繼近日美國(guó)拜登政府反對(duì)英特爾對(duì)其位于中國(guó)四川成都的硅晶圓廠進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)一事后,，韓國(guó)存儲(chǔ)器芯片大廠SK海力士恐怕也將面臨來(lái)自美國(guó)的壓力與限制,。

11月18日,，路透社報(bào)道,，SK海力士希望引入ASML（阿斯麥）最先進(jìn)的EUV設(shè)備,，升級(jí)其無(wú)錫芯片廠的設(shè)備產(chǎn)品,，以提高量產(chǎn)能力,，控制成本并加速生產(chǎn)效率。

盡管是由主體為韓國(guó)企業(yè)的SK海力士來(lái)引入光刻機(jī)設(shè)備,，但由于會(huì)將先進(jìn)技術(shù)引入中國(guó)大陸,，因此美國(guó)極力反對(duì)，理由是向中國(guó)運(yùn)送此類先進(jìn)工具可能被用來(lái)加強(qiáng)中國(guó)的軍事力量,。

眾所周知,，SK海力士是全球最大的DRAM存儲(chǔ)芯片供應(yīng)商之一。從智能手機(jī)到數(shù)據(jù)中心,，幾乎所有領(lǐng)域的電子設(shè)備都可以看到DRAM存儲(chǔ)芯片,。顯然，美國(guó)寧愿芯片危機(jī)晚些化解,，也不希望看到芯片制造商加大在中國(guó)的投資,。

一名白宮高級(jí)官員拒絕就美國(guó)官員是否會(huì)允許SK Hynix將EUV工具帶到中國(guó)的問(wèn)題發(fā)表具體評(píng)論。但這位官員表示,，拜登政府仍專注于阻止中國(guó)利用美國(guó)及其盟國(guó)的技術(shù)來(lái)發(fā)展最先進(jìn)的半導(dǎo)體制造,，以幫助中國(guó)實(shí)現(xiàn)軍事現(xiàn)代化。

公開(kāi)資料顯示,，SK海力士無(wú)錫工廠DRAM產(chǎn)能占SK海力士全部產(chǎn)能的50％,，在全球總量中占據(jù)15％，可以說(shuō)是全球電子產(chǎn)業(yè)鏈中占據(jù)重要地位,，任何重大變化都可能對(duì)全球儲(chǔ)存芯片市場(chǎng)產(chǎn)生影響,。

業(yè)內(nèi)人士分析認(rèn)為，未來(lái)2 ～ 3年內(nèi),，新型芯片在SK海力士的生產(chǎn)中所占的份額將會(huì)增加,，因此需要EUV機(jī)器來(lái)控制成本和加快生產(chǎn)。但如今SK海力士無(wú)錫工廠升級(jí)遇阻,，極有可能導(dǎo)致公司未來(lái)在與三星,、美光競(jìng)爭(zhēng)時(shí)處于劣勢(shì)地位。據(jù)悉,，目前三星和美光也正在采用EUV設(shè)備,，但并沒(méi)有未面臨像SK出口限制,。

就跟之前英特爾在華擴(kuò)產(chǎn)遇阻一樣，英特爾計(jì)劃在中國(guó)四川成都的硅晶圓廠進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn),，以此緩解當(dāng)前全球芯片供不應(yīng)求的境況,。據(jù)悉，英特爾成都廠在2003年建設(shè),，在此之后,，英特爾成都廠先后經(jīng)過(guò)了三次增資，截至到2014年11月,，總投資額達(dá)6億美元,。

其中，“成都芯片組業(yè)務(wù)”使用英特爾最先進(jìn)的封裝技術(shù)來(lái)組裝芯片組,，“成都微處理器業(yè)務(wù)”則負(fù)責(zé)生產(chǎn)微處理器,。目前成都工廠已經(jīng)是英特爾在全球最大的封裝生產(chǎn)基地，同時(shí)也是英特爾全球最大的芯片封裝測(cè)試中心之一,，并已建設(shè)成為英特爾全球晶圓預(yù)處理三大工廠之一,。

原計(jì)劃在2022年底上線的英特爾成都工廠生產(chǎn)計(jì)劃，由于英特爾目前正在美國(guó)申請(qǐng)政府提供資金和技術(shù)援助的原因,，在與拜登政府協(xié)商后,，目前英特爾這一計(jì)劃已經(jīng)被美國(guó)拜登政府以危及“國(guó)家安全”的理由拒絕。但反觀另一方面,，英特爾又被美國(guó)要求希望其加大在美國(guó)本土的晶圓廠建設(shè),，為此英特爾一直在美國(guó)申請(qǐng)520億美元的芯片研發(fā)和制造資金。

光刻機(jī)的話題一直不缺乏熱度

就在最近上海進(jìn)博會(huì)上,，ASML全球副總裁,、中國(guó)區(qū)總裁沈波在最近的采訪中表示，對(duì)中國(guó)出口集成電路光刻機(jī)持開(kāi)放態(tài)度,，在法律框架下全力支持,。同時(shí)明確表明,，目前ASML除了EUV光刻機(jī)無(wú)法對(duì)中國(guó)客戶供貨外,，其他產(chǎn)品都可以正常供貨。也就是說(shuō),，EUV以下的技術(shù),，包括DUV光刻機(jī)在內(nèi)都不受其他限制。

從ASML的這次表態(tài)來(lái)看,，EUV光刻機(jī)依然遲遲難見(jiàn)希望,。眾所周知，中芯國(guó)際在三年前曾花費(fèi)1．5億美元向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī),，原本應(yīng)該于2019年初就交貨,，但由于美方阻撓,，ASML拿不到許可證，至少未交付,。

EUV拿不到手,，拿DUV總可以吧？在今年3月初,，中芯國(guó)際宣布和ASML簽訂了延長(zhǎng)采購(gòu)協(xié)議至今年年底,，協(xié)議總價(jià)為12億美元。按照產(chǎn)品金額來(lái)算,，至少可以購(gòu)買幾十臺(tái)DUV光刻機(jī),。

對(duì)于中芯國(guó)際而言，公司今年分別在北京,、上海,、深圳增資加碼擴(kuò)大產(chǎn)能，DUV光刻機(jī)無(wú)疑成為了最為重要的設(shè)備之一,。但新的問(wèn)題出現(xiàn)了,，據(jù)臺(tái)媒報(bào)道，目前中芯國(guó)際跟ASML續(xù)簽的這個(gè)訂單的DUV光刻機(jī)還沒(méi)有到貨,。并且隨著采購(gòu)協(xié)議的最后期限臨近,，恐怕這筆訂單將要跳票，從而危及中芯國(guó)際未來(lái)的產(chǎn)能計(jì)劃,。

根據(jù)沈波的說(shuō)法,，DUV光刻機(jī)應(yīng)該是不受限制的，而遲遲無(wú)法供貨的原因是,，由于全球缺芯導(dǎo)致的光刻機(jī)需求增大,，雖然ASML已經(jīng)在盡力擴(kuò)大產(chǎn)能，但依然不能滿足用戶需求,。并且由于涉及的幾千家配套供應(yīng)商只能提供85％的零部件,，因此有的產(chǎn)品交付期甚至要翻倍。

這意味著光刻機(jī)的訂單太多,，ASML雖能擴(kuò)大產(chǎn)能,，但供應(yīng)商的配套部件跟不上，導(dǎo)致光刻機(jī)交貨期也得延長(zhǎng),。另一方面,，此前中芯國(guó)際宣布與ASML達(dá)成批量設(shè)備采購(gòu)延長(zhǎng)協(xié)議之后，美國(guó)共和黨眾議員麥考爾和魯比奧還曾聯(lián)合致信美國(guó)商務(wù)部長(zhǎng)雷蒙多稱,，基于中芯國(guó)際協(xié)助中國(guó)大陸追求“取代美國(guó)在全球的領(lǐng)先地位”方面發(fā)揮的作用,，為保護(hù)美國(guó)的國(guó)家安全利益，要求拜登政府勸說(shuō)荷蘭政府阻止ASML出售DUV光刻機(jī)賣給中芯國(guó)際,，并且還須與盟國(guó)達(dá)成協(xié)議,，統(tǒng)一出口限制和許可權(quán),，限制類似DUV和EUV光刻等技術(shù)設(shè)備的出售。顯然,，訂單積壓也許是中芯國(guó)際訂購(gòu)的DUV未能如期交貨的原因之一,，但背后又是否還存在其他的阻礙因素也不好說(shuō)

任重而道遠(yuǎn)：傳國(guó)內(nèi)光刻機(jī)驗(yàn)收未過(guò)

近日有傳聞稱：“上海微電子的28nm光刻（傳聞型號(hào)為SSA800／10W）機(jī)沒(méi)有通過(guò)02專項(xiàng)的國(guó)家驗(yàn)收，無(wú)法在2021年底完成,，28nm光刻機(jī)卡住了‘02專項(xiàng)’,。”此消息在業(yè)內(nèi)不斷發(fā)酵引發(fā)熱議,，并未得到官方回應(yīng),。

顯然，在目前被國(guó)外巨頭掌握了先進(jìn)光刻機(jī)技術(shù)的前提下,，僅靠我們自己就像研發(fā)出可靠的光刻機(jī)設(shè)備,，還存在一定的困難。

要知道,，ASML先進(jìn)的EUV光刻機(jī)擁有超過(guò)10萬(wàn)個(gè)零件,，涉及到上游5000多家供應(yīng)商。從2015年到2020年底,，ASML一共也就交付了100臺(tái)EUV光刻機(jī),，這些零部件極為復(fù)雜，對(duì)誤差和穩(wěn)定性的要求極高,，并且這些零件幾乎均屬于定制,，90％零件采用的是世界上最先進(jìn)技術(shù)，85％的零部件是和供應(yīng)鏈共同研發(fā),。且更難的是調(diào)試,、維護(hù)，設(shè)備中的一些接口需要工程師用高精度機(jī)械進(jìn)行打磨,，尺寸調(diào)整次數(shù)更可能高達(dá)百萬(wàn)次以上,，成本方面更不用說(shuō)了，每臺(tái)都是以億美元為單位來(lái)計(jì)算的,，因此光刻機(jī)研發(fā)制造的難度可想而知,。