MEMS傳感器和智能傳感器的發(fā)展
所屬分類:技術(shù)論文
上傳者:serena
文檔大?。?span>141 K
標(biāo)簽: MEMS
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文檔介紹:MEMS傳感器和智能傳感器是新型傳感器的代表,,具有集成化和智能化的特點(diǎn),。
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