《電子技術(shù)應(yīng)用》
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GLOBALFOUNDRIES與SVTC合作,,加速推動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)晶圓量產(chǎn)

達(dá)成CMOS量產(chǎn)將有助MEMS市場(chǎng)持續(xù)快速成長(zhǎng)
2010-10-13
作者:GLOBALFOUNDRIES

  GLOBALFOUNDRIES今天宣布與SVTC 技術(shù)公司結(jié)成戰(zhàn)略聯(lián)盟,加速進(jìn)行微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的量產(chǎn)制造,。這項(xiàng)合作著重于技術(shù)開(kāi)發(fā)合作,,將有助GLOBALFOUNDRIES達(dá)成目標(biāo),成為MEMS晶圓廠的領(lǐng)導(dǎo)者,。
 
  微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是半導(dǎo)體市場(chǎng)成場(chǎng)最快的區(qū)塊之一,,MEMS應(yīng)用廣泛,從車用感應(yīng)器,、到噴墨打印機(jī),、到高端智能手機(jī)與游戲控制器都有MEMS的應(yīng)用。然而MEMS的制造過(guò)去主要局限于特定的晶圓制造廠,,采用“單一制程,、單一產(chǎn)品”的方式。為了讓MEMS市場(chǎng)得以持續(xù)快速成長(zhǎng),,GLOBALFOUNDRIES正采取積極策略,,通過(guò)與CMOS流程類似的標(biāo)準(zhǔn)化方式,將MEMS從特定制造平臺(tái)轉(zhuǎn)移到量產(chǎn)平臺(tái),。
 
  200mm晶圓事業(yè)部高級(jí)副總裁兼GLOBALFOUNDRIES新加坡總經(jīng)理Raj Kumar表示:“在MEMS轉(zhuǎn)移到CMOS量產(chǎn)方面,,GLOBALFOUNDRIES萬(wàn)事具備,可望扮演領(lǐng)導(dǎo)者角色,。我們?cè)贛EMS制造方面向來(lái)表現(xiàn)優(yōu)異,,也有許多以CMOS為基礎(chǔ)的科技可以運(yùn)用到MEMS上。目前已有計(jì)劃要增加基礎(chǔ)建設(shè)與專業(yè)技術(shù)來(lái)支持在3E晶圓廠提供專屬的MEMS生產(chǎn)線,,目標(biāo)是在2011年第三季前開(kāi)始MEMS裝置的量產(chǎn),。”
 
  新興硅晶圓科技商用服務(wù)供應(yīng)商的領(lǐng)導(dǎo)者SVTC,將提供全面的開(kāi)發(fā)設(shè)施,,協(xié)助GLOBALFOUNDRIES使用全系列的先進(jìn)CMOS與MEMS設(shè)備,為顧客開(kāi)發(fā)硅晶圓解決方案,。SVTC也將為GLOBALFOUNDRIES工程師提供MEMS技術(shù)研發(fā)支持及培訓(xùn),。
 
  SVTC首席執(zhí)行官Bert Bruggeman表示:“MEMS技術(shù)市場(chǎng)正蓬勃發(fā)展,但無(wú)晶圓廠設(shè)計(jì)公司目前可將MEMS設(shè)計(jì)量產(chǎn)上市的選擇有限,。我們相信,,我們最尖端的研發(fā)設(shè)施與MEMS專長(zhǎng)將協(xié)助GLOBALFOUNDRIES改造MEMS晶圓市場(chǎng)環(huán)境,為世界頂尖設(shè)計(jì)公司提供量產(chǎn)CMOS制造服務(wù),。”
  
  GLOBALFOUNDRIES在MEMS方面的研發(fā)將先著重于三種應(yīng)用:加速計(jì),、陀螺儀及無(wú)線電射頻微機(jī)電系統(tǒng)。加速計(jì)在手機(jī)與消費(fèi)電子產(chǎn)品上提供高級(jí)用戶體驗(yàn),;陀螺儀提供個(gè)人導(dǎo)航的影像穩(wěn)定與方向偵測(cè)能力,;無(wú)線電射頻微機(jī)電系統(tǒng)則支持手機(jī)的多頻段操作,同時(shí)縮小手機(jī)體積并減少電力消耗,。
 
  GLOBALFOUNDRIES的MEMS產(chǎn)能主要來(lái)自位于新加坡的3E晶圓廠,。該地區(qū)正迅速成為MEMS市場(chǎng)的重要樞紐,,而GLOBALFOUNDRIES也在其中扮演重要角色。GLOBALFOUNDRIES 是新加坡科技研發(fā)局(A*STAR) MEMS集團(tuán)(MEMS Consortium)的創(chuàng)立成員之一,;集團(tuán)成員包括多個(gè)跨國(guó)公司,,涵蓋從電腦輔助設(shè)計(jì)(CAD)到封裝的完整MEMS供應(yīng)鏈。
 

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