光刻機(jī)是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造流程的核心設(shè)備,由于技術(shù)復(fù)雜,、技術(shù)壟斷,,導(dǎo)致價(jià)格昂貴,。
最近,,光刻機(jī)全球領(lǐng)導(dǎo)廠商荷蘭ASML發(fā)布最新報(bào)告,,ASML宣布,,今年一季度,他們共獲得了73 臺(tái)光刻機(jī)訂單,,其中 11 臺(tái)是極紫外EUV光刻機(jī),。這 73 臺(tái)光刻機(jī)訂單中,有 72 臺(tái)將是新生產(chǎn)的光刻機(jī),,另外 1 臺(tái)則是翻新的光刻機(jī),。據(jù)介紹,這73 臺(tái)光刻機(jī)訂單金額高達(dá) 30.85 億歐元,,其中11臺(tái)EUV光刻機(jī)的訂單金額為15億歐元,。
根據(jù)ASML此前的財(cái)報(bào)數(shù)據(jù),2019年Q1,ASML獲得的光刻機(jī)訂單是 34 臺(tái),,金額 13.99 億歐元,。相比去年一季度,無(wú)論是訂單數(shù)量還是訂單金額,,ASML在今年一季度都實(shí)現(xiàn)了暴增,。
從高端的極紫外EUV光刻機(jī)訂單量來(lái)看,ASML去年的財(cái)報(bào)顯示,,2019年ASML全年共計(jì)出貨26臺(tái)EUV光刻機(jī),,而今年僅一季度就獲得了11臺(tái)EUV光刻機(jī)訂單,可以預(yù)計(jì),,今年在EUV光刻機(jī)的出貨量上,,也要遠(yuǎn)超去年。
根據(jù)最新的訂單金額,,21ic小編粗算了一下,,最高端的EUV光刻機(jī)每臺(tái)大約10億元人民幣,即便是中低端的光刻機(jī)產(chǎn)品,,每臺(tái)也要約2億元人民幣,。
這么昂貴的設(shè)備,ASML的光刻機(jī)都賣(mài)給了誰(shuí)呢?
光刻機(jī)是半導(dǎo)體生產(chǎn)的必備設(shè)備,,全球的晶圓廠,、代工廠原則上都是ASML的潛在客戶(hù),尤其是在EUV光刻機(jī)產(chǎn)品上,,ASML是獨(dú)家供貨商,。根據(jù)去年的數(shù)據(jù),其售出的26臺(tái)極紫外線(xiàn)(EUV)光刻機(jī)中的一半左右賣(mài)給了臺(tái)積電公司,。
中國(guó)的晶圓代工企業(yè)中芯國(guó)際也向ASML預(yù)定了極紫外EUV光刻機(jī),,但遺憾的是,由于種種原因,目前仍未能到貨,。
不過(guò),,雖然沒(méi)有EUV光刻機(jī),但據(jù)中芯國(guó)際梁孟松介紹,,中芯國(guó)際已研發(fā)了N+1,、N+2工藝,N+1與現(xiàn)在的14nm工藝相比,,性能有20%的提升,,功耗將會(huì)降低50%,并且SoC面積對(duì)比減小55%,。如果從性能上來(lái)看,,該工藝與7nm稍有差距,但是功耗要低得很多,??梢钥闯觯旧?,中芯國(guó)際N+1,、N+2工藝已十分接近7nm工藝,該技術(shù)將于2020年底開(kāi)始試驗(yàn)產(chǎn)能,。