基于溫度梯度驅(qū)動(dòng)的液滴傳輸行為研究
所屬分類:技術(shù)論文
上傳者:serena
標(biāo)簽: 液滴傳輸行為
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文檔介紹:設(shè)計(jì)并制作了一種基于溫度梯度驅(qū)動(dòng)的液滴傳輸芯片,,以實(shí)現(xiàn)對(duì)微液滴傳輸?shù)木_控制.介紹了驅(qū)動(dòng)原理和工藝流程,分析了仿真和實(shí)驗(yàn)結(jié)果.該芯片利用溫度梯度下液滴表面形成的表面張力梯度來傳輸液滴,采用玻璃作為襯底,,Ti為電阻加熱器,Au為電極,,PECVD氧化硅為介質(zhì)層,,碳氟聚合物為疏水層,實(shí)現(xiàn)了器件制作.
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