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一種測量石英晶體諧振器靜電容的新方法

石英晶體諧振器（以下簡稱為石英晶體）作為一種性能優(yōu)良的頻率基準和時鐘源在電子領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。石英晶體的中間測試在石英晶體的生產(chǎn)中是處于微調(diào)和封裝之間的工序,，要求對石英晶體的基本電參數(shù)進行測量,，以保證產(chǎn)品最終質(zhì)量,。在石英晶體的中間測試中，需要測量串聯(lián)諧振頻率,、串聯(lián)諧振電阻,、負載諧振頻率、負載諧振電阻,、靜電容,、動電容、頻率牽引靈敏度和DLD等參數(shù),。其中,，靜電容C0主要由石英晶體兩端所鍍銀膜決定，表征了石英晶體的靜態(tài)特性,，與石英晶體的串聯(lián)諧振頻率和負載諧振頻率等應(yīng)用指標密切相關(guān),。根據(jù)靜電容和其它參數(shù)的關(guān)系，還可以計算出負載諧振電阻,、動電容,、頻率牽引靈敏度和DLD等參數(shù)的值，這在實際測量中是經(jīng)常采用的方法,。靜電容的測量是石英晶體中間測試的重要內(nèi)容,。目前，IEC（國際電工委員會）所推薦的石英晶體測量的標準方法是π網(wǎng)絡(luò)零相位法,。在該方法中,，未規(guī)定測量靜電容的標準方法。若采用諧振法,、交流電橋法等常用方法來測量靜電容,，會增加整個測量系統(tǒng)的復(fù)雜性，并且對諧振頻率的測量產(chǎn)生不利影響,。本課題提出了一種基于π網(wǎng)絡(luò)零相位法的測量石英晶體靜電容的新方法,，并據(jù)此設(shè)計制作了實驗測量系統(tǒng)。

發(fā)表于：12/30/2010