基于單片機的AFM納米機械性能測試系統(tǒng)
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：serena
標(biāo)簽： 單片機 AFM系統(tǒng)
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文檔介紹：為解決采用原子力顯微鏡（ＡＦＭ）系統(tǒng)進行納米機械性能測試中存在的不能夠直接獲得載荷?壓深曲線以及不能夠隨意改變加載、保載,、卸載時間等問題，對ＡＦＭ系統(tǒng)進行了改造,，開發(fā)了一套基于單片機的信號輸入輸出模塊。將該模塊與ＡＦＭ控制系統(tǒng)相聯(lián),，形成新的納米機械性能測試系統(tǒng),。該系統(tǒng)信號輸出精度為０．１５ｍＶ，信號采集精度為０．３ｍＶ,，工作臺的移動靈敏度為１．５３ｎｍ，可以動態(tài)改變垂直載荷,，并實時獲得載荷?壓深曲線,。通過單片機設(shè)置模擬信號的輸出速率可以實現(xiàn)加載、保載和卸載速率的改變,；結(jié)合二維微動精密工作臺,，可以實現(xiàn)較大范圍內(nèi)高精度的點陣壓痕測試。
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