓V_DS開始下降,，引起從漏極到柵極的密勒電容效應(yīng)，使得V_GS不能上升而出現(xiàn)平臺,，在t₃時刻漏源電壓下降到最小值,。
    (4)t₃～t₄階段：在這一區(qū)間柵源電壓V_GS從平臺上升到最后的驅(qū)動電壓,。上升的柵壓使漏源電阻R_DS(on)減小,，t₄以后MOSFET進入導(dǎo)通狀態(tài)。
    MOSFET器件的截止轉(zhuǎn)換過程與上面的過程相反,。由上面的分析可知對柵極驅(qū)動電路的要求主要有：
    (1)驅(qū)動信號的脈沖前,、后沿都要陡峭。
    (2)對功率MOSFET柵極的充放電回路時間常數(shù)要小,，以提高功率MOSFET器件的開關(guān)速度,。
    (3)驅(qū)動電流為柵極電容的充放電電流，驅(qū)動電流要大，才能使開關(guān)波形的上升沿和下降沿更快,。
    選用MOSFET器件IRLML2803,，查其特性曲線圖可得：在V_DS=15 V、V_GS=12 V時,，總柵極電荷Q_G≈3.7 nC,，則柵極電容C=Q_G/V_GS=3.7 n_C/12 V≈0.3 nF=300 pF。
    MOSFET導(dǎo)通和截止的速度與MOSFET柵極電容的充電和放電速度有關(guān),。MOSFET柵極電容,、導(dǎo)通和截止時間與MOSFET驅(qū)動器的驅(qū)動電流的關(guān)系可以表示為：
    d_T=(dV×C)/I
式中，d_T是導(dǎo)通/截止時間,，d_V是柵極電壓,，C是柵極電容(從柵極電荷值)，I是峰值驅(qū)動電流(對于給定電壓值),。
    IRLML2803導(dǎo)通/截止時間是4 ns,，則I=QG/dT=3.7 nC/4 ns≈0.9 A。即由以上公式得出的峰值驅(qū)動電流為0.9 A,，同時還需要考慮在MOSFET驅(qū)動器和功率MOSFET柵極之間使用的外部電阻,，這會減小驅(qū)動?xùn)艠O電容的峰值充電電流，所以選擇峰值輸出電流大于0.9 A的驅(qū)動器,。系統(tǒng)中采用的是4.5 A高峰值輸出電流的同相驅(qū)動器TC4424A,，經(jīng)實驗驗證滿足快上升沿信號輸出要求。
3 測試結(jié)果與分析
3.1 觸發(fā)信號光纖傳輸轉(zhuǎn)換測試
    激光器外觸發(fā)系統(tǒng)采用光纖傳輸和收發(fā)技術(shù),，由于其本身是由絕緣材料制成,，所以具有很好的高電壓隔離能力，同時還具有很強的抗干擾能力,，多路光纖信號傳輸?shù)耐叫砸卜浅：?，滿足對信號高壓隔離和同步性的要求。
    圖4為激光器外觸發(fā)單元產(chǎn)生的信號波形圖,。圖4(a),、圖4(b)中通道2均顯示的是工作頻率50Hz的激光器閃燈觸發(fā)信號（前者是輸出個數(shù)為50的脈沖序列，后者是單個輸出脈沖）,，它在控制信號產(chǎn)生單元內(nèi)由PC機編程產(chǎn)生,，經(jīng)脈沖變壓器隔離、電/光轉(zhuǎn)換,、光纖傳輸處理輸入至觸發(fā)單元,，再經(jīng)過光/電轉(zhuǎn)換、功率晶體管驅(qū)動放大,，由高耐壓脈沖變壓器隔離輸出至激光器,，其上升時間Tr在200 ns以內(nèi),，主要是由脈沖變壓器的輸出上升時間確定。

    圖4(a),、圖4(b)中通道1均為激光器普克爾盒觸發(fā)信號(顯示方式同通道2),，工作頻率50 Hz（50/N，N=1),，在控制信號產(chǎn)生單元內(nèi)信號生成方式同閃燈觸發(fā)信號,，不同的是在觸發(fā)單元內(nèi)經(jīng)過功率MOSFET及高速MOSFET驅(qū)動器成形等處理，最終生成實測上升沿小于5 ns的脈沖信號,。
    實驗中測得激光器閃燈觸發(fā)信號,、普克爾盒觸發(fā)信號脈寬均為160 μs，后者較前者滯后約250 μs,，兩者均可調(diào),，并且普克爾盒觸發(fā)信號的輸出頻率也可調(diào)，滿足激光器的使用要求,。
3.2 激光器外觸發(fā)工作對功率源的影響
    低抖動高功率重復(fù)頻率主開關(guān)系統(tǒng)是功率源同步控制系統(tǒng)的研制核心和難點,。為了實現(xiàn)脈沖功率源同步系統(tǒng)的低抖動工作，首先對系統(tǒng)工作過程中的抖動來源進行分析,。同步系統(tǒng)的工作流程如下：激光器外觸發(fā)系統(tǒng)產(chǎn)生一個快上升沿的信號送到激光器,，激光器產(chǎn)生脈沖激光注入激光開關(guān)，激光開關(guān)閉合,，形成線通過感應(yīng)疊加模塊對二極管放電,，產(chǎn)生電子束。在這個過程中,，可能產(chǎn)生以下的抖動：
    (1)激光器外觸發(fā)系統(tǒng)電路抖動J1,。抖動來源于傳輸線路及轉(zhuǎn)換線路中的芯片延時不同和芯片本身的抖動，該抖動經(jīng)實測小于2 ns,；
    (2)激光器抖動J2,。抖動來源于激光器的工作過程，在快前沿信號(t_r≤5 ns)觸發(fā)下激光器抖動小于3 ns,。
    (3)激光開關(guān)抖動J3,。抖動來源于激光觸發(fā)產(chǎn)生等離子體放電的物理過程，設(shè)計指標(biāo)為小于5 ns,。
    圖5為脈沖功率源中4路感應(yīng)疊加模塊合成負載波形,，重復(fù)頻率25 Hz，負載為平面二極管,，圖中為25個波形的重疊（通道1為二極管電流信號波形,，通道2為二極管電壓信號波形）,。由此證明：采用激光器外觸發(fā)系統(tǒng),，負載輸出波形的一致性較好，重復(fù)頻率25 Hz工作時開關(guān)抖動低，滿足設(shè)計要求,。

3.3 抗干擾考慮
    激光器外觸發(fā)單元是同步運行中的控制環(huán)節(jié),，是裝置能否正常工作的關(guān)鍵。對觸發(fā)電路的要求是脈沖前沿陡且有足夠的幅值與脈寬,，穩(wěn)定性與抗干擾性能好等,。而高壓發(fā)生裝置容易產(chǎn)生各種瞬時尖峰信號，即所謂“毛刺”,，當(dāng)其幅值和能量達到一定程度時,，極易導(dǎo)致系統(tǒng)不能正常運行。在前期的同步運行試驗調(diào)試過程中,，由于受實驗場地條件的限制,，激光器電源與脈沖功率源的初級充電電源共地，在功率源運行時,，導(dǎo)致激光器外觸發(fā)系統(tǒng)輸出至激光器普克爾盒的觸發(fā)信號相對于設(shè)定時刻提前產(chǎn)生一個尖峰干擾脈沖,，從而無法保證同步運行試驗的正常進行。對此采取增加電源濾波器,、高頻電容等方式,，以消除電源引入的干擾影響，結(jié)果有所改善,。下一步工作則是將激光器與其外觸發(fā)系統(tǒng)共用同一電源,，與脈沖功率源的電源徹底分開，保證同步系統(tǒng)的安全工作,。
    實驗結(jié)果表明：采用功率MOSFET及其高速驅(qū)動器等措施有效,，利用光纖收發(fā)器件轉(zhuǎn)換傳輸、高耐壓脈沖變壓器隔離可行,。影響脈沖功率源開關(guān)同步輸出轉(zhuǎn)換效率的是激光器外觸發(fā)回路的性能,。功率MOSFET開關(guān)通斷狀態(tài)可以通過觸發(fā)脈沖控制，選用高峰值輸出電路的MOSFET驅(qū)動器,，可以將輸出脈沖信號上升沿控制在5 ns以下,。采用激光器外觸發(fā)系統(tǒng)，單臺脈沖功率源重頻開關(guān)實現(xiàn)參數(shù)：工作電壓150 kV,，電流30 kA,、抖動
≤5 ns、重復(fù)頻率25 Hz,。為進一步開展兩臺或多臺脈沖功率源穩(wěn)定,、可靠地精確同步輸出奠定一定的技術(shù)基礎(chǔ)。
    另外,，觸發(fā)控制電路印制電路板中,，控制電路極易受到功率回路的干擾,，應(yīng)使MOSFET驅(qū)動器和MOSFET的走線長度盡可能短，以此限制電感引起的振蕩效應(yīng),。驅(qū)動器輸出和MOSFET柵極間的電感,，也會影響MOSFET驅(qū)動器在瞬態(tài)條件下將MOSFET柵極維持在低電平的能力。激光觸發(fā)實驗中存在的問題,，如減小波形前沿,、增強抗干擾能力等還需要繼續(xù)深入研究。
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