ULSI熱分析中考慮通孔自熱效應(yīng)后的有效熱導(dǎo)系數(shù)
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：aet
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文檔介紹：研究了ULSI熱分析中考慮通孔自熱效應(yīng)后的有效熱導(dǎo)系數(shù)的理論模型，詳細計算了不同的通孔間距,、通孔直徑,、通孔高度以及金屬線寬對有效熱導(dǎo)系數(shù)的影響,。結(jié)果表明，考慮通孔自熱效應(yīng)后,，使有效熱導(dǎo)系數(shù)的計算更加符合實際情況,，為進一步分析USLI的熱學(xué)模型提供了理論依據(jù)。
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