ASML有多重要,,ASML生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)有多重要,相信每一個(gè)關(guān)注芯片產(chǎn)業(yè)的人都清楚,。
在當(dāng)前情況之下,,任何一家芯片企業(yè),如果工藝想進(jìn)入7nm及以下,,ASML的EUV光刻機(jī)就必不可少,,因?yàn)橹挥兴軌蛏a(chǎn)。
但ASML沒有完全的自主權(quán),,他無法真正的決定將自己的EUV光刻機(jī)賣給誰,,最終它還得聽美國的,比如ASML在2018年的時(shí)候,,就想向中國出口最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),,最后美國不允許他賣,所以4年過去了,這臺(tái)EUV光刻機(jī)都沒交貨,。
也正因?yàn)槿绱?,所以中國一直在努力的研發(fā)自己的光刻機(jī),特別是EUV光刻機(jī),,一旦中國廠商能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)了,,那么ASML就徹底的沒有競爭力了。
但近日,,阿斯麥(ASML)CEO溫彼得(Peter Wennink)表示?!爸袊惶赡塥?dú)立復(fù)制(replicate)出頂尖的光刻技術(shù),。”
不過這樣說完之后,,他還是做了補(bǔ)充:“這也并不是絕對不可能,,因?yàn)橹袊奈锢矶珊臀覀冞@里是一樣的”。
那么頂尖光刻機(jī)的難點(diǎn)到底在哪里,?其實(shí)主要有三塊,,一塊是曝光光源,也就是極紫外線的產(chǎn)生,。
第二塊是對準(zhǔn)系統(tǒng),,也就是如何將產(chǎn)生的紫外線收集起來,并使其具有方向性和精準(zhǔn)度,。第三部分才是透光鏡頭等技術(shù)的整合,。
而這三部分之中,前兩部分其實(shí)都不完全算是ASML的技術(shù),,是ASML整合德國TRUMPF,、德國的蔡司公司的產(chǎn)品和技術(shù)。第三塊才主要是ASML的技術(shù),。
但一臺(tái)EUV光刻機(jī),,有超過10萬個(gè)零件,來自于上千家供應(yīng)鏈,,如果中國想要獨(dú)立的制造出來,,意味著需要上千家供應(yīng)鏈崛起,然后都達(dá)到頂尖水平,,這個(gè)確實(shí)比較難,。
不過溫彼得最后補(bǔ)充的話,也是留了余地的,,那就是也并不是不可能,,還是有可能的。畢竟溫彼得在去年4月份還說過,“出口管制將加快中國自主研發(fā),,15年時(shí)間里他們將做出所有的東西”,。
那么15年內(nèi),是中國研發(fā)出全球最頂尖的光刻機(jī),,還是ASML放開出口,?