熱場(chǎng)發(fā)射電子槍在電子束光刻機(jī)中的應(yīng)用研究
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：aetmagazine
文檔大?。?span>667 K
標(biāo)簽： 熱場(chǎng)發(fā)射電子槍 電子束束流 電子束束斑
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文檔介紹：介紹了電子槍的分類與特點(diǎn)，重點(diǎn)介紹了熱場(chǎng)發(fā)射電子槍的原理,、結(jié)構(gòu),、特點(diǎn)及在電子束光刻機(jī)中的應(yīng)用,。闡述了電子束光刻機(jī)束流與電子槍提取極電流之間關(guān)系，并分析了熱場(chǎng)發(fā)射電子槍各個(gè)參數(shù)對(duì)提取極電流的影響,。研究了熱場(chǎng)發(fā)射電子槍的調(diào)校對(duì)電子束光刻工藝的影響,，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)得出束斑與束流的關(guān)系。最后通過(guò)調(diào)整電子槍參數(shù),，制備了不同的光刻圖形,，滿足了不同的光刻工藝要求，驗(yàn)證了分析的結(jié)論,。
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