《電子技術(shù)應(yīng)用》
您所在的位置:首頁 > EDA與制造 > 業(yè)界動態(tài) > 臺積電或?qū)⑤^原計(jì)劃提前采用High NA EUV光刻機(jī)

臺積電或?qū)⑤^原計(jì)劃提前采用High NA EUV光刻機(jī)

2024-05-29
來源:芯智訊
關(guān)鍵詞: 臺積電 HighNAEUV 光刻機(jī) ASML

5月28日消息,,根據(jù)wccftech的報(bào)道,,雖然此前臺積電公開表示其路線圖上的最尖端制程A16仍將不會采用High NA EUV光刻機(jī),但是最新的消息顯示,,臺積電有可能會修正其既定計(jì)劃,,提前導(dǎo)入High NA EUV光刻機(jī)進(jìn)行試驗(yàn)和學(xué)習(xí)。

0.png

為了在先進(jìn)制程技術(shù)上重回領(lǐng)先地位,,英特爾已經(jīng)率先斥巨資拿下了ASML的首批High NA EUV光刻機(jī),,預(yù)計(jì)先在即量產(chǎn)的Intel 18A制程節(jié)點(diǎn)上進(jìn)行驗(yàn)證和學(xué)習(xí),然后再將High NA EUV光刻機(jī)應(yīng)用于Intel 14A制程的量產(chǎn),。

相比之下,,臺積電業(yè)務(wù)開發(fā)資深副總經(jīng)理張曉強(qiáng)曾公開表示,雖然對High NA EUV能力印象深刻,,但設(shè)備價(jià)格超過 3.5 億歐元(3.78 億美元),。目前的標(biāo)準(zhǔn)型EUV光刻機(jī),仍可以支持臺積電尖端制程的生產(chǎn)到2026年,,其最新曝光的尖端制程A16也將會繼續(xù)采用標(biāo)準(zhǔn)型EUV光刻機(jī)來進(jìn)行生產(chǎn),。

不過,據(jù)《韓國商報(bào)》報(bào)道,,在5月26日的臺積電“2024年技術(shù)論壇臺北站”的活動上,,臺積電總裁魏哲家罕見沒有參加,原因是其秘密訪問了ASML位于荷蘭的總部,。ASML CEO Christopher Fuke和其激光光源設(shè)備供應(yīng)商TRUMPF執(zhí)行長Nicola Leibinger-Kammüller近日在社群媒體上貼文中披露了魏哲家到ASML拜訪,。

這也使得市場傳出消息稱,在英特爾拿下首批幾套的High NA EUV曝光機(jī)之后,,魏哲家這次的密訪動作就是表達(dá)了也希望能獲得該新設(shè)備的立場。

報(bào)道指出,,雖然臺積電預(yù)計(jì)在A16制程技術(shù)后的產(chǎn)品才考慮采用High NA EUV光刻機(jī),,但是魏哲家密訪ASML總部的動作引發(fā)了大家的議論,臺積電有可能會修正其原定的計(jì)劃,,提前采用High NA EUV光刻機(jī),。不過,即使臺積電獲得High NA EUV光刻機(jī),,也不能立刻用到其最新的制程上,,需要提前對新設(shè)備進(jìn)行各種試驗(yàn)與學(xué)習(xí)。


Magazine.Subscription.jpg

本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外,,轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息,,并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點(diǎn),。轉(zhuǎn)載的所有的文章、圖片,、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有,。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者。如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)和其它問題,,請及時(shí)通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當(dāng)措施,,避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失,。聯(lián)系電話:010-82306118;郵箱:[email protected],。