近日國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈再獲突破，上海傳芯半導(dǎo)體公開了用于EUV光刻機(jī)的曝光成像結(jié)構(gòu),、反射式光掩模版組及投影式光刻機(jī)專利,，這對于國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈來說是又一個關(guān)鍵的技術(shù)突破,。

光刻機(jī)的生產(chǎn)之所以困難，在于它集中了全球科技行業(yè)的精華,，需要德國,、美國、日本等諸多國家的配套企業(yè)提供相關(guān)的組件,，最終由荷蘭的ASML將之整合成為一臺光刻機(jī),，正是這種高度的配合才能生產(chǎn)出全球最先進(jìn)的光刻機(jī)。

中國近幾年一直在努力實現(xiàn)光刻機(jī)的自主化,，其中上海微電子在光刻機(jī)方面的進(jìn)展較快,，不過僅靠上海微電子是無法生產(chǎn)出先進(jìn)的光刻機(jī)的，需要國內(nèi)諸多產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)共同合作才能最終將之變成現(xiàn)實。

此前清華大學(xué)機(jī)械工程系朱煜教授帶隊的清華大學(xué)研發(fā)團(tuán)隊就已研發(fā)出光刻機(jī)雙工作臺,，由此中國成為全球第二個可以生產(chǎn)雙工作臺的國家,；此外激光頭、鏡頭等廠商也陸續(xù)生產(chǎn)出先進(jìn)的組件,，再到如今上海傳芯半導(dǎo)體的突破,，可以說國產(chǎn)光刻機(jī)的產(chǎn)業(yè)鏈正在加速完善。

中國的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈得以迅速完善,，在于這20多年打下的制造業(yè)基礎(chǔ),，這些基礎(chǔ)讓這些組件的研發(fā)和量產(chǎn)迅速推進(jìn)，逐步完善,，如此可以預(yù)期再過數(shù)年國產(chǎn)的先進(jìn)光刻機(jī)終將會變成現(xiàn)實,。

光刻機(jī)巨頭ASML曾經(jīng)表示即使給中國企業(yè)圖紙，中國企業(yè)也無法生產(chǎn)出先進(jìn)的光刻機(jī),，原因就在于光刻機(jī)的諸多組件都由非中國大陸的企業(yè)生產(chǎn),，然而如今中國的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈在快速推進(jìn)，顯然出乎了它的意料,。

其實這也是ASML的自大吧,，20多年前日本的光刻機(jī)可也是領(lǐng)先于ASML的，占有的市場份額與ASML相差不大,，后來先進(jìn)的光刻機(jī)成本越來越昂貴,，于是ASML與光刻機(jī)客戶臺積電、三星,、Intel等結(jié)成聯(lián)盟并由這些客戶入股,，在利益捆綁之下，這些芯片制造企業(yè)都優(yōu)先采用ASML的光刻機(jī),，才造成了如今ASML的一家獨大,。

這就說明光刻機(jī)的技術(shù)其實并非由ASML所獨有，只不過ASML通過客戶捆綁的方式擊敗了日本的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè),，最終才變成了ASML的一家獨大,，然而如今日本也有意繞開ASML的光刻機(jī)，日本的鎧俠存儲就與日本企業(yè)研發(fā)了先機(jī)的NIL工藝,，已在芯片制造行業(yè)走出了一條新路,。

中國如今也是兩條腿走路,，一方面繼續(xù)打通光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈,，另一方面則是研發(fā)無需光刻機(jī)的芯片制造工藝，中國能如此做,，在于中國龐大的市場,，以及龐大的制造業(yè)基礎(chǔ)，無論那一條路打通，中國的芯片制造產(chǎn)業(yè)都能支撐起一條芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈,。

今年一季度ASML加緊對中國出貨光刻機(jī),，可能也正是預(yù)感到中國芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈已取得新的突破，希望趕在中國量產(chǎn)自己的芯片制造設(shè)備之前再賺一筆,，乃至以此壓制中國芯片產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展,，畢竟中國的成本優(yōu)勢太強(qiáng)了，就如中國已量產(chǎn)的芯片價格低至美國芯片的四分之一,，只要中國量產(chǎn)的芯片,，歐美芯片企業(yè)都只能大舉降價拋售，近期歐美的芯片都傳出降價九成的消息就印證了這一點,。

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