ASML公司日前發(fā)布2018年Q3季度財(cái)報(bào),,當(dāng)季營收27.8億歐元,,凈利潤6.8億歐元,出貨了5臺(tái)EUV光刻機(jī),,全年預(yù)計(jì)出貨18臺(tái),,明年將增長到30臺(tái),而且明年下半年會(huì)推出新一代的NXE:3400C型光刻機(jī),,生產(chǎn)能力從現(xiàn)在的每小時(shí)125晶圓提升到155片晶圓以上,,意味著產(chǎn)能提升24%。
臺(tái)積電前不久試產(chǎn)了7nm EUV工藝,,預(yù)計(jì)明年大規(guī)模量產(chǎn),,三星今天宣布量產(chǎn)7nm EUV工藝,這意味著EUV工藝就要正式商業(yè)化了,,而全球最大的光刻機(jī)公司荷蘭ASML為這一天可是拼了20多年,。ASML公司日前發(fā)布2018年Q3季度財(cái)報(bào),當(dāng)季營收27.8億歐元,凈利潤6.8億歐元,,出貨了5臺(tái)EUV光刻機(jī),,全年預(yù)計(jì)出貨18臺(tái),明年將增長到30臺(tái),,而且明年下半年會(huì)推出新一代的NXE:3400C型光刻機(jī),,生產(chǎn)能力從現(xiàn)在的每小時(shí)125晶圓提升到155片晶圓以上,意味著產(chǎn)能提升24%,。
根據(jù)ASML公司的Q3季度財(cái)報(bào),,ASML的設(shè)備銷售營收20.81億歐元,安裝管理服務(wù)等業(yè)務(wù)營收6.95億歐元,,當(dāng)季營收27.76億歐元,,同比增長13.4%,環(huán)比增長1%,,不過毛利率達(dá)到了48.1%,,同比增加5.2個(gè)百分點(diǎn),環(huán)比也增加了4.8個(gè)百分點(diǎn),。
Q3季度的光刻機(jī)銷售中,,韓國公司占比33%,臺(tái)灣公司占比30%,,大陸公司占比18%,,前一個(gè)季度中大陸公司占比是19%,不過Q3季度中臺(tái)灣公司占比從18%增長到了30%,,韓國公司占比從35%降至33%,。
在單機(jī)過億歐元的EUV光刻機(jī)方面,Q3季度ASML出貨了5臺(tái)EUV光刻機(jī),,上個(gè)季度出貨7臺(tái)EUV光刻機(jī),,預(yù)計(jì)Q4季度出貨6臺(tái)EUV光刻機(jī),全年出貨的數(shù)量將達(dá)到18臺(tái),,而2019年EUV光刻機(jī)預(yù)計(jì)出貨數(shù)量達(dá)到30臺(tái),。
明年除了EUV光刻機(jī)數(shù)量大漲之外,ASML公司明年下半年還將推出進(jìn)一步改進(jìn)的NXE:3400C光刻機(jī),,WPH(每小時(shí)處理的晶圓數(shù)量)產(chǎn)能將提升到155片,,而現(xiàn)在的NXE:3400B型EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能在合作伙伴的工廠中已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了125 WPH的產(chǎn)能,NXE:3400C的產(chǎn)能預(yù)計(jì)再提升24%,,這對(duì)改善EUV工藝的產(chǎn)能很有幫助,。
不過EUV光刻工藝今年正式量產(chǎn)只是一個(gè)開始,EUV光刻工藝目前離成熟還早呢,,155 WPH的產(chǎn)能可喜可賀,,但是現(xiàn)在的沉浸式光刻機(jī)的產(chǎn)能可達(dá)250 WPH,,而且能以250W的光源長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行,這些都是EUV光刻機(jī)暫時(shí)做不到的,。