使用最小二乘迭代相移方法測(cè)量透明元件 | |
所屬分類:技術(shù)論文 | |
上傳者:aetmagazine | |
文檔大小:1560 K | |
標(biāo)簽: 干涉 最小二乘迭代算法 相移算法 | |
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文檔介紹:為了更精確地測(cè)量透明平板前后兩個(gè)面的面形相位發(fā)布,,提出了一種基于最小二乘迭代的相移算法。通過一次最小二乘相移算法后,,可以得到相應(yīng)的透明平板面形圖,但是由于初始得到的相位值存在誤差,,因此得到的面形圖精度并不會(huì)很高,。因此需要通過得到的面形圖推導(dǎo)出準(zhǔn)確的相位值,本算法通過最小二乘發(fā)多次迭代的方法,,計(jì)算出較準(zhǔn)確的初始相移值,。對(duì)該方法進(jìn)行仿真實(shí)驗(yàn)后,可知此算法的測(cè)量精度較高且抗噪能力比較好,,仿真得到面形圖的PV值與RMS值誤差值均小于0.006λ,。在實(shí)際測(cè)量結(jié)果中,得到測(cè)量結(jié)果的PV值誤差小于0.09λ,,RMS誤差小于0.02λ,。測(cè)量到的面形與物體真實(shí)面形接近,,測(cè)量精度較高。 | |
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