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SK海力士新建EUV光刻第五代10nm DRAM先進生產(chǎn)線

2020-12-07
來源:EETOP
關(guān)鍵詞: SK海力士 EUV光刻 10nm DRAM

  據(jù)韓國專業(yè)電子行業(yè)媒體etnews報道,, SK Hynix已開始在其總部DRAM工廠建造一條采用EUV光刻技術(shù)的先進生產(chǎn)線。據(jù)悉,,該公司正在轉(zhuǎn)讓現(xiàn)有的生產(chǎn)設(shè)備,,并安裝新的設(shè)備,,如EUV光刻系統(tǒng)和清潔車。

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  SK Hynix的總部和工廠(韓國京畿道里川市)全景(來源:SK Hynix)

該報稱,,除了升級M14晶圓廠的設(shè)備外,,還將在即將啟用新晶圓廠的M16晶圓廠安裝ASML EUV光刻系統(tǒng),由于應(yīng)用EUV光刻技術(shù)的晶圓是M14和M16,,SK Hynix將同時為M14和M16做準(zhǔn)備,。雖然EUV光刻設(shè)備本身將安裝在M16,但在EUV上光刻生產(chǎn)的DRAM相信會通過晶圓廠之間的晶圓傳輸路徑在M14生產(chǎn),。 半導(dǎo)體人士解釋,,這種新舊兩條線的準(zhǔn)備方法是公司風(fēng)險對策的一部分。

  該公司表示:“的確,,我們正在為使用EUV的DRAM的大規(guī)模生產(chǎn)做準(zhǔn)備,,但目前還沒有宣布具體的生產(chǎn)計劃?!?/p>

  2020年8月,,DRAM競爭對手三星電子宣布在平澤工廠新建的第二座生產(chǎn)線(2號線)開始生產(chǎn)16 Gbit LPDDR5移動DRAM??梢哉f是SK海力士遵循的形式,。

  由于NAND的3D轉(zhuǎn)換,該過程的微型化已停止,,但是由于DRAM尚未轉(zhuǎn)換為3D,,因此該過程的微型化是漸進的,但仍在繼續(xù),。我們已經(jīng)在10nm范圍內(nèi)研究1X-nm,,1Y-nm和1Z-nm的工藝,并且我們相信EUV將在1Z-nm和1A(α)-nm或更晚的世代之后應(yīng)用,。

  順帶一提,,之前三星已將EUV應(yīng)用于1Z-nm DRAM,但SK海力士將從2021年起將EUV應(yīng)用于1A-nm DRAM,,而非1Z-nm,,并將于2022年將EUV應(yīng)用于1B(β)-nm,即第五代10nm DRAM,。


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